配管用加热器制造技术

提供一种配管用加热器，其可提高搬运时以及装配时的操作性和再现性，且能够将配管均匀地维持在希望的一定温度。为此，配管用加热器（１）由多个壳体（３、１３）构成，它们经铰链（２）连结，且包围装配在截面圆形（Ｃ）的配管（Ｐ）的外周壁（Ｐａ）上，形成沿该配管（Ｐ）的多面体（Ｒ）。在该壳体（３、１３）的内壁（３ａ、１３ａ）的整个面设有隔热材料（４、１４）、多个模制件（５、１５）和多个发热体（６），多个模制件（５、１５）配置于内壁（３ａ、１３ａ）从而装配时抵接于配管（Ｐ）的外周壁（Ｐａ），多个发热体（６）配置于壳体（３、１３）的内壁（３ａ、１３ａ），使得装配时位于配管（Ｐ）的外周壁（Ｐａ）与形成的多面体（Ｒ）的角部（Ｒａ）之间的空间（７）中，且沿配管（Ｐ）的长度方向延伸。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种半导体制造装置以及其他的制造装置、或者化学反应处理装置等 中的配管用加热器。
技术介绍
目前，在半导体制造装置、化学处理装置、食品制造装置以及其他的制造装置中， 使用有一种配管用加热器，利用该配管用加热器来防止在移送处理前的气体或液体以及处 理后的气体或液体的配管的内壁上所述气体以及液体的固化或堆积。作为配管用加热器，公知的是使发热体直接与作为被加热体的配管接触来进行加 热的接触加热型的配管用加热器，具体地说，有在隔热材料和玻璃布等中埋设发热体、并卷 绕在配管上的套式加热器(jacket heater)，另外还有专利文献1中提到的、在硅树脂等中 埋设发热体、并卷绕在配管上的硅橡胶加热器。另外，还公知有一种非接触加热型的配管用加热器，其不使发热体直接与配管接 触，而是在配管与发热体之间设置希望的空间，利用来自发热体的辐射热和该空间内的空 气的热传导来进行加热，具体地说，在专利文献2中提出一种利用在外侧面贴有面状加热 器的金属板形成比配管大的空间，并将配管包围的配管用加热器。专利文献1 日本特开平10-134947号公报专利文献2 日本特开平9-17555号公报但是，在套式加热器或专利文献1的配管用加热器中，由于发热体的配置位置、向 配管的卷绕位置、向配管的卷绕不均、对配管的紧贴度不均，存在着在配管上产生温度不均 的顾虑。这是因为在现场对加热器进行配管的作业的熟练度会影响对配管的加热的均一 性。另外，在套式加热器中，由于玻璃布等沾染灰尘引起的使用环境对清洁度的影响， 存在配管金属部分腐蚀的顾虑，另外在专利文献1的配管用加热器中，因使用硅树脂等而 产生的硅氧烷，也存在配管金属部分腐蚀的顾虑，所以需要对使用环境进行考虑。在专利文献2的配管用加热器中，面状加热器不与配管直接接触，配管通过位于 由面状加热器加热的金属板和配管之间的空间之中的空气的热传导而被加热，因此，面状 加热器的配置位置引起的配管的温度不均会减少。但是，由于是在金属板和配管之间确保 大空间的构造，所以各部分大型化，在搬运时、装配时对操作性有影响。另外，在配管的维护中，还有可能难以再现再装配时的配管用加热器的加热性能。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述情况而提出，其目的在于提供一种使搬运时以及装配时的操作性 和装配时的再现性提高，同时能够将配管均勻加热到希望的一定温度的配管用加热器。为了解决上述问题，本专利技术的配管用加热器的特征在于，包括多个壳体，所述多个壳体经铰链连结，被装配在截面圆形的配管的外周壁上以包3围该配管，且形成沿该配管的多面体；隔热材料，所述隔热材料配置在该壳体的内壁的整个面上；多个模制件，所述多个模制件配置于所述内壁，使得在所述装配时抵接于所述外 周壁；以及多个发热体，所述多个发热体被配置在所述装配时形成于所述外周壁和所述多面 体的角部之间的空间中，且沿所述配管的长度方向延伸。在此，所谓“截面”是指垂直于配管的长度方向的面。上述的所谓“圆形”，并不需 要是数学意义上的严格的圆，还可以包含椭圆等。上述的所谓“多面体”是被多个面包围、且 截面是多边形的立体，是所有的面由长方形或正方形构成的立体形状。上述的所谓“内壁” 是指与配管的外周壁面对的壳体的内表面。上述的所谓“整个面”虽然是指内壁的大致整 个面，但并不是严格意义上的内壁的全部。上述的所谓“隔热材料”包括套式加热器系、硅 系、云母系以及含浸了耐热树脂的清洁块(clean block)系的隔热材料，但在适用于特别是 半导体装置那样要求清洁环境的装置中时，优选清洁块系。上述的所谓“角部”是指装配时 邻接的内壁的交叉部分及其附近。另外，在本专利技术中，模制件可以配置于装配时最接近配管的外周壁的位置、即构成 多面体的侧面的各壳体的内壁的宽度方向的中央附近。另外，在本专利技术中，模制件可以与发热体形成一体而配置在内壁上，并是被配置于 内壁的、装配时多面体的角部的附近位置。在此，所谓“与发热体形成一体”，没有必要说是发热体的全部与模制件形成一体， 在实际应用上只要是发热体的一部分与模制件形成一体即可。另外，在本专利技术中，壳体可以经铰链连结成邻接的壳体的外壁彼此以边界角度向 外侧打开、邻接的壳体的合并面抵接而向内侧闭合。在此，所谓“邻接的壳体”是指经铰链连结的相邻的壳体。上述的所谓“外壁”是 指壳体的与内壁相反一侧的表面。上述的所谓“外侧”是指邻接的壳体的外壁彼此接近的 方向。上述的所谓“边界角度”是指外壁彼此以邻接的壳体的外壁彼此不会碰撞的程度向 外侧形成的角度，优选邻接壳体的外壁彼此所成的角度为60度到180度的范围。上述的所 谓“合并面抵接”是指邻接的壳体的端部彼此接近为接触的程度，并不是指严格意义上的接 触。上述的所谓“内侧”是指邻接的壳体的内壁彼此接近的方向。进而，在本专利技术中，壳体还可以具有通过上锁而维持多面体的形状的搭锁。专利技术效果根据本专利技术，具有多个壳体，所述多个壳体由铰链连结，使配管用加热器装配在截 面圆形的配管的外周壁上，且形成沿该配管的多面体；隔热材料，所述隔热材料配置在该壳 体的内壁的整个面上；多个模制件，所述多个模制件配置于内壁，使得在装配时抵接于外周 壁；以及多个发热体，所述多个发热体被配置在装配时形成于外周壁和多面体的角部之间 的空间中，且在配管的长度方向上延伸。因此，配管用加热器的所有的构成部件被构成为利用由铰链结合的壳体整体形 成多面体，在搬运时以及装配时操作性提高，另外，在装配时由于是配置于壳体内壁的模制 件与配管的外周壁抵接并包围配管的构造，所以向配管上的安装稳定性提高，不会因在现 场将加热器装配到配管上的操作的熟练度而影响对配管的加热的均一性，能够始终稳定地实现良好加热。另外，由于多面体的角部和配管的外周壁之间的空间均一且具有再现性，所 以通过配置于该空间内的多个发热体发出的辐射热与由发热体加热的空间内的空气的对 流，对配管进行均勻加热。进而，根据本专利技术，利用隔热材料能够降低周围的热变动，并且在是被称作“清洁 块”的含浸有耐热树脂的隔热材料的情况下，还能够减少沾染灰尘。附图说明图1是表示本专利技术的第一实施方式装配时的截面的图；图2A是表示本专利技术的第一实施方式未装配时的截面的图；图2B是表示本专利技术的第一实施方式未装配时的截面的图；图3A是表示本专利技术的第二实施方式的图；图3B是表示本专利技术的第二实施方式的图；图3C是表示本专利技术的第二实施方式的图；图4是本专利技术的配管用加热器1的立体图；图5是表示本专利技术的配管用加热器1向配管P装配时的装配作业的图；图6是表示本专利技术的配管用加热器1的连结装配的图；图7A是表示对本专利技术的配管用加热器1的加热性能进行测量时的测量点的图；图7B是表示对本专利技术的配管用加热器1的加热性能进行测量时的测量点的图；图8A是表示本专利技术的配管用加热器1的加热性能的测量数据的图；图8B是表示本专利技术的配管用加热器1的加热性能的测量数据的图；图中C-圆形La-边界角度P-配管Pa-外周壁R-长方体Ra-角部I-配管用加热器2-铰链3、13-壳体3a、13a-内壁4、14-隔热材料5、15-模制件(mould)6-发热体7-空间12-耐热树脂具体实施例方式以下，参考附图说明本专利技术的实施方式。5参考图1、图2说明本专利技术的配管用加热器的第一实施方式。图1是表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种配管用加热器，其特征在于，包括：多个壳体，所述多个壳体经铰链连结，被装配在截面圆形的配管的外周壁上以包围该配管，且形成沿该配管的多面体；隔热材料，所述隔热材料配置在该壳体的内壁的整个面上；多个模制件，所述多个模制件配置于所述内壁，使得在所述装配时抵接于所述外周壁；以及多个发热体，所述多个发热体被配置在所述装配时形成于所述外周壁和所述多面体的角部之间的空间中，且在所述配管的长度方向上延伸。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：野本嗣博，村山弘晃，宫崎和久，
申请(专利权)人：株式会社东京技术研究所，
类型：发明
国别省市：JP