清洗辊子制造技术

技术编号:5687613 阅读:181 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种不会使已被污染的清洗液滞留在基板上,使清洗效果进一步地得到改善的清洗辊子。本发明专利技术的清洗辊子具有辊子主体(10),并且在辊子主体的外周面上植设有刷毛(15)。辊子主体具有构成清洗液流路的内部空间,该内部空间借助连接器(12b)与清洗液供给导管(14)连接。在辊子主体(10)上,沿辊子主体的轴线螺旋状形成与上述内部空间连通并喷射清洗液的多个喷射孔(16)。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种清洗辊子,具有:具有构成清洗液流路的内部空间的空心圆筒状的辊子主体;在辊子主体的外周面上设置的刷毛;和将上述辊子主体可自由旋转地连结于清洗液供给导管的连结构件,其特征在于:上述辊子主体的内部空间与上述清洗液供给导管连通, 在上述辊子主体上,沿辊子主体的轴线螺旋状地形成与上述内部空间连通并喷射清洗液的多个喷射孔。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:岛井太河田茂
申请(专利权)人:东京应化工业株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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