能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器制造技术

技术编号:6504940 阅读:253 留言:0更新日期:2017-05-06 21:37
本实用新型专利技术公开了一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,由聚流板、连接座、铜管和接地板焊接而成;聚流板内沿其圆周缠绕有铜管,铜管的进口端、出口端分别与连接座连接;聚流板的轴心设有化料孔,聚流板上沿化料孔圆周外侧均匀设置有七个拉制孔,每个拉制孔内圆壁靠近化料孔的一边开有凹槽形的小切孔;相邻两个拉制孔之间设置有一分流槽,每个分流槽背向化料孔的外端头各设置有一个小孔;七个分流槽与化料孔彼此相通连接;其中一个分流槽的端头与聚流板的边缘之间设置有斜切口,该分流槽通过斜切口与聚流板的边缘接通。本实用新型专利技术一次可同时拉制七根硅芯,明显提高设备效率,节省人力、物力及能源。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于多晶硅加工设备
,涉及一种多晶硅设备硅芯炉中一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器
技术介绍
随着太阳能行业的蓬勃发展,多晶硅市场得以迅猛发展,国内外有实力的商业巨头纷纷投入巨资介入多晶硅行业,发展规模越来越大,硅芯炉是多晶硅生产链条上的一个重要环节,需求也越来越大,因此,研发更新型、性能更为卓越的硅芯设备具有重要意义。随着多晶硅生产规模的扩大,硅芯炉数量很大,需要投入大量的人力﹑物力及能源消耗,占用面积越来越大,而能源消耗也已成为多晶硅生产厂家的考量指标之一,因此,从提高设备效率,节能降耗,节约成本方面考虑,很有必要研发产能更优的硅芯制备设备。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,该加热器实现一次同时拉制七根硅芯,显著提高了工作效率,节能降耗。本技术所采用的技术方案是,一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,包括聚流板、连接座和铜管;聚流板内沿其圆周缠绕有铜管,铜管的进口端、出口端分别与连接座连接;聚流板的轴心设有化料孔,聚流板上沿化料孔圆周外侧均匀设置有七个拉制孔,每个拉制孔内圆壁靠近化料孔的一边开有凹槽形的小切孔;相邻两个拉制孔之间设置有一分流槽,每个分流槽背向化料孔的外端头各设置有一个小孔;七个分流槽与化料孔彼此相通连接;其中一个分流槽的外端头与聚流板的边缘之间设置有斜切口,该分流槽通过斜切口与聚流板的边缘接通。上述聚流板上还设置有接地板。上述铜管、聚流板、连接座和接地板四部分通过银焊或铜焊焊接为一体。其中,连接座由两块独立的半圆板组成,两块半圆板之间设置有间隙;每个半圆板上各设置有一个接口及一个安装孔,铜管的进口端与出口端分别与两块半圆板的接口连接。另外,斜切口及与斜切口连通的分流槽朝向连接座的两个半圆板之间的间隙。其特征进一步在于,聚流板上部沿轴心设置为凹形的大锥面,聚流板下部沿轴心设置有两级台阶面。上述的化料孔的上端口为倒角状。上述每个拉制孔上端口为倒角状。本技术的有益效果是,一次可同时拉制七根硅芯,可大大提高硅芯设备的生产效率,降低了单根硅芯的能耗,减少了用户人力,物力的投入,从而降低了多晶硅生产过程的成本。-->附图说明图1是本技术高频感应加热器的结构示意图;图2是图1的A向视图;图3是本技术高频感应加热器工作中某个瞬间电流分布以及磁力线分布示意图。图中,1.连接座,2.铜管,3.聚流板,4.接地板,5.化料孔,6.拉制孔,7.小切孔,8.分流槽,9.小孔,10.斜切口,11.大锥面,12.台阶面。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术进行详细说明。如图1和图2所示,本技术提供一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,由聚流板3、连接座1、铜管2和接地板4四部分焊接而成,这四部分在专用工装下,通过银焊或铜焊焊接成一体。聚流板3上部沿轴心设置为凹形的大锥面11,聚流板3下部沿轴心设置有两级台阶面12;聚流板3上还设置有接地板4;聚流板3内沿其圆周缠绕有铜管2,铜管2的进口端、出口端与连接座1连接,连接座1由两块独立的半圆板组成,两块半圆板之间设置有间隙;每个半圆板上各设置有一个接口和一个安装孔,铜管2的进口端和出口端分别与两个半圆板上的接口连接;聚流板3的轴心开有化料孔5,化料孔5的上端口为倒角状,聚流板3上沿化料孔5圆周外侧均匀设置有七个拉制孔6,每个拉制孔6上端口为倒角状,每个拉制孔6内圆壁靠近化料孔5的一边开有凹槽形的小切孔7,相邻两个拉制孔6之间设置有一分流槽8,共有七个分流槽8,每个分流槽8背向化料孔5的外端头各设置有一个小孔9,七个分流槽8与化料孔5彼此相通连接;聚流板3上正对连接座1两个半圆板之间间隙的一个分流槽8通过斜切口10与聚流板3的圆周边缘接通,相当于从化料孔5中间贯通到聚流板3的圆周边缘两极间。聚流板3是加热多晶硅原料棒用,连接座1、铜管2、聚流板3以及接地板4通过银焊或铜焊焊接成一体。铜管2的作用是通入循环的冷却水,对聚流板3进行冷却;孔接地板4为高频感应加热器接地用。如图3所示,本技术装置的工作原理是:当交变的高频电流分别通过高频感应加热器的两极即连接座1之一进入铜管2,通过铜管2导通聚流板3,于是在聚流板3上形成如图3所示的某瞬间电流分布,交变电流产生交变磁场,交变磁场产生热,形成热场,从而使得放置在高频感应加热器下方的多晶硅原料棒被加热熔化,核心部分就是要使得孔及槽间参数匹配合适,使得所有拉制孔6下产生的七个独立的熔区是一致的,从而保证拉制出的七根硅芯直径的一致性。图3中,A所指的是电流分布,B所指的是磁力线分布。根据该新型高频感应加热器结构不同,使得加热器上各部分电流按照要求分布,形成回路,高频电流产生交变磁场,交变磁场产生热,从而使得放置在高频感应加热器下的多晶硅原料棒被加热熔化。该七芯高频感应加热器,中间一个孔为化料用孔,周围七个为拉制硅芯用孔,多晶硅原料棒熔化后在此七孔下形成各自小熔区,七个独立小熔区就可以同时拉制七根硅芯。本技术实现了一次同时拉制七根硅芯,同等时间内硅芯炉的产能大幅提高;-->同等规模的多晶硅生产产能大幅提升,硅芯炉数量大大减少,提高了生产效率,节省人力、物力及能源,降低了多晶硅生产成本。-->本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于:包括聚流板(3)、连接座(1)和铜管(2);聚流板(3)内沿其圆周缠绕有铜管(2),铜管(2)的进口端、出口端分别与连接座(1)连接;聚流板(3)的轴心设有化料孔(5),聚流板(3)上沿化料孔(5)圆周外侧均匀设置有七个拉制孔(6),每个拉制孔(6)内圆壁靠近化料孔(5)的一边开有凹槽形的小切孔(7);相邻两个拉制孔(6)之间设置有一分流槽(8),每个分流槽(8)背向化料孔(5)的外端头各设置有一个小孔(9);七个分流槽(8)与化料孔(5)彼此相通连接;其中一个分流槽(8)的外端头与聚流板(3)的边缘之间设置有斜切口(10),该分流槽(8)通过斜切口(10)与聚流板(3)的边缘接通。

【技术特征摘要】
1.一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于:包括聚流板(3)、连接座(1)和铜管(2);聚流板(3)内沿其圆周缠绕有铜管(2),铜管(2)的进口端、出口端分别与连接座(1)连接;聚流板(3)的轴心设有化料孔(5),聚流板(3)上沿化料孔(5)圆周外侧均匀设置有七个拉制孔(6),每个拉制孔(6)内圆壁靠近化料孔(5)的一边开有凹槽形的小切孔(7);相邻两个拉制孔(6)之间设置有一分流槽(8),每个分流槽(8)背向化料孔(5)的外端头各设置有一个小孔(9);七个分流槽(8)与化料孔(5)彼此相通连接;其中一个分流槽(8)的外端头与聚流板(3)的边缘之间设置有斜切口(10),该分流槽(8)通过斜切口(10)与聚流板(3)的边缘接通。2.根据权利要求1所述的能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于:所述聚流板(3)上还设置有接地板(4)。3.根据权利要求2所述的能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于:所述铜管(2)、聚流板(...

【专利技术属性】
技术研发人员:董淑梅王建春宋艳玲原洛渭王一强程涛吴斌
申请(专利权)人:西安理工晶体科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:87

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