OLED玻璃基片清洗系统及其清洗方法技术方案

本发明专利技术公开了一种OLED玻璃基片清洗系统，包括清洗机构、传输机构、控制机构、升降装置和框架，其中，所述清洗机构包括安装在所述传输机构上的冲洗装置、风干装置以及烘干装置，所述风干装置包括至少两组吹风管组，所述吹风管组包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的吹风管，所述吹风管呈水平倾斜设置且均匀开设有气流孔，所述气流孔朝向所述承载面并与所述OLED玻璃基片的传输方向呈锐角，所述吹风管与外界压缩空气装置连通。所述OLED玻璃基片清洗系统，其结构简单、自动化程度高。本发明专利技术同时公开了一种OLED玻璃基片清洗方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种自动清洗工艺系统，更具体地涉及一种OLED玻璃基片清洗系统及其清洗方法。
技术介绍
随着各种半导体产品的广泛应用及半导体技术的发展，半导体产品的批量生产规模越来越大。同时半导体产品的尺寸也越来越大，导致半导体工艺日趋复杂。而产品的生产不仅要求高精度，也要求高效率及高自动化，因此，对生产半导体产品的生产系统和生产工艺也提出了更高的要求。对于半导体制品，例如有机发光显示器件、液晶显示器件、非晶硅太阳能电池板等，其生产都需要利用玻璃等作为基片，在基片上进行多种工序进而形成多层薄膜，工艺步骤中涉及的镀膜、光刻、蚀刻等工艺会产生粉尘附着在基片上，进而影响基片的清洁度，基片的清洁度对产品的质量有着重大影响。因此，在于镀膜、光刻及蚀刻等步骤中必须贯穿有清洗步骤，以维持基片在生产过程中的表面清洁度。以0LED(0rganic Light-Emitting Diode，即有机发光二极管)为例，OLED 的制造一般都在玻璃基片上进行多次工艺步骤，进而在基片上相继沉积多层薄膜，其膜层主要包括在玻璃基片上形成的透明阳极，在阳极上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，最后是金属阴极层；在上述各个工艺步骤中若基片上沉积有粉尘， 在下一膜层的形成过程中会将其覆盖，从而影响膜层的厚度和均勻性，进而影响后续的工艺质量，最终使OLED的质量降低。可见所述基片的清洁起着举足轻重的作用，因此需要一种基片清洗装置，对所述基片进行高效清洗的同时也能保证所述基片的高清洁度。而在所述OLED的多层膜层形成过程中，除了清洗之外，另一重要工序是风干。若所述玻璃基片上残留清洗液或水珠，将会影响OLED的质量。为解决上述问题，通常会另外增设风干装置来风干所述玻璃基片，但这样便导致整个清洁系统的结构复杂，且增加了生产成本。因此，急需一种结构简单、自动化程度高的OLED玻璃基片清洗系统。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种OLED玻璃基片清洗系统，其结构简单、自动化程度高。本专利技术的另一目的是提供一种清洗OLED玻璃基片的方法，其自动化程度高。为实现上述目的，本专利技术提供了一种OLED玻璃基片清洗系统，包括清洗机构、传输机构、控制机构、升降装置及放置于所述升降装置的框架，所述控制机构控制所述清洗机构清洗OLED玻璃基片及控制所述传输机构传输OLED玻璃基片，所述传输机构形成一呈水平状的承载面，所述OLED玻璃基片承载于所述承载面上并被传输。其中，所述清洗机构包括依次排列的冲洗装置、风干装置以及烘干装置，所述传输机构依次穿过所述冲洗装置、风干装置、烘干装置，所述冲洗装置、风干装置以及烘干装置依次对所述OLED玻璃基片进行洗刷、风干以及烘干，所述风干装置包括至少两组吹风管组，所述吹风管组包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的吹风管，所述吹风管呈水平倾斜设置且均勻开设有气流孔，所述气流孔朝向所述承载面并与所述OLED玻璃基片的传输方向呈锐角，所述吹风管与外界压缩空气装置连通。具体地，所述吹风管的横截面呈矩形，所述气流孔沿所述吹风管的轴向形成排状。具体地，所述传输机构包括驱动装置、滚轮及固定架，所述滚轮均勻枢接于所述固定架的两侧并形成所述承载面，所述驱动装置驱动所述滚轮转动并带动所述OLED玻璃基片移动。较佳地，所述OLED玻璃基片清洗系统还包括用于储存清洗液的水箱及与所述水箱连通的总水管，所述总水管分别与所述喷淋管连通。具体地，所述风干装置包括至少两组吹风管组，所述吹风管组包括成对称设于所述承载面的上、下侧的吹风管，所述吹风管呈水平倾斜设置且均勻开设有气流孔，所述气流孔朝向所述承载面并与所述OLED玻璃基片呈锐角，所述吹风管相互连通且与外界压缩空气装置连通。较佳地，所述烘干装置为紫外发光装置。与现有技术相比，由于本专利技术清洗机构的冲洗装置、风干装置以及烘干装置依次对OLED玻璃基片进行洗刷、风干及烘干，所述风干装置包括至少两组吹风管组，所述吹风管组包括呈对称设于所述传输机构的承载面的上、下侧的吹风管，所述吹风管呈水平倾斜设置且均勻开设有气流孔，所述气流孔朝向所述承载面并与所述OLED玻璃基片的传输方向呈锐角，所述吹风管与外界压缩空气装置连通；所述冲洗装置对所述OLED玻璃基片进行洗刷后，外界压缩空气通入所述吹风管，再通过所述气流孔斜向吹于OLED玻璃基片的上下侧面，将洗刷残留于OLED玻璃基片的清洗液吹扫除去，实现对OLED玻璃基片的风干。所述风干装置结构简单、风干效果好、效率高，从而使得整个清洗系统结构简单、效率高。另外， 可通过所述控制机构对整个清洗过程进行完全的自动化控制，即所述OLED玻璃基片清洗系统自动化程度高。相应地，本专利技术还提供了一种清洗OLED玻璃基片的方法，其特征在于，包括(1)上载待清洗的OLED玻璃基片于框架，通过控制机构控制升降装置升降于传输机构的输入端处；(2)上载待清洗的OLED玻璃基片于传输机构；(3)通过控制机构控制传输机构和清洗机构，对所述OLED玻璃基片依次进行洗刷、风干以及烘干；(4)卸载已清洗完的OLED玻璃基片。具体地，所述步骤( 具体包括 (31)控制所述控制机构将清洗液输入喷淋管内，喷淋管内的清洗液通过喷嘴喷洒在传输机构上传输的OLED玻璃基片上进行冲洗，同时驱动滚刷对所述OLED玻璃基片进行刷擦，同时冲洗和刷擦形成对所述OLED玻璃基片的洗刷；(32)控制所述控制机构将压缩空气输入吹风管中，吹风管内压缩空气通过气流孔斜向吹于OLED玻璃基片的上、下侧面上，洗刷残留于OLED玻璃基片上的清洗液被压缩空气吹扫除去，实现对OLED玻璃基片的风干。(33)启动烘干装置对经风干的所述OLED玻璃基片进行烘干。具体地，所述步骤(31)之后进一步包括控制所述控制机构将纯水输入喷淋管内，喷淋管内的纯水通过喷嘴喷洒在OLED玻璃基片上，以对所述OLED玻璃基片进行进一步地冲洗。通过以下的描述并结合附图，本专利技术将变得更加清晰，这些附图用于解释本专利技术的实施例。附图说明图1为本专利技术OLED玻璃基片清洗设备一实施例的示意图。图2为图1所示框架的结构示意图。图3为图1所示传输机构的结构示意图。图4为图1所示冲洗装置的结构示意图，其中还示出了固定架和总水管。图如为图4所示冲洗装置的喷淋管的结构示意图。图5为图1所示风干装置的吹风管组的结构示意图，其中还示出了承载面。图fe为图5所示吹风管组的吹风管结构示意图。图6a为本专利技术OLED玻璃基片清洗设备清洗基片的示意图，其中OLED玻璃基片未上载于框架。图6b为图6a所示OLED玻璃基片被传输至冲洗装置冲洗的示意图。图6c为图6a所示OLED玻璃基片被传输至风干装置风干的示意图。图6d为图6a所示OLED玻璃基片被传输至烘干装置烘干的示意图。图6e为OLED玻璃基片清洗完后卸载于所述清洗设备的示意图。图7为本专利技术清洗OLED玻璃基片的方法流程图。具体实施例方式现在参考附图描述本专利技术的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。如上所述，本专利技术提供了一种OLED玻璃基片清洗设备，由于所述清洗机构的冲洗装置包括至少两组喷淋管组，所述喷淋管组包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的喷淋管，所述喷淋管均勻设有朝向所述承载面的喷嘴，所述喷淋管相互连通且均与外界清洗液连通，本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种ＯＬＥＤ玻璃基片清洗系统，包括清洗机构、传输机构以及控制机构，所述控制机构控制所述清洗机构清洗ＯＬＥＤ玻璃基片及控制所述传输机构传输ＯＬＥＤ玻璃基片，所述传输机构形成一呈水平状的承载面，所述ＯＬＥＤ玻璃基片承载于所述承载面上并被传输，其特征在于，还包括升降装置及放置于所述升降装置的框架，所述清洗机构包括依次排列的冲洗装置、风干装置以及烘干装置，所述传输机构依次穿过所述冲洗装置、风干装置、烘干装置，所述冲洗装置、风干装置以及烘干装置依次对所述ＯＬＥＤ玻璃基片进行洗刷、风干以及烘干，所述风干装置包括至少两组吹风管组，所述吹风管组包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的吹风管，所述吹风管呈水平倾斜设置且均匀开设有气流孔，所述气流孔朝向所述承载面并与所述ＯＬＥＤ玻璃基片的传输方向呈锐角，所述吹风管与外界压缩空气装置连通。

【技术特征摘要】
1.一种OLED玻璃基片清洗系统，包括清洗机构、传输机构以及控制机构，所述控制机构控制所述清洗机构清洗OLED玻璃基片及控制所述传输机构传输OLED玻璃基片，所述传输机构形成一呈水平状的承载面，所述OLED玻璃基片承载于所述承载面上并被传输，其特征在于，还包括升降装置及放置于所述升降装置的框架，所述清洗机构包括依次排列的冲洗装置、风干装置以及烘干装置，所述传输机构依次穿过所述冲洗装置、风干装置、烘干装置，所述冲洗装置、风干装置以及烘干装置依次对所述OLED玻璃基片进行洗刷、风干以及烘干，所述风干装置包括至少两组吹风管组，所述吹风管组包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的吹风管，所述吹风管呈水平倾斜设置且均勻开设有气流孔，所述气流孔朝向所述承载面并与所述OLED玻璃基片的传输方向呈锐角，所述吹风管与外界压缩空气装置连通。2.如权利要求1所述的OLED玻璃基片清洗系统，其特征在于，所述吹风管的横截面呈矩形，所述气流孔沿所述吹风管的轴向形成排状。3.如权利要求1所述的OLED玻璃基片清洗系统，其特征在于，所述传输机构包括驱动装置、滚轮及固定架，所述滚轮均勻枢接于所述固定架的两侧并形成所述承载面，所述驱动装置驱动所述滚轮转动并带动所述OLED玻璃基片移动。4.如权利要求1所述的OLED玻璃基片清洗系统，其特征在于，所述OLED玻璃基片清洗系统还包括用于储存清洗液的水箱及与所述水箱连通的总水管，所述总水管分别与所述喷淋管连通。5.如权利要求1-4任一项所述的OLED玻璃基片清洗系统，其特征在于，所述冲洗装置包括至少两组喷淋管组，所述喷淋管组包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的喷淋管，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，郭远伦，刘惠森，范继良，王曼媛，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：发明
国别省市：44