一种增强排气型复合分子泵制造技术

本实用新型专利技术涉及一种增强排气型复合分子泵，涉及真空技术领域，包括泵壳、泵座、光 轴、转子体和定子，转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成，光轴与转子体连接， 转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方，螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强 排气级转子，增强排气级转子为光板；涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片，螺旋槽牵引分 子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子，增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。并汇 集了拖动气体分子运动和涡轮分子的原理，通过这种结构设计达到具有大抽速、高真空能力 和增大排气能力的复合分子泵，该泵具有效率高、体积小、造价低的优点。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种增强排气型复合分子泵，包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子，其特征是所述的转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成，所述的光轴与转子体连接，转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方，螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子，增强排气级转子为光板；涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片，螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子，增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘坤，李涛，常学森，巴德纯，
申请(专利权)人：刘坤，李涛，常学森，巴德纯，
类型：实用新型
国别省市：89