【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
硅片水平清洗机滚轮，包括由上滚轮、下滚轮组成的至少一对滚轮，每对滚轮中的上滚轮与下滚轮上下相对，下滚轮与带动其转动的下转轴相连；其特征是：它还包括用于驱动上滚轮转动的上驱动轴；被清洗的硅片放置在下滚轮上，上滚轮与硅片的上表面接触，上滚轮与上驱动轴之间在径向方向有间隙。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：覃启东，
申请(专利权)人：苏州聚晶科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32
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