本发明专利技术公开一种用于太阳能电池晶圆的盒输送装置及利用此盒输送装置的太阳能电池的晶圆纹理装置。依据本发明专利技术的一实施例，用以供应及收回已接收太阳能电池晶圆的盒至一纹理装置以及自纹理装置供应及收回此盒的此输送装置可包含：一装填机，用以移动该盒至一晶圆接收位置，以及移动及供应该盒至该纹理装置；一卸载机，当晶圆在纹理装置纹理完成后，移动该盒至一晶圆分离位置，且将晶圆分离的盒移动至一盒送回位置；以及一送回机，用以将卸载机供应的盒送回至装填机。利用根据本发明专利技术的太阳能电池的盒输送装置，作业变的更简单且所需人力更少，且在输送期间可预防晶圆的损坏及制程缺陷发生。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术有关太阳能电池晶圆的盒输送装置及利用盒输送装置的太阳能电池的晶 圆纹理装置，特别是关于可自动地插入或收回已接收晶圆的盒至晶圆纹理装置，以及可自 晶圆纹理装置自动地插入或收回已接收晶圆的盒的此盒输送装置的太阳能电池的晶圆纹 理装置，以及太阳能电池晶圆的盒输送装置。
技术介绍
太阳能电池一般利用可将太阳能转换为电能的半导体装置制造。这类半导体装置 整个做成一个晶圆，其接着被分割为许多微小片，且每一半导体装置设置于每一太阳能电 池内。晶圆主要由硅所制成，且取决于硅的结晶结构而可区分为单晶、多晶及非晶。为了 减少太阳光线的反射比(reflectance)以增加能量转换速率，一种表面处理制程应用于晶 圆。在这类表面处理装置的一个例子中，能蚀刻晶圆表面以形成纹理(texture)结构的一 种晶圆纹理装置已被发展和使用。过去用于太阳能电池晶圆的晶圆纹理装置利用批次浸洗方法(batch-dip method)，将一个单晶晶圆浸洗(dipping)于一个贮存有纹理溶液的处理槽内，以形成一个纹理结构。为进行此程序，一旦晶圆已在其他前程序被处理，则将晶圆收集及接收于盒中，太 阳能电池晶圆的晶圆纹理装置装载及运送在处理机中的该盒。这程序由去除晶圆表面污 染物的前处理程序、将晶圆浸洗于处理槽中的纹理程序、以及去除晶圆上纹理溶液的后处 理程序所构成。通过这些程序，已完全纹理的晶元系自已卸载的盒分离且送到下一个程序。同时，在纹理程序中用于接收晶圆的盒再度被操作员运送至纹理装置的入口及重 复使用。在过去用于太阳能电池晶圆的纹理装置中，将(已接收晶圆)的盒装载于处理机 中的程序、自处理机中卸载此盒以及运送此盒系皆由操作员执行。因为装载/卸载及送回 此盒的程序过去皆需手工地来完成，因此，作业并不容易且需要大量的人力。再者，在运送 盒的过去程序中，有可能会损坏晶圆或盒。当盒损坏，晶圆则无法正常地接收或运送。因此， 晶圆在运送过程中则可能掉落或损坏，且晶圆在制造过程中有可能有瑕疵。此外，当以手工 执行盒的装载/卸载时，纹理装置的尺寸系无法制做的太大，且当作业未连续执行时，会拉 长制程时间。
技术实现思路
本专利技术提供太阳能电池晶圆的盒输送装置，以及利用盒输送装置的太阳能电池的 晶圆纹理装置，由装载已接收晶圆的该盒至该纹理装置、当纹理完成时卸载该盒以分离晶 圆、以及接着再次传送该盒至一装载位置的一连续的自动化程序。该盒输送装置可减少作 业的劳累、改善工作情况，以及可预防在盒运送期间发生晶圆及盒的损害。4本专利技术提出的一种输送装置，用以供应及收回已接收一太阳能电池晶圆的一盒至 一纹理装置以及自纹理装置供应及收回此盒。此太阳能电池晶圆的盒输送装置包含一装 填机，用以移动该盒至一晶圆接收位置，以及移动及供应该盒至该纹理装置；一卸载机，当 晶圆在纹理装置纹理完成后，移动该盒至一晶圆分离位置，且将晶圆分离的该盒移动至一 盒送回位置；以及一送回机，用以将该卸载机供应的盒送回至装填机。该送回机可安装于该盒的移动线的上部。该送回机可包含一输送带。该送回机可包含一直线模组，用以在该装填机及该卸载机间往复运动，以及一装 载板，安装于该直线模组，该盒安装于该装载板上。该装填机及该卸载机包含一框架；一输送机械臂包含一三轴输送单元及一二轴 旋转单元，该三轴输送单元安装于该框架内，用以在三轴方向移动该盒，该二轴旋转单元安 装于该三轴输送单元内，用以在二轴方向旋转该盒；以及一支架，安装于该二轴旋转单元， 用以夹持该盒。本专利技术还提出一种用于一太阳能电池的晶圆纹理装置。根据本专利技术的一实施例的 该用于一太阳能电池的晶圆纹理装置可包含一装填机，用以移动一盒至一晶圆接收位置 且装载该盒，一晶圆已接收于该盒内；一前处理单元，安装于该装填机的后面，用以前处理 接收在该盒内的该晶圆；一纹理单元，利用一纹理溶液将该前处理单元内前处理的晶圆的 一表面上形成纹理；一后处理单元，用以移除在该纹理单元中附着在该晶圆上的该纹理溶 液；多个输送部，依序安装在该前处理单元、该纹理单元以及该后处理单元，用以输送该装 填机所装载的该盒；一卸载机，用以移动在该后处理单元中后处理的该盒至一晶圆分离位 置，以及当晶圆完成分离时，移动该盒至一盒送回位置；以及一送回机，用以将该卸载机供 应至一送回位置的盒送回至该装填机。此晶圆纹理装置也可包含一贮存单元在该前处理单元或该后处理单元的一下末 端，该贮存单元用以贮存该盒。此盒可包含一对侧板互相面对设置，一挂钩槽形成于每一侧板的一上末端，用以 与该输送部的一处理机悬挂；多个下支撑件，以连接该侧板的二下部而安装，用以支撑该晶 圆的二下角；以及一上支撑件，以连接该侧板的一上部而安装，用以支撑该晶圆的一上角。该送回机可依序地安装于该前处理单元、该纹理单元以及该后处理单元内。该送回机可安装于该输送部的上部。该送回机可包含一输送带。该送回机可包含一直线模组，用以在该装填机及该卸载机间往复运动；以及安 装于该直线模组的一装载板，该盒安装于该装载板上。该装填机及该卸载机可包含一框 架；一输送机械臂，包含一 3轴输送单元及一 2轴旋转单元，该3轴输送单元安装于该框架 内，用以在3轴方向移动该盒，该2轴旋转单元安装于该3轴输送单元内，用以在2轴方向 旋转该盒；以及一支架，安装于该2轴旋转单元，用以夹持该盒。本专利技术具以下有益效果由于已接收晶圆的盒可自动地装载及卸载，作业变的更简单且所需人力更少，且 在晶圆输送期间会发生的任何对晶圆的损坏及制造的瑕疵将可避免。再者，由于所使用的 盒自动地输送及收回，可避免盒的任何损坏或遗失。由于盒的装载及卸载相继地且连续地 执行，作业速度及产率可增加。通过盒的输送制程的自动化技术，纹理制程可更简单操作及控制，且因此劳工成本及生产成本可降低且可改善生产良率及产品可靠度。此外，由于所接 收的晶圆在倾斜位置，当晶圆自处理槽移开时，纹理溶液可更容易的掉落，因此减少了残留 在晶圆上的纹理溶液。附图说明图1为根据本专利技术一实施例显示太阳能电池晶圆的盒输送装置的装填机的透视 图。图2为根据本专利技术一实施例的太阳能电池晶圆的盒输送装置的侧视图。图3为根据本专利技术一实施例的太阳能电池晶圆的盒输送装置的主要部分的放大 透视图。图4为根据本专利技术一实施例的太阳能电池晶圆的盒输送装置的送回机的透视图。图5为根据本专利技术一实施例的太阳能电池的晶圆盒输送装置的整体侧视图。图6为根据本专利技术一实施例的太阳能电池的晶圆纹理装置的侧视图。图7为根据本专利技术一实施例说明太阳能电池的晶圆纹理装置的一输送部的透视 图。图8为根据本专利技术的一实施例说明太阳能电池的晶圆纹理装置的已接收在盒内的晶圆的侧视图。图中50 盒52、54 侧板56a、56b 下支撑件56c上支撑件58挂钩槽60 晶圆100装填机120 框架130输送机械臂132 第一导件133 第一平板134 第二导件135 第二平板136第三导件136a 马达137第三平板138第一旋转块139输送臂140第二旋转块141 支架200卸载机300送回机310直线模组312直条块314直线导件320载板400纹理装置410前处理单元420纹理单元422处理槽424清洗单元430后处理单元432洗涤单元436烘干单元438空气室450输送部452轨道本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种输送装置，用以供应及收回一盒至一纹理装置以及自该纹理装置供应及收回该盒，一太阳能电池晶圆已接收于该盒内，其特征在于：该装置包含：一装填机，用以移动所述盒至一晶圆接收位置，以及移动及供应所述盒至所述纹理装置；一卸载机，当所述晶圆在所述纹理装置纹理完成后，移动所述盒至一晶圆分离位置，且将晶圆分离的所述盒移动至一盒送回位置；以及一送回机，用以将所述卸载机供应的所述盒送回至所述装填机。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴胜一，许闰成，丁春锡，朴智彬，
申请(专利权)人：SNT能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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