碳纳米管阵列的制备装置及制备方法制造方法及图纸

技术编号:5924837 阅读:241 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种碳纳米管阵列的制备方法,其包括以下步骤:提供一筒状基底,该筒状基底具有一平滑的外表面,该外表面沉积有一催化剂层;提供一反应室,将该沉积有催化剂层的筒状基底设置在该反应室内;提供一加热装置,使该加热装置设置于该筒状基底的内部,并将所述反应室内的空气排出,之后,采用该加热装置加热该筒状基底至一预定温度;向该反应室内通入碳源气体,从而在该筒状基底上生长获得一碳纳米管阵列。本发明专利技术还提供一种碳纳米管阵列的制备装置。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种碳纳米管阵列的制备方法,其包括以下步骤:  提供一筒状基底,该筒状基底具有一平滑的外表面,该外表面沉积有一催化剂层;  提供一反应室,将该沉积有催化剂层的筒状基底设置在该反应室内;  提供一加热装置,使该加热装置设置于该筒状基底的内部,并将所述反应室内的空气排出,之后,采用该加热装置加热该筒状基底至一预定温度;  向该反应室内通入碳源气体,从而在该筒状基底上生长获得一碳纳米管阵列。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:冯辰刘亮
申请(专利权)人:北京富纳特创新科技有限公司
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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