纳米粉末制造装置、制造方法以及利用纳米粉末制备涂层的方法及涂层制造方法及图纸

技术编号：6550305 阅读：171 留言：0更新日期：2012-04-11 18:40

本发明专利技术提供一种纳米粉末制造装置、制造方法以及利用纳米粉末制备涂层的方法及涂层。纳米粉末制造装置包括：真空槽；搅拌槽，位于所述真空槽内，用于容纳粉末状支持体；搅拌部件，位于所述搅拌槽内，通过垂直螺旋式旋转将搅拌槽下部的支持体输送至搅拌槽的上部，该螺旋型搅拌部件与同轴旋转的旋转轴之间存在间隙并经由至少一连接体相连接，使所述搅拌槽上部的支持体能够通过所述间隙移动至搅拌槽的下部；以及沉积装置，用于利用物理沉积方式在所述支持体上沉积纳米粒子，该沉积装置的沉积源位于真空槽内所述支持体的上方。该纳米粉末制造装置可以使支持体或支持体芯片混合均匀，并减少支持体或支持体芯片之间的摩擦。