自清洁丝杆运动装置制造方法及图纸

一种自清洁丝杆运动装置，属于机械运动装置领域。该自清洁丝杆运动装置设置清洁刷与螺母同步联动，并且其刷毛贴合丝杆杆身。在螺母自旋转相对丝杆移动时，清洁刷同时旋转清洁丝杆。使得丝杆运动装置在运动过程中得到自清洁，具有清洁效果显著、无需对机械运动机台停机拆卸、免除人力清洁的特点。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种机械运动装置，具体涉及一种机械传送设备 的丝杆运动装置，尤其涉及一种机械传送设备的能自清洁的丝杆运动 装置。
技术介绍
在半导体制造厂中，晶圆的制造工艺过程中，为了完成不同工序， 晶圆需要在不同设备上转移，这种转移通过机械臂等的精确传送来实 现。由于晶圆制造要求高清洁的生产环境，因此机械臂等这些机械传送设备(SMIF)需要进行频繁清洁，尤其是机械轴、杆等频繁运动的 零件。在SMIF机台中，为了保持运动的稳定性，会使用到大量的螺》走 紋丝杆，丝杆本身固定且不转动，安装在其丝杆身上的螺母能相对丝 杆转动，通过带动螺母转动，实现目标机械台在相对丝杆的长方向作 升降运动。图1所示为现有技术的丝杆运动装置的示意图。如图1所示，所 述丝杆运动装置包括丝杆l、螺母2、拔插7、转动件6、电动机3、 带轮4以及机械台20。丝杆1带有螺旋紋并处于固定位置，其杆身 穿过螺母2以及机械台的通孔5，螺母2与丝杆1的螺旋紋配合，并可以相对固定的丝杆作转动。转动件6与机械台20固定连接。筒形 的拔插7 —端通过螺钉固定在转动件6上，螺母2置于拔插7的内圓 柱孔内并与拔插7通过键合固定，螺母2相对丝杆1转动时，通过键 可以带动拔插7作同步转动。电动机3和带轮4组成动力装置，电动 机3带动带轮4转动，进一步带轮4带动转动件6转动。在转动件6 被带动转动的情况下，由于拔插7固定在转动件6上、螺母2键合固 定在拔插7上，所以，转动件6可以同步带动螺母2相对丝杆1转动， 由于丝杆固定，所以可以使机械台20在丝杆的杆身方向作升降运动。 机械台20相对丝杆的升或者降运动，可以由带轮的转动方向决定。 这种丝杆运动装置的特点是由于机械台的运动速度和距离，完全取 决于螺母相对丝杆的旋转转速及螺旋紋的参数，所以易于稳定、准确 的控制机械台运动，具有高度的稳定性。同时，由于图1所示的丝杆运动装置中的丝杆是一个不能够转动 的零件，如果杆身螺旋紋中存在杂质，可能会卡住螺母2，导致整个 机械传送设备运动不稳，甚至损坏丝杆1和螺母2，所以清洗丝杆显 得尤为必要；为满足晶圆车间的清洁度要求，丝杆的清洁也是必须的。 当前主要通过定期人工进行检修，通过拆卸SMIF设备后，对丝杆进 行清洁工作。然而丝杆需要经常的清洁，这样的拆卸、清洗过程非常 麻烦，且人工清洁时，清洁工具也可能因为机台空间的问题无法方便 清理。清洁丝杆将耗费较多人力，以及停机成本。因此，迫切需要提 供一种能够方便有效清洁丝杆的装置。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种自清洁丝杆运动装 置，以解决现有人力难以有效方便的清洁机械设备中丝杆运动装置的 问题。为解决以上技术问题，本技术提供的自清洁丝杆运动装置，包括固定的带有螺旋紋的丝杆、与所述丝杆的螺旋紋配合并能相对 丝杆转动的螺母、与所述螺母同步转动的转动件、以及带动转动件转 动的动力装置，并且还包括至少 一个与所述螺母同步转动的清洁刷， 所述清洁刷的刷毛贴合丝杆杆身。根据本技术所提供的自清洁丝杆运动装置，其中，所述自清洁丝杆运动装置还包括固定连接螺母和转动件的拔插，所述螺母被套 于拔插的圓柱孔内并且与拔插一起相对丝杆同步转动。拔插与转动件 通过螺钉固定。所述动力装置包括电动机和带轮。作为较佳实施例，清洁刷包括刷柄，所述刷柄与螺母通过槽孔4建 合固定。作为又一较佳实施例，清洁刷包括刷柄，所述刷柄置于拔插圆柱 孔内表面与螺母之间形成的槽孔中。作为再一较佳实施例，所述自清洁丝杆运动装置还包括与所述拔 插同步转动的刷座以及横截面为C形的弹簧套，丝杆贯通所述刷座的 内圆柱孔，丝杆的内圓柱孔具有清洁刷大小的缺口，弹簧套安装在刷 座的外圆柱筒壁上，清洁刷固定置于丝杆与弹片之间的刷座的缺口 中。所述刷座与拔插通过结构契合或螺钉固定。所述C形的弹簧套的c形缺口大于所述清洁刷。本技术的技术效果是，该自清洁丝杆运动装置设置清洁刷与 螺母同步联动，并且其刷毛贴合丝杆杆身。在螺母自旋转相对丝杆移 动时，清洁刷同时旋转清洁丝杆。使得丝杆运动装置在运动过程中得 到自清洁，具有清洁效果显著、无需对机械运动机台停机拆卸、免除 人力清洁的特点，并且对于现有丝杆运动装置的改装方便。附图说明图1为现有^t支术的丝杆运动装置的示意图； 图2为本技术的自清洁丝杆运动装置的一个具体实施例结 构示意图3为图2所示丝杆运动装置的局部仰;现图； 图4为本技术的自清洁丝杆运动装置的一个具体实施例结 构示意图5所示为图4所示实施例的零件组合图。具体实施方式下面结合说明书附图，对本技术的具体实施例作详细说明。 图2所示为本技术的自清洁丝杆运动装置的一个具体实施 例结构示意图，相比较现有技术图l所示的丝杆结构，同样具有如下 结构及功能特点丝杆运动装置包括丝杆1、螺母2、拔插7、转动 件6、电动机3、带轮4以及机械台20。丝杆1带有螺旋紋并处于固定位置，其杆身穿过螺母2以及机械台的通孔5，螺母2与丝杆1的 螺旋紋配合，并可以相对固定的丝杆作转动。转动件6与机械台20 固定连接。筒形的拔插7 —端通过螺钉固定在转动件6上，螺母2置 于拔插7的内圆柱孔内并与拔插7通过键合固定，螺母2相对丝杆1 转动时，通过键可以带动拔插7作同步转动。电动机3和带轮4组成 动力装置，电动机3带动带轮4转动，进一步带轮4带动转动件6转 动。在转动件6被带动转动的情况下，由于拔插7固定在转动件6上、 螺母2 4定合固定在拔插7上，所以，转动件6可以同步带动螺母2相 对丝杆l转动，由于丝杆固定，所以可以使机械台20在丝杆的杆身 方向作升降运动。积^戒台20相对丝杆的升或者降运动，可以由带轮的转动方向决定。图2所示丝杆运动装置与现有技术图1所示丝杆装置的区别在 于，丝杆运动装置还包括清洁刷9,清洁刷9为两个。如图2所示， 螺母2和拔插7的内圆柱孔之间形成之间开了竖直的槽孔19，清洁 刷9的刷柄8插于槽孔19中间，因此清洁刷9可以相对螺母固定。 在本实施例中，槽孔19的一半在螺母中， 一半在拔插中。槽孔19也 可以是完全开于螺母2上；槽孔的开槽位置不受本技术限制，是 要使插入该槽孔的清洁刷能与螺母、拔插之间相对固定并可三者一起 做同步转动即可。清洁刷9的刷毛贴合丝杆1的杆身。当螺母、拔插、 转动件一起同步相对丝杆转动时，清洁刷9也可以同步转动，因此刷 毛必然作用与丝杆，从而对丝杆的螺旋紋作清洁.工作，整个清洁过程 利用丝杆自身的运动原理来实现清洁过程，在装置本身运动时，就能清洁丝杆，所以称之为自清洁丝杆运动装置。图2所示实施例的优点 在于对现有的丝杆运动装置改进简便，且易于更换清洁刷。为更清楚示意图2所示实施例的结构，给出图3所示为图2所示 丝杆运动装置的局部仰视图。如图3所示，螺紋2和拔插7通过键 18键合固定，横截面为四方形的槽孔19的一半在螺母中， 一半在圓 柱环的拔插中。图4所示为本技术的自清洁丝杆运动装置的又一具体实施 例结构示意图；图5所示为图4所示实施例的零件组合图。如图4、 图5所示，相比图1所示现有技术的丝杆运动装置，丝杆1、螺母2、 拔插7、转动件6、电动机3、带轮4以及机械台20的结构和功能基 本相同。同时，图4所示实施例制作了一个圆筒形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自清洁丝杆运动装置，包括固定的带有螺旋纹的丝杆、与所述丝杆的螺旋纹配合并能相对丝杆转动的螺母、与所述螺母同步转动的转动件、以及带动转动件转动的动力装置，其特征在于还包括至少一个与所述螺母同步转动的清洁刷，所述清洁刷的刷毛贴合丝杆杆身。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：龚伟平，苏陶炯，张龙，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]