在液晶基板上二维地扫描电子光束并取得拍摄影像，基于该拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查，在该液晶阵列检查过程中，使用借由电子光束来对平台进行拍摄而获得的拍摄影像，求出各电子枪的拍摄范围的Ｘ方向及Ｙ方向的位置偏移量，根据求出的位置偏移量来计算用以对电子枪的拍摄范围的Ｘ方向及Ｙ方向的位置偏移进行修正的修正量，借由对电子光束的Ｘ方向的扫描进行控制来修正Ｘ方向的位置偏移，且借由将电子枪的Ｙ方向的设置位置予以对准来修正Ｙ方向的位置偏移。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种基于扫描影像来对液晶基板的阵列进行检查的液晶阵列(array) 检查装置及扫描光束装置，该扫描影像是在基板上二维地扫描电子光束(beam)或离子光 束(ion beam)等的带电粒子光束而获得的影像。
技术介绍
如下的基板检查装置已为人所知，该基板检查装置是将检查信号施加至检查对 象的液晶基板的阵列，在基板上二维地扫描电子光束或离子光束等的带电粒子光束，基 于光束扫描所获得的扫描影像来进行基板检查。例如，在用于薄膜晶体管(Thin Film Transistor, TFT)显示(display)装置的TFT阵列基板的制造步骤中，检查所制造的TFT阵 列基板是否正确地驱动，但在该TFT阵列基板检查中，使用例如电子光束作为带电粒子光 束，借由对TFT阵列基板进行扫描来取得扫描影像，并基于该扫描影像来进行检查。(专利 文献1、专利文献2)为了使电子光束在液晶基板上二维地对阵列进行扫描，使电子光束在X方向上摆 动，并且使平台(stage)在Y方向上移动。对于该利用了电子光束的扫描与平台的移动的扫描而言，从单一的电子枪照射出 的电子光束能够以高精度来进行扫描的扫描宽度存在极限，因此，如下的构成已为人所知， 即，将一个基板所具有的全部的扫描范围分成多个部分，并针对各部分来设置电子枪。而 且，如下的控制方法已为人所知，即，将各电子枪的扫描范围分成排列在X方向上的多个路 径(path)，在各路径内，交替地进行与液晶基板的1个像素(pixel)的Y方向的宽度相当的 进给宽度的平台进给、及与1个像素的X方向的宽度相当的扫描宽度的光束扫描，借此来取 得路径内的扫描影像。图13(a) 图13(c)是用以对液晶基板上的电子光束的扫描进行说明的图。在图 13(a) 图13(c)中，将多个电子枪(GUN1、GUN2、…)以规定间隔配置在液晶基板的X方向 上，从该电子枪将电子光束照射至液晶基板上。在该电子光束的照射过程中，各电子枪在设 定于液晶基板上的多个路径(在图13(a) 图13(c)中为路径1 路径4)的一个路径内， 以扫描宽度Dx的宽度来扫描电子光束。借由电子枪的电子光束的摆动的动作，以路径为单 位来扫描所述电子光束，在一个路径结束之后，使平台移动，对邻接的路径进行扫描。在该 平台移动时，仅移动与路径的宽度相当的平台移动宽度Lx。图13 (b)表示路径1的扫描状态，使平台从图13 (a)所示的路径1的扫描位置起仅 移动平台移动宽度Lx，借由该移动来对路径2进行扫描。另外，图13(c)表示如下的状态， 即，使平台从图13(b)的位置起仅移动平台移动宽度Lx，且对路径3进行扫描。如此，对设 定于液晶基板上的多个的全部路径进行扫描。在各路径的扫描中，将检查信号施加至液晶基板，在液晶基板的阵列上扫描电子 光束并检测二次电子，取得检测信号。1个路径被分成多个帧(frame)，对各帧施加检查信 号并对检测信号进行检测。在全部的路径中施加所述检查信号并对检测信号进行检测，将在各扫描中所拍摄的扫描影像加以组合，借此来取得整个基板的扫描影像。再者，对于各帧，将检查信号的施加与电子光束的扫描及二次电子的检测进行多 次(例如20次)，使所获得的多个检测信号重叠，借此，可使检测信号的信号强度增加。专利文献1 日本专利特开2004-271516号公报专利文献2 日本专利特开2004-309488号公报借由将多个扫描影像加以组合来取得一个液晶基板的扫描影像，所述多个扫描影 像是借由成一列地配置于液晶基板的X方向的多个电子枪扫描电子光束而获得的影像。此 处，成一列地配置于X方向的多个电子枪的配置间隔、或各电子枪所照射的电子光束的照 射角度等的电子光束条件不一定一致。因此，借由各电子枪而获得的拍摄范围在X方向上 有可能会产生偏移。在拍摄范围的X方向上产生位置偏移的情况下，当将多个拍摄范围加以组合时， 在χ方向上有可能会产生未摄像的范围。另外，将排列于液晶基板的X方向上的多个电子枪的列在方向上配置成多列，借 此，对一个液晶基板进行扫描的扫描时间缩短，由此，可期待对液晶阵列进行检查的检查时 间缩短。如此，在将电子枪的列配置成多列的构成中，如上所述，除了存在借由排列于各列 的多个电子枪而获得的拍摄范围中产生位置偏移的问题之外，在各列之间，在Y方向上相 邻接的拍摄范围的Y方向上有可能会产生偏移。在拍摄范围的Y方向上产生位置偏移的情况下，当将多个拍摄范围加以组合时， 在Y方向上有可能会产生未摄像的范围。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于解决所述先前的问题点，在液晶基板上二维地扫描电子 光束并取得拍摄影像，基于该拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查，在该液晶阵列检查 中，当将多个电子枪的拍摄影像加以组合而取得一个液晶基板的拍摄影像时，对各电子枪 的拍摄范围的偏移进行修正。更详细而言，本专利技术的目的在于将排列于液晶基板的X方向的多个电子枪的列 在液晶基板的Y方向上配置成多列，将借由从各电子枪扫描出电子光束而获得的多个扫描 影像加以组合，借由扫描影像来对液晶基板的阵列进行检查，在该液晶阵列检查中，对各电 子枪的拍摄范围进行修正。在本专利技术中，使用借由电子光束来对平台进行拍摄而获得的拍摄影像，求出各电 子枪的拍摄范围的X方向及Y方向的位置偏移量，并根据求出的位置偏移量来计算用以对 电子枪的拍摄范围的X方向及Y方向的位置偏移进行修正的修正量，对电子光束的X方向 的扫描进行控制，借此来修正X方向的位置偏移，将电子枪的Y方向的设置位置予以对准， 借此来修正Y方向的位置偏移。借此，当将多个电子枪的拍摄影像加以组合而取得一个液晶基板的拍摄影像时， 可对各电子枪的拍摄范围的偏移进行修正。另外，在将排列于液晶基板的X方向的多个电 子枪的列在液晶基板的Y方向上配置多列而形成的电子枪的构成中，可对各电子枪的拍摄 范围的偏移进行修正。本专利技术的液晶阵列检查装置在液晶基板上二维地扫描电子光束并取得拍摄影像， 基于所取得的拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查，该液晶阵列检查装置包括平台，用 以载置液晶基板；多个电子枪，在平台的上方位置配置于X方向及Y方向；扫描控制部，对 电子枪的电子光束的扫描进行控制；多个检测器，对由于电子枪的电子光束的扫描而放出 的二次电子进行检测；影像处理部，根据检测器的检测信号来生成电子枪所扫描的拍摄范 围的拍摄影像；修正量计算部，根据影像处理部所生成的平台的拍摄影像来求出各电子枪 的拍摄范围的X方向及Y方向的位置偏移量，并根据求出的位置偏移量来计算用以对电子 枪的拍摄范围的X方向及Y方向的位置偏移进行修正的修正量；以及缺陷判定部，根据影像 处理部所生成的基板的拍摄影像来检查阵列的缺陷。本专利技术的扫描控制部基于修正量计算部所计算出的拍摄范围的X方向的修正量 来对电子光束的X方向的扫描进行控制。本专利技术的修正量计算部针对各电子枪扫描所获得的拍摄范围，求出位置偏移，并 基于该位置偏移来计算修正量，借此，能够以各电子枪作为单位来对各电子枪的位置偏移 进行修正。本专利技术的液晶阵列检查装置包括如下的构成为了求出位置偏移以计算修正量， 对设置在平台上的标记(mark)进行拍摄，从拍摄影像中识别出所述标记，根据所述标记的 检测位置与基准位置的位置关系来求出拍摄范围的位置偏移本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种液晶阵列检查装置，在液晶基板上二维地扫描电子光束并取得拍摄影像，基于所述拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查，其特征在于包括： 平台，用以载置所述液晶基板； 多个电子枪，在所述平台的上方位置配置于Ｘ方向及Ｙ方向； 扫描控制部，对所述电子枪的电子光束的扫描进行控制； 多个检测器，对由于所述电子枪的电子光束的扫描而放出的二次电子进行检测； 影像处理部，根据所述检测器的检测信号来生成所述电子枪所扫描的拍摄范围的拍摄影像； 修正量计算部，根据所述影像处理部所生成的平台的拍摄影像来求出各电子枪的拍摄范围的Ｘ方向及Ｙ方向的位置偏移量，并根据所述位置偏移量来计算用以对电子枪的拍摄范围的Ｘ方向及Ｙ方向的位置偏移进行修正的修正量；以及 缺陷判定部，根据所述影像处理部所生成的基板的拍摄影像来检查阵列的缺陷， 所述扫描控制部基于所述修正量计算部所计算出的拍摄范围的Ｘ方向的修正量来对电子光束的Ｘ方向的扫描进行控制。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：永井正道，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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