一种MEMS麦克风制造技术

技术编号:6003678 阅读:176 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术提供了一种MEMS麦克风,包括组成MEMS麦克风框架结构的线路板基板、中部镂空的线路板框架和盖子,以及设置于MEMS麦克风框架结构内部的MEMS声学芯片和ASIC芯片,其中,线路板基板和盖子分别固定安装于线路板框架的上下两个表面上;MEMS声学芯片和ASIC芯片分别设置于线路板基板和盖子上,设置于盖子上的芯片通过金属线与线路板框架电连接。利用本实用新型专利技术,MEMS麦克风的MEMS声学芯片和ASIC芯片安装位置得到灵活调整,可以满足不同的设计需要,并且这种结构的MEMS麦克风制造成本低廉,结构可靠性良好。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风,包括组成所述MEMS麦克风框架结构的线路板基板、中部镂空的线路板框架和盖子,以及设置于所述MEMS麦克风框架结构内部的MEMS声学芯片和ASIC芯片,其中,所述线路板基板和所述盖子分别固定安装于所述线路板框架的上下两个表面上;所述MEMS声学芯片和ASIC芯片分别设置于所述线路板基板和所述盖子上,设置于所述盖子上的芯片通过金属线与所述线路板框架电连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:宋青林庞胜利谷芳辉
申请(专利权)人:歌尔声学股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:37

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