【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产领域，具体为一种氩气双储罐管道连通装置。
技术介绍
目前半导体在人们的生活中运用非常广泛，特别是在电子电力领域更是离不开半 导体。半导体生产中需要用到氩气作为单晶、多晶生产的保护气体，氩气一般需要有储存罐 保存，但现有技术的单个储存罐在提供氩气时往往会出现气压不足的问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种氩气双储罐管道连通装置，以解决现有技术的氩气 储存装置在输送氩气时出现气压不足的问题。为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案为氩气双储罐管道连通装置，包括两个储存有氩气的储罐，其特征在于还包括有两 个分别带进、出气口的冷却池，一个储罐通过输气管和一个冷却池的进气口对应一一连通， 两个冷却池的出气口上分别安装有出气管，两路出气管合为一路管道，合路管道上还安装 有压力阀。本技术结构简单，易于安装和日常维护，通过双储罐、双冷却池中的氩气合为 一路交替输出，可以有效地解决输出的氩气气压不够的问题，同时通过在合路管道上安装 压力阀，可实时监测合路管道中输出氩气的压力，大大提高了半导体的生产效率，降低了生 产成本。附图说明图1为本技术结构示意图。具体实施方式如图1所示。氩气双储罐管道连通装置，包括两个储存有氩气的储罐1，还包括有 两个分别带进、出气口的冷却池2，一个储罐通过输气管3和一个冷却池的进气口对应一一 连通，两个冷却池2的出气口上分别安装有出气管4，两路出气管4合为一路管道，合路管道 5上还安装有压力阀6。权利要求氩气双储罐管道连通装置，包括两个储存有氩气的储罐，其特征在于还包括有两个分别带进、出气口的冷却池，一个储罐通过输气管和一个冷却...
【技术保护点】
氩气双储罐管道连通装置，包括两个储存有氩气的储罐，其特征在于：还包括有两个分别带进、出气口的冷却池，一个储罐通过输气管和一个冷却池的进气口对应一一连通，两个冷却池的出气口上分别安装有出气管，两路出气管合为一路管道，合路管道上还安装有压力阀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：钱新江，朱景福，
申请(专利权)人：安徽日能中天半导体发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：34[中国|安徽]
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