公开了一种基片加工装置，尤其公开了一种能够对基片进行预定加工的基片交换模块以及具有该模块的基片加工装置。所述基片加工装置的基片交换模块与一个或多个加工模块相连接，所述加工模块被配置用于加工堆叠在托盘上的多个基片，所述基片交换模块包括：基片交换单元，其包括用于支撑装载有多个基片的托盘并上下移动该托盘，并将已加工的基片和待加工的基片进行交换的托盘上下移动单元；和托盘转移单元，其被配置用于从所述基片交换单元处接收装载有多个待加工基片的托盘并将该托盘引入加工模块内，并且其还被配置用于从加工模块收回装载有已加工基片的托盘并将该托盘转移到基片交换单元。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及基片加工装置，尤其涉及一种能够对基片进行预定加工的基片交换 模块以及具有该模块的基片加工装置。
技术介绍
基片加工装置用于对至少一个基片进行至少一种预定加工。基片加工装置包括 构成密封加工空间的外壳，以及安装在该外壳内、配置为支撑至少一个基片的基片支撑 单元。本基片加工装置是指在向加工空间内注入至少一种气体的同时，通过向至少一个 基片的表面通电进行蚀刻或沉积加工的装置。基片加工装置加工的基片包括半导体设备的晶片、液晶面板的玻璃基片和太阳 能电池的基片等。作为基片加工装置的一个例子，存在一个在基片表面构成微小的不平整处的真 空加工装置，该装置通过在托盘上装载太阳能电池的晶片，用一个具有多个开口的盖子 组件覆盖该基片，并将该托盘安装在一个基片支撑单元上，该基片支撑单元安装在外壳 内。这个进行真空加工的真空加工装置需要基片交换模块，用于向托盘上装载至 少一个基片或从托盘上卸载至少一个基片；盖子组件覆盖模块，用于覆盖所述盖子组 件；转移机器人，用于转移被盖子组件覆盖的托盘；以及，转移机器人可移动的移动空 间。然而，传统的基片加工装置具有下述缺陷第一，多个模块和移动空间增加了基片加工装置的总表面积。这将导致基片加 工装置安装成本的增加。尤其是，当基片加工装置被安装在一个昂贵的无尘室设施中，以保持清洁状态 的时候。因此，即使少量增加基片加工装置的安装面积，安装成本也会显著增加。此外，由于传统基片加工装置要求多个模块，当模块数量增加时装置的总安装 成本也会增加。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是提供一种基片加工装置的基片交换模块，其通过同时进 行基片交换流程，即向托盘上装载基片或从托盘上卸载基片，和托盘交换流程，即向真 空模块装载托盘或从真空模块卸载托盘，能够显著降低制造成本和安装成本；以及，具 有该模块的基片加工装置。为按照本专利技术的专利技术目的获得上述这些优势和其他优势，正如这里具体化和概 述的，本专利技术提供一种基片加工装置的基片交换模块，其与一个或多个配置用于对堆叠 在托盘上的多个基片进行加工的加工模块相连接；该基片交换模块包括基片交换单 元，其包括用于支撑装载有多个基片的托盘并上下移动该托盘，并将已加工的基片和待加工的基片进行交换的托盘上下移动单元；以及，托盘转移单元，其被配置用于从所述 基片交换单元接收装载有多个待加工基片的托盘并将该托盘引入加工模块内，并且其还 被配置用于从加工模块收回装载有已加工基片的托盘并将该托盘转移到基片交换单元。 所述基片交换模块可以进一步包括安装于所述基片交换单元上方或下方的托盘 缓存单元，其被配置用于从所述基片交换单元接收装载有多个待加工基片的托盘并暂时 存放所述托盘于其内；其中所述托盘转移单元从所述托盘缓存单元将装载有多个待加工 基片的托盘引入到加工模块内，从加工模块收回装载有已加工基片的托盘，并将该托盘 转移到基片交换单元。所述基片交换模块进一步包括安装于所述基片交换单元安装上方或下方的托盘 缓存单元，其被配置用于暂时在其内存放装载有多个已加工基片的托盘并将该托盘转移 到所述基片交换单元；其中所述托盘转移单元从所述基材交换单元将装载有多个待加工 基片的托盘引入到加工模块内，从加工模块收回装载有已加工基片的托盘，并将该托盘 转移到托盘缓存单元。所述托盘可以为矩形，且具有穿透地形成于其处的多个开口的矩形盖子组件可 以以其底面与基片隔开的状态覆盖所述托盘。所述基片交换模块可以进一步包括安装于所述托盘转移单元下方的盖子组件装 载单元，其被配置用于当基片交换单元的托盘上下移动单元向下移动覆盖有盖子组件的 托盘时，通过支撑所述盖子组件的至少部分边缘将盖子组件与托盘分开，并被配置用于 当托盘上下移动单元向上移动托盘时，用盖子组件覆盖托盘。可以在盖子组件的彼此相对的侧面上构成分接头，所述分接头由盖子组件装载 单元支撑。托盘转移单元可以包括一个或多个转移臂，所述转移臂被配置用于支撑被盖子 组件覆盖的托盘，且被安装为可以线性移动到加工模块内；横向移动单元，配置用于当 被盖子组件覆盖的托盘沿上下方向移动通过转移臂时，横向移动所述转移臂，避免所述 转移臂干扰所述托盘。托盘缓存单元可以包括托盘支撑单元，配置用于支撑被盖子组件覆盖的托 盘；以及，支撑单元驱动单元，配置用于驱动所述托盘支撑单元来支撑托盘或解除支撑 状态，这样可以在所述基片交换单元或托盘转移单元和托盘支撑单元之间交换所述被盖 子组件覆盖的托盘。可以将所述支撑单元驱动单元安装为可上下移动，从而可以上下移动所述托盘 支撑单元。所述基片交换单元可以进一步包括基片装载单元，其被配置用于从托盘卸载已 加工的基片并往托盘上装载待加工的基片。为按照本专利技术的专利技术目的获得上述这些优势和其他优势，正如这里具体化和概 述的，本专利技术还提供一种基片加工装置，包括基片加工装置；以及一个或多个加工 模块，其被配置用于加工多个装载在托盘上的基片，所述托盘与所述基片加工装置相连接。为按照本专利技术的专利技术目的获得上述这些优势和其他优势，正如这里具体化和概 述的，本专利技术还提供一种基片加工装置，包括一个或多个加工模块，其被配置用于加工多个装载在托盘上的基片；和与所述加工模块相连接的基片交换模块，所述基片交换 模块包括基片交换单元，其包括支撑装载有多个基片的托盘并上下移动该托盘的托盘 上下移动单元，并将已加工的基片和将要进行加工的基片进行交换；和托盘转移单元， 其被配置用于从所述基片交换单元接收装载有多个待加工基片的托盘并将该托 盘引入加 工模块内，并且其还被配置用于从加工模块收回装载有已加工基片的托盘并将该托盘转 移到基片交换单元。所述基片交换模块和具有该模块的基片加工装置具有下述优势。第一，该基片交换模块可以被配置用于在一个模块中同时进行基片交换流程， 即向托盘上装载基片或从托盘上卸载基片，和托盘交换流程，即向真空模块装载托盘或 从真空模块卸载托盘。这将降低所述基片交换模块的制造成本。尤其是，基片交换模块，即用于向托盘上装载基片或从托盘上卸载基片的模 块，和用于向加工模块装载有基片的托盘或从加工模块卸载装载有基片的托盘的托盘交 换模块可以被构造为一个模块，即基片交换模块。这将显著降低基片交换模块占用的面 积，因而显著降低基片交换模块的安装成本。第二，如果是在托盘被盖子组件覆盖的情况下进行基片加工，基片交换模块可 以包括向托盘上装载盖子组件或将盖子组件与托盘分离的结构以便交换基片，以及在加 工模块之间互相交换托盘的托盘缓存单元结构，并构成为一个模块。这将显著降低基片 交换模块的制造成本，并且降低基片交换模块占用的面积，因而显著降低安装成本。通过以下结合附图的具体说明，本专利技术的上述和其它目标，特征，方面和优点 将变得更加明显。附图说明提供本专利技术的进一步理解且合并进来构成本专利技术说明书一部分的附图、本专利技术 的示例实施例和说明书一起用于解释本专利技术的原理。附图中图IA到II是根据本专利技术的基片加工装置的侧面剖视图，其示出了基片加工装置 的操作流程；以及图2A到2D是图1中所示基片加工装置的平面示图，其示出了图1中所示基片 加工装置的操作流程。具体实施例方式下面将参照附图详细说明本专利技术。在下文中，将参照附图详细解释根据本专利技术的基片加工装置的基片交换模块以 及具有该模块的基片加工本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基片加工装置的基片交换模块，其与一个或更多个加工模块相连接，所述加工模块被配置用于加工堆叠在托盘上的多个基片，所述基片交换模块包括：基片交换单元，包括用于支撑装载有多个基片的托盘、上下移动所述托盘，并交换已加工的基片和待加工的基片的托盘上下移动单元；以及托盘转移单元，配置为从所述基片交换单元处接收装载有多个待加工基片的托盘并将所述托盘引入所述加工模块内，从所述加工模块收回装载有已加工基片的托盘并将所述托盘转移到所述基片交换单元。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：金炳埈，
申请(专利权)人：金炳埈，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。