在线等离子清洗机真空提升系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种在线等离子清洗机真空提升系统，解决了现有设备存在自动化程度低容易造成二次污染的问题。包括在门字形的立板支架（１）上设置有垂直上下方向的导轨（５）和连接板，连接板与提升气缸（４）的活塞杆连接在一起，在连接板的前面板上固定设置有一对Ｌ形悬臂（８），并悬挂有反应仓上盖（３），反应仓上盖（３）与反应仓下盖（２）扣接组成反应仓，在反应仓上盖（３）上设置有气动角阀（１３），在反应仓内设置有电源正极板（１２），电源正极板（１２）与反应仓的侧壁上设置的电源正极引入端（１４）固定连接在一起。避免了二次污染，提高了自动化清洗质量。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种在线等离子清洗机真空提升系统，包括门字形的立板支架（１），在门字形的立板支架（１）上设置有垂直上下方向的导轨（５），在导轨（５）上活动设置有连接板，该连接板与固定设置在门字形的立板支架（１）的背面上的提升气缸（４）的活塞杆连接在一起，其特征在于，在连接板的前面板上固定设置有一对Ｌ形悬臂（８），在Ｌ形悬臂（８）的端部悬挂有反应仓上盖（３），反应仓上盖（３）通过密封圈（７）与反应仓下盖（２）扣接在一起，反应仓上盖（３）与反应仓下盖（２）扣接组成反应仓，在反应仓上盖（３）上设置有气动角阀（１３），在反应仓内设置有电源正极板（１２），电源正极板（１２）与反应仓的侧壁上设置的电源正极引入端（１４）固定连接在一起，在反应仓的侧壁上设置有等离子清洗气体的进气阀（１５），在电源正极板（１２）与反应仓的内侧壁之间设置有分离电源正负极的绝缘条（１１），在反应仓上设置有真空测量仪（１０）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王大伟，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二研究所，
类型：实用新型
国别省市：14[中国|山西]