一种分子泵电子部件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种分子泵的电子部件，它由单片机及其外围电路构成，安装在分子泵上，通过电缆与分子泵控制器连接。单片机具有以下功能：保存分子泵型号和出厂编号；记录分子泵运行时间；实时测量分子泵输入电压。电路系统安装在封闭金属外壳中，与分子泵控制器通过屏蔽电缆连接。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种分子泵部件，其特征在于，具有由单片机为核心的电路系统，安装在分子泵上，通过电缆与分子泵控制器通信。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张华，
申请(专利权)人：北京中科科仪技术发展有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]