一种快拆式内传输框架结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种快拆式内传输框架结构，该结构在真空溅镀的腔体内设置了一个框架，该框架由若干副框架组成，各副框架的组接处外端各设有一对接板，并于各该对接板上形成有定位部，该定位部为螺纹孔结构，可利用一如螺丝等定位件锁设于相对接合的二定位部处，将副框架结合为一体，因此可方便框架于腔体内作组装或拆卸的作业。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种框架的快拆结构，特别指 一种应用于真空溅镀腔体 内，传输用框架的快拆式组装结构。
技术介绍
真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的 一项重要技术，近年 来己逐渐取代喷导电漆或电解电镀等方式，大量应用在光电、通信及半导体等 产业，成为相当重要的表面处理技术。请参阅图l所示， 一般真空溅镀技术，利用磁控溅镀阴极板l 1，将离子化的气体分子1 3以高速轰击激发镀材1 8 ，使镀膜分子1 2均匀散布在真空 腔体l 0内各个角落，再通过电位差高速溅射在被镀物1 9表面上，进而达到 镀膜的目的。而因应真空'践镀制程应用层面日广，为增加相关镀膜产品的产业竟争力， 目前大部分溅镀i殳备为连续式多腔体型式，以取代传统批次式或晶圆式生产方式。如图2所示，连续式传输作业流程如可概分为进料区、溅镀区及出料区三个区域。每一个区域都至少由一真空腔体1 0组成，再利用传输机构将被镀物 1 9输送至不同区域的真空腔体1 0内进行各项程序作业。而一般连续式真空溅镀设备其自动化传输机构皆利用极限开关及摩擦原理来完成不同腔体之间传输顺序。请再参阅图3，每个腔体分别具有一部伺服马达l 3带动真空腔体1 0底 部前端的第一个轮轴1 4 ，再通过链条1 7带动后半部的轮轴1 4 ，托盘1 2 则置于轮轴1 4两侧的胶环1 6上方，通过托盘1 2与胶环1 6之间摩擦力的 作用下，将托盘l 2带动至下一个真空腔体1 0，而能连续进行真空溅镀的各 项作业程序。上述结构中，轮轴l 4两端枢组固定于两轮轴固定座1 5之间，而一般轮轴固定座l 5的长度，对应真空腔体l 0内的空间大小为一体式的结构。当传输的构件如轮轴1 4 、链条1 7或轮轴固定座1 5等对象表面残留有镀膜分子1 2沉积物时，为维持44膜高质量要求，溅镀设备必须定时停机保养，拆卸真空腔体1 0内部零件，刮除其表面镀膜分子1 2沉积物后，方可重新组合真空腔体1 0再次使用。然而，随着'减镀设备机型、款式或应用需求的不同，或为增加结构强度，真空腔体l O外层机壳的置入口上方中间适处，会设计一道;f黄板，由于该横板的存在当真空腔体l0内部的轮轴14或轮轴固定座15等构件欲取出时，则必须将该腔体外壳折卸后，方能将内部零组件取出，不仅不便且费时费力，而需进一步加以改善。
技术实现思路
为了方便取出賊镀设备的内部零件，本技术提供了 一种快拆式内传输框架结构，包含用于真空溅镀的框架，所述框架由若干副框架组成，各副框架相组接的外端各设有一对接板，各对接板上形成有定位部，所述副框架通过相对接的定位部结合为一体。成型于所述对接板上的定位部为螺紋孔结构，两副框架通过螺丝定位件同时锁设于两相对接的定位部结合。所述各副框架两侧底边形成有若千螺紋孔，而所述腔体底部对应组接后的框架四角落处则凸设有锁置座，所述框架通过若干定位调整单元分别穿套所述螺紋孔后，再锁设于对应的锁置座处固定。所述各定位调整单元由一调整螺丝、螺帽及定位螺丝组成，所述调整螺丝内缘呈贯通结构，上端形成有六角孔，螺组于所述框架的螺紋孔处，所述螺帽螺设于作完框架的水平调整后的所述调整螺丝上，而用于固定所述框架的所述定位螺丝由所述螺帽锁固后的所述调整螺丝内缘往外穿出而螺组于所述腔体的锁置座内。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果利用本技术框架呈分段式的快拆结构设计，不仅能方便且迅速于该腔体内作组装或拆卸之作业。同时利用该定位调整单元以四点定位锁固方式，更能增加框架水平调整的简便性与稳固性。具有分段快速拆卸及组装的特点，提高了零件维修或清洁效率。附图说明图1现有为真空溅镀原理示意图。图2为现有连续式溅渡作业流程示意图。图3为现有真空腔体立体分解图。图4为本技术框架的立体分解图。图5为本技术的另一立体分解图。图6为本技术的组合剖视图。其中，腔体2 0框架3 0螺紋孔3 2定位部3 3 1调整螺丝41螺帽4 2定位件5 1锁置座2 1副框架3 1 、 3 1对接板3 3定位调整单元4 0六角孔411定位螺丝4 具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细说明。参阅图4~图6所示，本技术由应用于真空溅镀作业的腔体2 0、框架3 0,以及若干定位调整单元4 0等构件组成，其中该腔体2 0内缘中空，其底部特定的四角隅位置凸设有锁置座2 1 ,用以供该定位调整单元4 0锁固该框架3 0。由于腔体2 0为一般现有结构，不再赘述。该框架3 0为一对应该腔体2 0的矩形框架，由若干副框架3 1、 3 1，组成，本技术以两副框架3 1、 3 1，为实施例进行说明。各副框架3 1、3 1'为四方形框体，其两侧底边形成有若干螺紋孔3 2,而相组接的外端5则各设有一对接板3 3 ，并于各对接板3 3上形成有若干定位部3 3 1。在本 技术的实施例，各定位部3 3 l为螺紋孔，当两副框架3 1、 3 1，的对 接板3 3相对靠接时，可利用螺丝等定位件5 l锁设两相对接的定位部3 3 1 内部，将两副框架3 1、 3 1'结合为一体。定位调整单元4 0用以锁固并调整框架3 0，各定位调整单元4 0由一调 整螺丝4 1 、螺帽4 2及定位螺丝4 3等组成。调整螺丝4 1内缘呈贯通结构 ,上端形成有六角孔4 1 1，可螺组于该框架3 0的螺紋孔3 2处。螺帽则在 调整螺丝4 l作完框架3 O的水平调整后，螺设于该调整螺丝4 l上，使框架3 O保持稳定的水平状态。而定位螺丝4 3则在螺帽4 2锁紧后，由调整螺丝4 1内缘往外穿出，使其螺组于腔体2 0的锁置座2 1内，用以固定框架3 0因此，通过上述构件组成，利用框架3 O呈分段式的快拆结构设计，可方 便且迅速于该腔体2 0内作组装或拆卸的作业。同时利用定位调整单元4 0以 四点定位锁固方式，更能增加框架水平调整的简便性与稳固性。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的 普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以作出若干改进 和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。权利要求1. 一种快拆式内传输框架结构，包含用于真空溅镀的框架，其特征在于所述框架由若干副框架组成，各副框架相组接的外端各设有一对接板，各对接板上形成有定位部，所述副框架通过相对接的定位部结合为一体。2. 如权利要求1所述的快拆式内传输框架结构，其特征在于，成型于所 述对接板上的定位部为螺紋孔结构，两副框架通过螺丝定位件同时锁设于两相 对接的定位部结合。3. 如权利要求1所述的快拆式内传输框架结构，其特征在于，所述各副 框架两侧底边形成有若干螺紋孔，而所述腔体底部对应组接后的框架四角落处 则凸设 有锁置座，所述框架通过若干定位调整单元分别穿套所述螺紋孔后，再 锁设于对应的锁置座处固定。4. 如权利要求3所述的快拆式内传输框架结构，其特征在于，所述各定 位调整单元由一调整螺丝、螺帽及定位螺丝组成，所述调整螺丝内缘呈贯通结 构，上端形成有六角孔，螺组于所述框架的螺紋孔处，所述螺帽螺设于作完框 架的水平调整后的所述调整螺丝上，而用于固定所述框架的所述定位螺丝由所 述螺帽锁固后的所述调整螺丝内缘往外穿出而螺组于所述腔体的锁置座内。专利摘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种快拆式内传输框架结构，包含用于真空溅镀的框架，其特征在于：　所述框架由若干副框架组成，各副框架相组接的外端各设有一对接板，各对接板上形成有定位部，所述副框架通过相对接的定位部结合为一体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黎瑞海，
申请(专利权)人：凌嘉科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]