有机发光二极管显示器的制造方法技术

一种有机发光二极管（ＯＬＥＤ）显示器的制造方法，包括：在第一基板上按顺序形成薄膜晶体管（ＴＦＴ）阵列、第一电极和第一相关层，在第二基板和第三基板上分别形成发热元件，在第二基板上形成红色有机发射图案并且在第三基板上形成绿色有机发射图案，对准并贴合第一和第二基板，对发热元件施加电压以使红色有机发射图案转移到红色像素区域从而形成红色有机发射层，对准并贴合第一和第三基板，对发热元件施加电压以使得绿色有机发射图案转移到绿色像素区域从而形成绿色有机发射层，在第一基板上整个沉积蓝色有机发射材料从而形成蓝色有机发射层，以及在第一基板上按顺序形成第二相关层和第二电极。

【技术实现步骤摘要】

本文涉及一种。
技术介绍
近年来，已开发了各种能减小体积和重量的平板显示装置(“FPD”)，而就阴极射 线管而言，体积和重量是不利因素。这些平板显示装置包括例如液晶显示器(“LCD”)、场 发射显示器(“FED”)、等离子体显示面板(“PDP”)、和电致发光显示器(ELD)等。在实现轻、薄(slim)以及大尺寸屏幕方面，因PDP的结构和制造工序简单，因而其 最有优势，但是发光效率较低、发光度(luminance)低和功耗高是其缺点。TFT LCD(薄膜晶 体管LCD)应用广泛，但是具有视角窄和响应速度慢的问题。ELD根据用于发射层的材料，主 要分为无机发光二极管显示器和有机发光二极管显示器。两者之中，有机发光二极管显示 器是自发光元件，具有响应速度快、发光效率高、发光度高和视角宽的优点。有机发光二极管显示器包括如图1所示的有机发光二极管(“0LED”)。OLED是一种将电能转化为光能的有机电子元件，具有发光的有机发射材料位于 阴极电极“阴极”和阳极电极“阳极”之间的结构。从阳极电极注入(inject)空穴，从阴 极电极注入电子。空穴和电子从这些电极注入到有机发射层EML，其发光从而形成激子 (eXCitOn)，0LED因激子返回到最低能级(bottom level)时产生的能量而发光。为了平滑 地把空穴和电子从电极注入到发射层EML中，典型的是，在发射层EML和阳极电极之间设置 一空穴传输(transport)层HTL和一空穴注入层HIL，在发射层EML和阴极电极之间设置 一电子传输层ETL和一电子注入层EIL。就平滑的空穴注入而言，空穴注入层HIL和空穴 传输层HTL具有最高已占分子轨道HOMO (highest occupiedmolecular orbital)能级，该 能级对应于发射层EML与阳极电极之间的中间能级。另外，就平滑的电子注入而言，电子传 输层ETL和电子注入层EIL具有最低未占分子轨道LUMO (lowest unoccupied molecular orbital)能级，该能级对应于阴极电极与发射层EML之间的中间能级。OLED元件的亮度 (brightness)和效率特性由从阳极电极和阴极电极注入的空穴和电子的量确定。从阳极电 极注入到发射层EML的空穴量和从阴极注入到发射层EML的电子量随着有机发射材料的能 级而发生变化。同时，在OLED显示器中，就全色的实现而言，每个红色、绿色和蓝色像素中设置 OLED的位置处形成发射层EML。为每个像素而对发射层EML制作图案。形成发射层EML的 方法有使用纯金属掩膜(fine metal mask, FMM)的方法、喷墨法、激光感应热成像(laser induced thermal imaging, LITI)或者类似的方法。在纯金属掩膜(FMM)方法中，为每一个像素而使用一种金属精密掩膜(metal fine mask)对红色、绿色和蓝色发射材料制作图案以形成红像素、绿像素、和蓝像素。这种方法在元件特性方面具有优越性，然而，由于掩膜屏蔽(mask blocking)现象而使得成品率低，并 且由于开发大尺寸的掩膜很困难，因此该方法很难应用于大尺寸显示装置。喷墨方法由于发射层可以在选定区域形成并且对材料无损伤而具有优势，因此可 以实现大尺寸屏幕和高清晰度，并使发光材料能具有高发光效率。然而，在喷墨方法中， 需要精确调整从喷嘴喷出墨的量、速度、均勻的喷射角度等等，而且，为了实现低成本和大 尺寸屏幕，需要开发用于高速喷射的喷墨头并增加喷墨头数量。另外，要求薄膜的质量和 厚度是统一的，用以保证像素内部都发光良好；然而，出现一种所谓的咖啡渍效应(coffee stain effect)，在该效应下，在使墨滴变干的过程中薄膜的边缘变得更厚，从而加厚该边 缘。激光感应热成像是这样一种方法使一个光源，比如激光，照射由有机发射材料图 案、光-热转换层(light-to-heat convers ion layer)、和支撑膜(support film)组成的 转移基板(transfer substrate)，使转移膜(transferfilm)上的有机发射材料图案转移 到一基板上，从而形成发射层。更详细地对此进行描述，在激光感应热成像中，将配备有红 色、绿色和蓝色有机发射材料图案的转移膜设置在配备有黑色矩阵的基板之上，之后将该 基板与该转移膜相互对准并贴合。接下来，将贴有转移膜的基板放置在激光发射装置的载 物台上，随后载物台或者激光头从基板一端移动到另一端，以进行激光扫描。从而，使激光 束依次照射红色、绿色和蓝色有机发射材料图案。于是，使这些有机发射材料图案依次转移 到该基板上各自的像素区域。在通过以这种方式使用激光感应热成像在基板上形成有机发射层的情况下，需要 重复一系列工艺来形成红色、绿色和蓝色有机发射层，也就是说，把与红色、绿色和蓝色相 对应的各自的转移膜贴合于基板上，以扫描的方式使激光照射到那里，然后去除转移膜。因 此，这些重复的制造工艺会导致工艺时间延长及各工艺复杂化。另外，还有一些问题，在贴 合和去除红色、绿色和蓝色各自的转移膜过程中由于微小气泡(micro bubbles)的缘故，有 时会产生不良图案，有机发射层的边缘会由于激光束的反复照射以及转移膜的贴合和去除 而变得粗糙。
技术实现思路
本文的各实施方式提供一种，该方法能以低成 本实现大尺寸屏幕和高分辨率，并且能以相对简单的工艺制造有机发射层。根据本文的典型实施方式，提供一种配备有其中分别形成有OLED的多个像素的 有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法，该方法包括在第一基板上按顺序形成一薄膜 晶体管(TFT)阵列、第一电极、和一第一相关层(firstrelated layer)；在第二基板上对应 于第一基板上红色像素的位置处和在第三基板上对应于第一基板上绿色像素的位置处分 别形成发热元件；在配备有发热元件的第二基板上形成红色有机发射图案；并且在配备有 发热元件的第三基板上形成绿色有机发射图案；对准并贴合第一和第二基板，随后给第二 基板上的发热元件施加电压以将红色有机发射图案转移到第一基板上的红色像素区域，从 而一次形成红色有机发射层；对准并贴合第一和第三基板，随后给第三基板上的发热元件 施加电压以将绿色有机发射图案转移到第一基板上的绿色像素区域，从而一次形成绿色有 机发射层；在配备有红色有机发射层和绿色有机发射层的第一基板上整个沉积蓝色有机发射材料，从而形成蓝色有机发射层，并且在配备有蓝色有机发射层的第一基板上形成一第二相关层和一第二电极。这种方法形成的蓝色有机发射层的HOMO能级可以比红色和绿色有机发射层的 HOMO能级低0. IeV到0. 5eV,并且蓝色有机发射层的LOMO能级可以等于或者大于红色和绿 色有机发射层的LOMO能级。此外，第一和第二电极可以分别是一阳极电极和一阴极电极，第一相关层可以是 一用于注入和传输空穴的空穴相关层，并且第二相关层可以是一用于注入和传输电子的电 子相关层。可选择地，第一和第二电极可以分别是一阴极电极和一阳极电极，第一相关层可 以是一用于注入和传输电子的电子相关层，而第二相关层可以是一用于注入和传输空穴的 空穴相关层。本方法可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机发光二极管显示器的制造方法，所述有机发光二极管显示器配备有多个像素，所述多个像素中各自形成有有机发光二极管，所述方法包括：在第一基板上按顺序形成薄膜晶体管阵列、第一电极和第一相关层；在第二基板上对应于所述第一基板上红色像素的位置处和第三基板上对应于所述第一基板上绿色像素的位置处，分别形成发热元件；在配备有发热元件的所述第二基板上形成红色有机发射图案，并且在配备有发热元件的所述第三基板上形成绿色有机发射图案；对准并贴合所述第一基板和所述第二基板，之后给所述第二基板上的发热元件施加电压以将所述红色有机发射图案转移到所述第一基板上的红色像素区域，从而一次形成红色有机发射层；对准并贴合所述第一基板和所述第三基板，之后给所述第三基板上的发热元件施加电压以将所述绿色有机发射图案转移到所述第一基板上的绿色像素区域，从而一次形成绿色有机发射层；将蓝色有机发射材料整个沉积在配备有所述红色有机发射层和所述绿色有机发射层的所述第一基板上，从而形成蓝色有机发射层；以及在配备有所述蓝色有机发射层的所述第一基板上按顺序形成第二相关层和第二电极。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李文基，韩敞旭，金祐赞，高宥利，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]