移动式静电消除器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种移动式静电消除器，涉及手推车、静电消除器以及不间断电源，其特征在于：所述静电消除器由工厂环境下的固定式转变为与手推车相结合的移动式，并与所述手推车上装设的不间断电源电性相接。本实用新型专利技术的设计方案付诸实施后，将制造现场的静电防护聚焦到产品上，结合手推车的移动方式，有效提高了产品在其制造周期内的静电防护的能力，降低了高集成化下的ＥＳＤ高敏器件被静电击穿的危害性。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及晶圆制造中用于消除静电放电危害的一种装置；除此之外，其同样涉及微电子工业化生产领域。
技术介绍
半导体产业飞速发展，这是人类进歩喜人的一面。随着消费者对电子产 品短小轻薄的要求日渐提升，以及制造商对高成本利用率的追求，对半导体 成品的模块、功能的集成化要求也日渐增高，以期在尽可能小尺寸的器件上 实现尽可能多的功能，成为半导体工业竞争的焦点。然而，高度的集成化同 时也意味着器件耐受静电击穿的能力进一步降低。这种看不见、听不到、摸 不着的潜在危害，开始被越来越多的人所关注、重视。静电击穿现象己成为 半导体工业高度集成化的重要掣肘之一。 一些官方数据的公布，进一步证实 了这点根据ANSI/ESD协会公布，时至2010年左右，人体模型在低于 200V时即可能对静电敏感产品产生破坏。如果按照10MV/cm的理论耐击穿 能力计算，45V的静电电压即可能对45nm线宽的制程产生击穿效应。目前 晶圆制造工厂的制程特征尺寸大致为0.25 um、 0.18 ym、 0.13 um，尤其在 世界范围内，先进制程已经演进至45nm。因此，后续制程的演进要求制造 环境具有更高的ESD防护能力。针对上述静电防护提出的更高要求，目前业界普遍采用如图1所示的主 动式静电防护体系。该主动式静电防护主要是在制造现场的天花板内相隔一定距离布置静电消除器，来对现场环境内的静电进行中和。现场环境下的各 种器物及作业人员均按规格进行防护措施，例如作业人员3的衣帽鞋均具有导电功能，而机台设备53、工作台52、以及运输器具51a等均采用不锈 钢或静电消散材质制成。除此之外更重要的是在天花板1内每隔一段距离布 置有多只静电消除器4a、 4b、 4c……。由此便从天花板1到高架地板2的整 个范围内形成了 一个主动的静电防护体系。然而，这种防护体系初期设置费用昂贵，平均1.2m 2.0m安装一只，其 构建完成后不具备调节的自由性，且其工作效能易受现场环境影响，例如人 员及高度较高机台等情况，故而无法实现百分百的静电防护效果。
技术实现思路
本技术的目的旨在提供一种移动式静电消除器，通过改进静电消除 器的布置形式，直接对产品进行防护，以期达到产品运送过程百分百的静电 防护功效。本技术移动式静电消除器，其实施的方案如下移动式静电消除器，涉及手推车、静电消除器以及不间断电源，其特征 在于所述静电消除器由工厂环境下的固定式转变为与手推车相结合的移动 式，并与所述手推车上装设的不间断电源电性相接。进一步地，所述手推车具有承放运送光罩、晶圆或ESD高敏元器件的平台o更进一步地，所述手推车上的静电消除器悬空设置于平台上。 再进一步地，所述静电消除器为升降式设计，根据运送产品的需求以及 静电消除器本身性能参数调整静电消除器与平台上产品间的距离。本技术的设计方案付诸实施后，将制造现场的静电防护聚焦到产品 上，结合手推车的移动方式，有效提高了半导体静电防护的能力，降低了高 集成化下的ESD高敏器件被静电击穿的危害性。附图说明图1是现有技术制造现场主动式静电防护体系的模型示意图； 图2是本专利技术制造现场静电防护体系的模型示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点更易理解，下面特结合本实用 新型一具体优选实施例，作详细说明如下如图2所示实施例，是针对现有所设的主动式静电防护体系可能导致的 静电放电防护不足问题，对制造现场进行改进后所得的一种具有移动式静电消除装置的100%静电防护体系。对比图1所示的现有技术静电防护体系可见，图2所示的本实施例具有 与图1相同整体布置之处，故不再予以赘述。特别在该实施例中，静电防护 体系包括一移动式静电消除器。该移动式静电消除器，涉及手推车51、静电 消除器6a、 6b以及不间断电源8a、 8b。其中，该手推车51具有放置并运输光罩、晶圆或ESD高敏元器件的平台，这 些待加工或已加工的产品工件7a、 7b通过手推车51往来运送于各作业机台 之间，以避免人力搬运所造成的损伤。对不同集成化程度的工件产品的静电防护要求也不尽相同，故而，手推车51上所设的静电消除器6a、 6b距离平台上产品工件的距 离具有可调性。根据防护要求以及静电消除器本身的性能参数，由手推车上 的升降装置对该距离进行合理化调整。本实施例中，静电消除器选用的型号 为ION-6422 (e)，建议防护距离为lfoot。该不间断电源8a、 8b是对应提供静电消除器6a、 6b持续工作所需的能 源，并且随手推车51装配。在本实施例中，不间断电源搭配使用24V DC Output 。当制程段需要进行诸如光罩、晶圆、各类ESD敏感元器件等的工件的运 输、转移时，应用本实施例所提供的移动式静电消除器，即可减少静电放电 的危害，达到完全的静电放电防护能力。除此之外，由于不同静电消除器性能略有差异，针对不同的需求可以搭 配选择合适型号的静电消除器，且手推车上所设静电消除器的数量也不限于 2个，可以为1个或多个，以符合实际需求，而不间断电源的持续供电能 力，也需对应匹配。以上所述是对本技术一优选实施例的全面描述，并非用于限定本设 计实施及保护的范围，凡采用等同变换或者等效替换而修改形成的技术方 案，均落在本技术权利保护范围之内。权利要求1.移动式静电消除器，涉及手推车、静电消除器以及不间断电源，其特征在于所述静电消除器由工厂环境下的固定式转变为与手推车相结合的移动式，并与所述手推车上装设的不间断电源电性相接。2. 根据权利要求1所述的移动式静电消除器，其特征在于所述手推 车具有承放运送光罩、晶圆或ESD高敏元器件的平台。3. 根据权利要求1所述的移动式静电消除器，其特征在于所述手推 车上的静电消除器悬空设置于平台上。4. 根据权利要求1所述的移动式静电消除器，其特征在于所述静电 消除器为升降式设计。专利摘要本技术公开了一种移动式静电消除器，涉及手推车、静电消除器以及不间断电源，其特征在于所述静电消除器由工厂环境下的固定式转变为与手推车相结合的移动式，并与所述手推车上装设的不间断电源电性相接。本技术的设计方案付诸实施后，将制造现场的静电防护聚焦到产品上，结合手推车的移动方式，有效提高了产品在其制造周期内的静电防护的能力，降低了高集成化下的ESD高敏器件被静电击穿的危害性。文档编号H05F3/00GK201360380SQ200820217048公开日2009年12月9日 申请日期2008年11月26日 优先权日2008年11月26日专利技术者夏剑平 申请人:和舰科技(苏州)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
移动式静电消除器，涉及手推车、静电消除器以及不间断电源，其特征在于：所述静电消除器由工厂环境下的固定式转变为与手推车相结合的移动式，并与所述手推车上装设的不间断电源电性相接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：夏剑平，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]