【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种三明治式平动式闭环硅微加速度计，包括上固定电极（６）、可动硅电极、下固定电极（７），可动硅电极与上、下电极间有相等的微米量级间距，可动硅电极包括锚区（１）与可动部分，锚区（１）用于实现可动硅电极与上电极和下电极的相对固定，其特征在于：可动硅电极的可动部分包括：８个Ａ杆（２）、８个Ｂ杆（４）、４个Ｃ梁（３）和敏感质量块（５）；２个Ａ杆（２）、２个Ｂ杆（４）与１个Ｃ梁（３）为一组；同一组中，２个Ａ杆（２）相同轴；２个Ｂ杆（４）相同轴；Ａ杆（２）与Ｂ杆（４）相平行，且Ａ杆（２）与Ｃ梁（３）的对称轴相垂直；Ｃ梁（３）的一端通过２个Ａ杆（２）与锚区（１）相连，Ｃ梁（３）的另一端通过２个Ｂ杆（４）与敏感质量块（５）相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：万蔡辛，刘国文，董景新，杨立溪，
申请(专利权)人：北京航天控制仪器研究所，
类型：发明
国别省市：11
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