物质检测传感器制造技术

本发明专利技术提供一种物质检测传感器。该物质检测传感器包括：绝缘层（２），具有挠性；两个电极（３Ａ、３Ｂ），互相隔开间隔地相对配置在绝缘层（２）上，与电阻检测器相连接；导电性层（４），横跨两个电极并与两个电极电连接地形成在绝缘层上，其膨胀比根据特定物质的种类及／或量而变化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种物质检测传感器，详细地讲，是涉及一种 主要用于检测气体的种类、量的物质检测传感器。
技术介绍
以往，检测气体、液体的物质传感器可用于各种产业用途。 这样的物质传感器可用于特定气体、液体的定性分析、定量分析等。例如，提出了 一种如下这样的化学传感器，其包括基体、 形成在基体上、由导电性物质及非导电性有机聚合物的混合物 构成的具有化学灵敏性的抗蚀层、以及互相隔开间隔地配置在基体上并经由抗蚀层电连接的第l及第2导电性引线，作为该化 学传感器中的基体，提出了一种采用由玻璃或陶瓷构成的非导 电性基板(例如参照下述专利文献l )。专利文献l:曰本特表平ll 一 503231号7^才艮(图4A，) 另一方面，近年来，在用于各种产业用途的仪器中，谋求 薄型化和小型化、或者通过具有可动部而谋求提高功能性，对 于这样的仪器中的狭小部、可动部要求其能够检测物质。但是，在上述专利文献l中所述的化学传感器中，由玻璃、 陶瓷构成的非导电性基板很硬，因此，难以将具有这样的非导 电性基板的化学传感器配置在仪器的狭小部、可动部上。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够容易地配置在狭小部、可动部 上的物质检测传感器。3为了达到上述目的，本专利技术的物质检测传感器的特征在于，包括绝缘层，具有挠性；两个电极，互相隔开间隔地相对配 置在上述绝缘层上，与电阻检测器相连接；导电性层，横跨两 个上述电极并与上述电极接触地形成在上述绝缘层上，其膨胀 比根据特定物质的种类及/或量而变化。另外，在本专利技术的物质检测传感器中，优选上述物质为气体。另外，在本专利技术的物质检测传感器中，优选上述绝缘层由 液晶聚合物构成。另外，在本专利技术的物质检测传感器中，优选上述绝缘层由 聚对苯二甲酸乙二醇酯构成。另外，在本专利技术的物质检测传感器中，优选包括形成在上 述绝缘层之下的金属层。另外，在本专利技术的物质检测传感器中，优选包括以包覆两 个上述电极的方式形成的锡层或锡合金层。另外，在本专利技术的物质检测传感器中，优选包括以包覆两 个上述电极的方式形成的金层。另外，在本专利技术的物质检测传感器中，优选包括以包覆上 述锡层或上述锡合金层的方式形成的金层。由于在本专利技术的物质检测传感器中包括具有挠性的绝缘 层，因此，能够使绝缘层柔软地变形而将物质检测传感器配置 在狭小部上，或者，能够将其配置在可动部上而使物质检测传 感器随着可动部的运动而运动。因此，通过由电阻检测器检测膨胀比根据特定物质而变化 的导电性层的电阻值，能够可靠地对狭小部、可动部的物质实 施检测。附图说明图l是作为本专利技术的物质检测传感器的一实施方式的气体 检测传感器的俯视图。图2表示图l所示的气体检测传感器的A- A剖视图。图3表示制造工序图，该制造工序图表示图2所示的气体检 测传感器的制造方法。图4是作为本专利技术的物质检测传感器的另 一 实施方式的气 体检测传感器的俯视图。图5是作为本专利技术的物质检测传感器的另 一实施方式的气 体检测传感器的剖视图，表示与图2相对应的剖视图。具体实施例方式图l是作为本专利技术的物质检测传感器的一实施方式的气体 检测传感器的俯视图，图2表示图1所示的气体检测传感器的A -A剖视图。在图2中，该气体检测传感器1包括绝缘层2、形成在绝缘 层2上的导体图案8、包覆导体图案8地形成的第l保护层ll、包 覆第1保护层11地形成的第2保护层12、以及包覆第2保护层12 地形成在绝缘层2上的导电性层4。绝缘层2具有挠性，例如图l所示，形成为俯视大致矩形状 的薄片(薄膜)形状。导体图案8作为配线电路图案而形成在绝缘层2上，包括电 极3和配线7。电极3在绝缘层2的相对的两端面之间形成为呈直线状延 伸，该电极3包括两个电极、即第1电极3A和第2电极3B。第1电极3A在与电极3延伸的方向正交的方向上并列配置 有多个。各第1电极3A在第1电极3A的并列方向上互相隔开间5隔地配置。第2电极3B在与电极3延伸的方向正交的方向上并列配置 有多个。各第2电极3B在第2电极3B的并列方向上，以配置在 各第1电极3A之间的方式(除并列方向一端部的第2电极3B之 外)互相隔开间隔地配置。在该电极3中，各第1电极3A及各第2电极3B在第1电极3A 及第2电极3 B的并列方向上隔开间隔地交替配置。配线7包括与第1电极3A相连接的第1配线7A以及与第2电 极3B相连接的第2配线7B。第1配线7A以配置在绝缘层2的一侧端部(电极3延伸的方 向的一侧端部，下同)、且与各第1电才及3A的一侧端部相连接的 方式，沿着第1电极3A的并列方向延伸地形成为直线状。另夕卜， 第1配线7A将各第1电极3A与电阻检测器10电连接。第2配线7B以配置在绝缘层2的另 一侧端部(电极3延伸的 方向的另一侧端部，下同)、且与各第2电极3B的另 一侧端部相 连接的方式，沿着第2电极3B的并列方向延伸地形成为直线状。 另外，第2配线7B将各第2电极3B与电阻检测器10电连接。另外，在该导体图案8中，形成为在电极3延伸的方向上第 1电才及3A向一侧、第2配线7B向另一侧互相偏移。由此，该导 体图案8由第1电极3A及第1配线7A、第2电极3B及第2配线7B 分别形成为梳齿状，它们互相配置为分歧状。如图2所示，第1保护层11包覆导体图案8地形成，更具体 地讲，直接形成在各第1电极3A和各第2电极3B的表面(上表 面及侧面)以及第1配线7A和第2配线7B的表面(上表面及侧 面)上(图2中未图示)。第2保护层12包覆形成在导体图案8表面的第l保护层ll地 形成，更具体地讲，形成在第l保护层ll的表面(上表面及侧6面)上。如图l所示，导电性层4配置在绝缘层2的俯视大致中央， 形成为俯视大致矩形形状。另外，导电性层4在第1电极3A及第 2电极3B的并列方向上包覆所有的第1电极3A及第2电极3B地 连续形成。另外，导电性层4在电极3延伸的方向上形成为第1 电极3A的一侧端部、第1配线7A、第2电极3B的另 一侧端部及 第2配线7B露出。图3表示制造工序图，该制造工序图表示图2所示的气体检 测传感器的制造方法。接着，参照图3说明制造该气体检测传感器1的方法。首先，在该方法中，如图3(a)所示，准备绝缘层2。作为形成绝缘层2的绝缘材料，只要是具有挠性的材料即 可，例如可使用液晶聚合物(LCP;芳香族或脂肪族二羟基化 合物的聚合物、芳香族或脂肪族二羧酸的聚合物、芳香族羟基 羧酸的聚合物、芳香族二胺、芳香族羟基胺或芳香族氨基羧酸 的聚合物等)、聚对苯二曱酸乙二醇酯(PET)、聚酰亚胺(PI)、 聚醚腈、聚醚砜、聚萘二曱酸乙二醇酯、聚苯硫醚(PPS)、聚 醚酰亚胺(PEI)、聚氯乙烯等合成树脂等。这些绝缘材料可以单 独使用或者同时使用。另外，作为这样的绝缘材料，优选采用吸水率、湿度膨胀 系数、热膨胀系数及透气率较低的材料。优选使用液晶聚合物或聚对苯二曱酸乙二醇酯。由于液晶 聚合物或者聚对苯二曱酸乙二醇酯的吸水率、透气率(氧气穿透 率等)较低，可以防止由于吸收环境气体中的水蒸汽而引起绝缘 层2的膨胀，另外，防止气体、水蒸气从绝缘层2的下表面穿透 而对导电性层4产生影响。因而，能够防止基于这样的绝缘层2 的膨胀进行的误检测、基于绝缘层2穿透的影响进行的误检测。为了准备绝缘层2，例如准备上述绝缘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物质检测传感器，其特征在于，　包括：　绝缘层，具有挠性；　两个电极，互相隔开间隔地相对配置在上述绝缘层上，与电阻检测器相连接；　导电性层，横跨两个上述电极并与两个上述电极电连接地形成在上述绝缘层上，其膨胀比根据特 定物质的种类及／或量而变化。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：内藤俊树，山崎博司，表利彦，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]