一种硅片边缘保护装置及其应用方法，一头安装在固定盘上，另一头安装在三偏心凸轮盘上的气缸水平伸缩摆动，带动安装在固定盘上的三偏心凸轮盘进行圆周运动，通过矢量转换形式使一种直线运动转化为多个等分同步径向运动的方法，从而将直线摆动转化为圆周运动，三偏心凸轮盘带动凸轮盘上的偏心槽绕各自的圆心做圆周运动，将一个圆周运动转化为多个同步偏心运动，三偏心凸轮盘带动偏心槽内的凸轮随动器做径向运动，将多个同步偏心运动转化为同步径向运动，凸轮随动器带动保护爪作径向运动，保护爪将保护环抓起或放下，从而实现保护环或者其他物件的交换。本发明专利技术的精度高，可靠性好，重复精度高，结构简单，需要动力源少，同步性高。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种。
技术介绍
光刻装置主要用于集成电路IC或其他微型器件的制造。通过光刻装置，可将掩膜 图形成像于涂覆有光刻胶的晶片上，例如半导体或LCD板。光刻装置通过投影物镜曝光，将 设计的掩模图形转移到光刻胶上，而作为光刻装置的核心元件，硅片边缘保护装置对实现 负胶工艺曝光过程中硅片边缘的保护功能有重要的影响。为了获得成像效果，将光刻胶涂敷于硅片上，曝光后能产生腐蚀图形的一种光敏 材料，也称光致抗蚀剂(简称抗蚀剂)或光敏胶，也有地区称光阻或光阻剂，可分为正光刻 胶(正胶)和负光刻胶(负胶)两类，曝光部分被显影剂溶解的光刻胶称为正光刻胶，非曝 光部分被显影液溶解的光刻胶称为负光刻胶。硅片边缘保护装置就是为负胶光刻工艺而产 生的一种装置。已知的负胶光刻方法是在光刻生产线上的单独一套产品，而不是集成到光刻机 上。这样做就会增加产品的生产制造时间，同时提高了设备的采购成本及制造厂的费用。单 独的边缘保护机器会使硅片边缘保护装置的精度大大降低，这样会产生很高的废片率。效 率比较低下。因此，如何提供一种更为经济和高效率的硅片边缘保护装置已成为业界研究 的一大问题。
技术实现思路
本专利技术提供的一种，通过一个动力源来完成多个 径向同步力，使一种直线位移转化为多个等分径向位移，从而实现保护环的交换，精度高， 可靠性好，重复精度高，结构简单，需要动力源少，同步性高。为了达到上述目的，本专利技术提供一种硅片边缘保护装置，包含固定盘；三偏心凸轮盘，其安装在固定盘上，该三偏心凸轮盘上具有若干分布均勻的偏心 槽；所述三偏心凸轮盘是一个圆环，所述偏心槽为通槽或非通槽，其中心轨迹曲线由MM， D2D3, 三部分组成，每一个中心轨迹曲线中的一段与三偏心凸轮盘中心有一定的偏置 量，中心轨迹曲线方程为权利要求1.一种硅片边缘保护装置，其特征在于，该装置包含 固定盘(8)；三偏心凸轮盘(9)，其安装在固定盘(8)上，该三偏心凸轮盘(9)上具有若干分布均勻 的偏心槽；气缸机构(1)，其一头安装在固定盘(8)上，另一头安装在三偏心凸轮盘(9)上； 凸轮随动器(14)，其对应设置在三偏心凸轮盘(9)的偏心槽内； 保护环O)，其安装在固定盘(8)的正下方；保护爪(18)，其安装在凸轮随动器(14)上，并且嵌在固定盘(8)中，该保护爪(18)对 保护环(2)具有过载保护功能，且保护爪(18)对固定盘起固定作用；轴承套(11)，其安装在固定盘(8)上，三偏心凸轮盘(9)以轴承套(11)的圆柱面为滑 动轴作圆周运动；钢球(10)，其设置在轴承套(11)上，在轴承套(11)和三偏心凸轮盘(9)之间形成一个 滑动副，使三偏心凸轮盘(9)能从固定盘上浮起；气缸机构(1)通气后，气缸机构(1)带动三偏心凸轮盘(9)做圆周运动，三偏心凸轮盘 (9)带动凸轮随动器(14)作径向运动，凸轮随动器(14)带动保护爪(18) —起做径向运动， 将保护环(2)抓起或放下，实现保护环的交换。2.如权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述三偏心凸轮盘(9)是一个 圆环。3.如权利要求2所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述偏心槽为通槽或非通槽， 其中心轨迹曲线由MM，D2D3,而M三部分组成，每一个中心轨迹曲线中的一段与三偏心 凸轮盘(9)中心有偏置量，中心轨迹曲线方程为4.如权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述的气缸机构(1)采用气压 缸作为原动力或液压缸作为原动力。5.如权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述的硅片边缘保护装置还 包含定位销(15)，其安装在固定盘(8)上；弹簧保护销00)穿过弹簧(19)安装在定位销(15)上，对保护爪(18)起过缓冲和载 保护作用；球头螺钉(17)，其安装在保护爪(18)的头端部，该球头螺钉(17)随保护爪(18) —起作径向运动，对保护环(2)起自定心作用，随着球头螺钉(17)向保护环(2)中心移动，使得 原本偏心的保护环O)回归到中心位置。6.如权利要求5所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述的硅片边缘保护装置还 包含内六角平端紧定螺钉(3)，吹气机构(4)，接近传感器(5)，硅片边缘保护盖板部件(6)， 十字槽沉头螺钉(7)，开槽螺钉(13)，X向调节座(12)，四方螺母(16)，第一钢珠(21)，盖板 (22)，压板(23)，第二钢珠(24)，螺塞(25)，压块(26)，压盖(27)，螺钉(28)；内六角平端紧定螺钉⑶安装在X向调节座(12)上，调节X向的位移量；接近传感器 (5)均安装在固定盘(8)上，用来测量保护环(2)是否完全与硅片边缘保护接触；十字槽沉 头螺钉⑵穿过X向调节座(12)安装在固定盘⑶上，用来固定X向调节座(12)；开槽螺 钉(1 穿过轴承套(11)与固定盘(8)连接；四方螺母(16)安装在球头螺钉(17)上；螺 塞05)安装在固定盘(8)上来固定轴承套(11)，硅片边缘保护盖板部件(6)安装在固定 盘(8)上，吹气机构(4)安装在固定盘(8)上，第一钢珠放入盖板02)中，盖板02) 放入压板中用螺钉08)拧紧，第二钢珠04)放入压块06)中，压块06)放入压盖 (27)中后用螺钉(28)拧紧。7.—种如权利要求1所述的硅片边缘装置的应用方法，其特征在于，通过矢量转换形 式使一种直线运动转化为多个等分同步径向运动的方法，该方法包含以下步骤步骤1、气缸水平伸缩摆动，带动三偏心凸轮盘进行圆周运动，从而将直线摆动转化为 圆周运动；步骤2、三偏心凸轮盘带动凸轮盘上的偏心槽绕各自的圆心做圆周运动，将一个圆周运 动转化为多个同步偏心运动；步骤3、三偏心凸轮盘带动偏心槽内的凸轮随动器做径向运动，将多个同步偏心运动转 化为同步径向运动；步骤4、凸轮随动器带动保护爪作径向运动；步骤5、保护爪将保护环抓起或放下，实现保护环的交换。8.如权利要求7所述的硅片边缘装置应用方法，其特征在于，包含以下步骤步骤1、气缸水平伸缩摆动，带动三偏心凸轮盘进行圆周运动，从而将直线摆动转化为 圆周运动；气缸机构(1)伸长或缩短运动，并绕旋转轴作小角度旋转，气缸伸缩后长度由Ll改变 为L2，气缸机构(1)带着三偏心凸轮盘(9)围绕固定盘(8)作圆周运动；根据气缸机构(1)的初始位置角树和气缸机构(1)的终止位置角识2，COS^1 =d2+r2 ~L' ,COS灼=d2’得到气缸机构(1)的工作摆角^全文摘要一种，一头安装在固定盘上，另一头安装在三偏心凸轮盘上的气缸水平伸缩摆动，带动安装在固定盘上的三偏心凸轮盘进行圆周运动，通过矢量转换形式使一种直线运动转化为多个等分同步径向运动的方法，从而将直线摆动转化为圆周运动，三偏心凸轮盘带动凸轮盘上的偏心槽绕各自的圆心做圆周运动，将一个圆周运动转化为多个同步偏心运动，三偏心凸轮盘带动偏心槽内的凸轮随动器做径向运动，将多个同步偏心运动转化为同步径向运动，凸轮随动器带动保护爪作径向运动，保护爪将保护环抓起或放下，从而实现保护环或者其他物件的交换。本专利技术的精度高，可靠性好，重复精度高，结构简单，需要动力源少，同步性高。文档编号G03F7/20GK102141735SQ20101010242公开日2011年8月3日 申请日期2010年1月28日本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种硅片边缘保护装置，其特征在于，该装置包含：固定盘（８）；三偏心凸轮盘（９），其安装在固定盘（８）上，该三偏心凸轮盘（９）上具有若干分布均匀的偏心槽；气缸机构（１），其一头安装在固定盘（８）上，另一头安装在三偏心凸轮盘（９）上；凸轮随动器（１４），其对应设置在三偏心凸轮盘（９）的偏心槽内；保护环（２），其安装在固定盘（８）的正下方；保护爪（１８），其安装在凸轮随动器（１４）上，并且嵌在固定盘（８）中，该保护爪（１８）对保护环（２）具有过载保护功能，且保护爪（１８）对固定盘起固定作用；轴承套（１１），其安装在固定盘（８）上，三偏心凸轮盘（９）以轴承套（１１）的圆柱面为滑动轴作圆周运动；钢球（１０），其设置在轴承套（１１）上，在轴承套（１１）和三偏心凸轮盘（９）之间形成一个滑动副，使三偏心凸轮盘（９）能从固定盘上浮起；气缸机构（１）通气后，气缸机构（１）带动三偏心凸轮盘（９）做圆周运动，三偏心凸轮盘（９）带动凸轮随动器（１４）作径向运动，凸轮随动器（１４）带动保护爪（１８）一起做径向运动，将保护环（２）抓起或放下，实现保护环的交换。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴荣基，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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