The invention relates to a crystal growth interface control method based on clapboard lifting. The existing methods for controlling the solid-liquid interface of crystal growth are Bridgman and VGF. The above two methods are more complex in industrial applications, and are not suitable for the photovoltaic ingot casting industry with increasing single ingot weight at present. The invention is characterized in that the silicon ingot furnace thermal insulation cage is arranged on the inner wall of a partition in the circle of conflict and along the lifting, the separator is composed of insulating material, by lifting the partition to correct the solid-liquid interface of crystal growth: when the solid-liquid interface appears on the convex shape, to maintain a smooth solid-liquid interface. To move the diaphragm; when the solid-liquid interface appears concave shape, in order to maintain a smooth solid-liquid interface, moving down the partition. The invention avoids the disadvantages of large weight crucible can not achieve stable lifting through the separator lifting, while using the diaphragm to change its lifting and the surrounding thermal field components of the relative position, so as to achieve the control of solid-liquid interface shape function.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅及其它半导体材料以铸锭方式进行晶体生长的方法,具体地说是。
技术介绍
多晶硅铸锭技术由于其产业化中廉价、高效、低能耗的优势已经占领了光伏硅片生产的大片领域。但是以多晶硅铸锭技术生产的光伏硅片在质量上和直拉单晶相比还存在差距。杂质含量、少子寿命、位错密度等等因素都使得多晶硅电池片的最终转换效率低于直拉单晶硅电池片1^-2 ^不过直拉单晶电池片所拥有的最后一座堡垒,已经渐渐被兴起的技术所攻破。单晶铸锭技术,也就是利用方形籽晶作为生长初始条件,继而生长出单晶体或准单晶体的硅锭。该项技术能够将最后制得的电池片最高效率提升到19%,使得直拉单晶的优势荡然无存。这项技术的推广就是光伏行业飞速发展的契机。利用籽晶避免了坩埚表面的随机成核,使得最初的晶体生长能够按照初始籽晶的方向进行生长。但是要保持晶体生长的连续,就需要良好的温度梯度和始终一致水平的固液界面。由HEM发展而来的DSS技术以及ALD技术都无法保证水平一致的固液界面。能做该项控制技术的是Bridgman法以及VGF法。这两项技术都是基于光学单晶体生长的,它们不但能做到籽晶动态平衡而且也能恒定界面控制。Bridgman法最核心的标志是坩埚能够上下移动。通过移动坩埚位置,形成加热器、 绝热材料等热场组件相对位置变动,以此来控制界面形状。VGF法的设备具有多组加热器,并且加热器之间相互独立。运行过程中保持所有热场组件及坩埚位置不变,通过调节各组加热器的功率,来控制一定的固液界面。以上两种方法固然可行,但是工业应用较为复杂。特别是对于当前单锭重量越来越大的光伏硅铸锭行业,往往一个锭就在450kg以上 ...
【技术保护点】
1.一种基于隔板升降的晶体生长界面控制方法,其特征在于晶硅铸锭炉热场的绝热笼内壁上设有一圈抵触在其上且能沿其升降的隔板,隔板由绝热材料制成,通过升降隔板来修正晶体生长的固液界面:当固液界面出现上凸形状时,为保持固液界面平整,向上移动隔板;当固液界面出现下凹形状时,为保持固液界面平整,向下移动隔板。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:徐芳华,赵波,王琤,高杰,陈志华,王明明,任晓坜,高波,
申请(专利权)人:杭州精功机电研究所有限公司,
类型:发明
国别省市:86
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。