本发明专利技术提供一种测试装置，用于测试被测试设备，该测试装置包括：对被测试设备供给测试信号的信号供给部；将按照所述测试信号，从所述被测试设备输出的输出信号作为被测量信号而输入的输入部；根据指定对被测量信号取样的时限的取样时钟，生成具有与被测量信号的１周期对应的脉冲宽度的周期脉冲的周期脉冲生成部；输出与周期脉冲的宽度对应的电压的变换部；将电压变换成数字电压值的ＡＤ转换器；从数字电压值算出表示周期脉冲的脉冲宽度的数字脉冲宽度的脉冲宽度计算部；调整从数字电压值向数字脉冲宽度变换的变换参数的调整部。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及测试装置及测试模块。本专利技术特别涉及测试半导体电路等的被 测试设备的测试装置，和测试装置中设置的测试模块。本申请与下列美国专利 申请有关。关于认可通过文献的参考编入内容的指定国，通过参考将下列申请 记载的内容编入本申请，作为本申请的一部分。申请号11/603,958，申请日2006年11月22日。
技术介绍
作为用于测试半导体电路等被测试设备的测试装置，可考虑同时测量多个 被测试设备的装置。例如，可以考虑通过多个通道并列测量各个被测试设备输 出的输出信号的装置。比如通过在每个母板等的测试基板的各自的通道上安装用于比较输出信号 的电平和参考值的电平比较电路、运算电路等，而能够分别测量各个被测试设 备输出的输出信号。但是在测试基板中，还设置有生成测试信号并提供给被测试设备的电路、 生成时钟脉冲并供给被测试设备的电路等等其他的电路。为此，测试基板上的 封装密度、空间间隔等受到限制，在每个通道上安装测量用电路是很困难的。同时，当每个通道都安装了测量电路时，由于各测量电路的零件散差等原 因，而难以在每个通道间保证测量的准确度。
技术实现思路
因此，本说明书包含的专利技术的一个侧面，目的在于提供能够解决上述课题 的测试装置及测试模块为。该目的由独立权利要求的范围所记载的特征组合而 达成。从属权利要求进一步规定了本专利技术的更有利的具体例。艮P，根据与本说明书包含的专利技术相关的第1侧面的测试装置的一个例子(exemplary)提供一种测试装置，是测试被测试设备的测试装置，其包括对被 测试设备供给测试信号的信号供给部；将按照所述测试信号，从所述被测试设 备输出的输出信号作为被测量信号而输入的输入部；根据指定对被测量信号取 样的时限的取样时钟，生成具有与被测量信号的1周期对应的脉冲宽度的周期 脉冲的周期脉冲生成部；输出与周期脉冲的宽度对应的电压的变换部；将电压 变换成数字电压值的AD转换器；从数字电压值算出表示周期脉冲的脉冲宽度 的数字脉冲宽度的脉冲宽度计算部；调整从数字电压值向数字脉冲宽度变换的 变换参数的调整部。根据与本说明书包含的专利技术相关的第2侧面的测试装置的一个例子(exemplary),提供一种测试模块，是被装载在测试被测试设备的测试装置的测 试头内的测试模块，包括通过在测试头上载置的母板，作为被测量信号输入 被测试设备输出的输出信号的输入部；根据指定取样被测量信号的时限的取样 时钟；生成具有与被测量信号的1周期对应的脉冲宽度的周期脉冲的周期脉冲 生成部；输出与周期脉冲的宽度对应的电压的变换部、将电压转换成数字电压 值的AD转换器；从数字电压值算出表示周期脉冲的脉冲宽度的数字脉冲宽度 的脉冲宽度计算部；调整从数字电压值向数字脉冲宽度变换的变换参数的调整 部。另外，上述专利技术的概要并未列举出本专利技术的必要技术特征的全部，这些特征群的辅助结合也构成本专利技术。 附图说明图1是本专利技术的实施方式涉及的测试装置100的构造例示意图。图2是被装载在测试头120上的电路构成一例示意图。图3是每个通道电路20的详细构成的一例示意图。图4是周期脉冲生成部40及变换部50操作的一例示意图。图5是调整用时钟发生部90的构成的一例示意图。图6是调整部86操作的一例示意图。附图标记IO.信号供给部，12.测量电路，20.每个通道电路，22.AD转换器，24-1、 24-2. 转换部，26.输入部，28.电容器，30.开关，32、 34二极管，36.比较电路，38.输 出电路，40.周期脉冲生成部，42.第1.触发器，44.第2触发器，46.第3触发器， 48.输出电路，50.变换部，52.源极侧电流源，54.源极侧晶体管，56.吸收侧晶体 管，58.吸收侧电流源，60、 64.电容器，62.开关，66、 68二极管，70.放大器， 80.数据处理部，82.脉冲宽度计算部，84.取样时钟生成部，86.调整部，88、 98. 分频器，90.调整用时钟发生部，92.可调时钟发生部，94、 96.时钟驱动器，100. 测试装置，110.母板，120.测试头，122.运算部，130.主机，140.测试模块，200. 被测试设备。具体实施例方式下面通过专利技术的实施方式说明本专利技术，但以下实施方式并不限定权利要求 范围所涉及的专利技术，另外，在实施方式中说明的特征组合并非全部都是专利技术的解决手段所必须的。图1是本专利技术的实施方式涉及的测试装置100构造的一例示意图。测试装 置100是测试半导体电路等的被测试设备200的装置，具有母板110、观[l试头 120和主机130。母板110载置被测试设备200。同时，母板110具有与被测试 设备200各个输入输出管脚电连接的多个设备侧端子。同时，母板110具有与 测试头120电连接的多个测试器侧端子。测试头120载置母板110。同时，测试头120装载多个测试模块140。各个 测试模块140与母板110测试器侧端子电连接，并借助 母板110和被测试设备200之间传送信号。例如，测试头120可以装载借助 母板110对被测试设备200供给测试信号的测试模块140，借助母板110接收被 测试设备200的输出信号的测试模块140等。通过测量向被测试设备200提供 规定的测试信号时的输出信号，可以测试被测试设备200。主机130，通过光缆、同轴电缆等与测试头120连接。主机130也可以输出 用于控制各个测试模块140的控制信号。另外，主机130可以接收测试模块140 对被测试设备200进行测量的输出信号得到的测量结果。图2是被测试头120装载的电路的构造的一例示意图。另外，在图2中， 省略了母板110及主机130。测试头120具有信号供给部10、测量电路12和运算部122。信号供给部10 生成测试被测试设备200的测试信号，提供给被测试设备200。例如，信号供给 部IO，可以向被测试设备200供给具有规定的逻辑图案的测试模式信号、电源 功率等。测量电路12，测量被测试设备200的输出信号。测量电路12，有多个测量 通道。比如，测量电路12可以具有单独测量来自被测试设备200的输出信号的多个测量通道，还可以具有单独测量来自被测试设备200多个输出管脚的输出 信号的多个测量通道。信号供给部10也可以对应多个测量通道，接受多个。信号供给部IO及测量电路12，可以在不同的测试模块140 (参见图1)设 置，也可以在同样的测试模块140设置。同时，测量电路12，可以在多个测量 通道的每个上具有测试模块140。信号供给部10，可以在对应的测量通道的测 试模块140设置。测量电路12，具有每个通道电路20，数据处理部80，和调整用时钟发生部 90。每个通道电路20分别设置在各个测量通道上。即每个通道电路20在每个 应该测量的输出信号上设置。每个通道电路20，可以在与多个测量通道对应的 多个测试模块140分别设置。同时，数据处理部80及调整用时钟发生部90，相对于多个每个通道电路 20设置一个。总之，数据处理部80及调整用时钟发生部90可以作为共通电路， 相对于应该测量的多个输出信号设置。数据处理部80及调整用时钟发生部90， 可以对全部每个通道电路20设置一个，另外，多个每个通道电路20被分成多 个组的时候，可以在每个相应的组设置一个。各自本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种测试装置，是测试被测试设备的测试装置，其特征在于包括： 信号供给部，对所述被测试设备供给测试信号； 输入部，其根据所述测试信号从所述被测试设备输出的输出信号作为被测量信号而输入； 周期脉冲生成部，其根据指定取样被测量信 号的时限的取样时钟，生成具有与被测量信号的１周期对应的脉冲宽度的周期脉冲； 变换部，输出与所述周期脉冲的宽度对应的电压； ＡＤ转换器，将所述电压转换成数字电压值； 脉冲宽度计算部，根据所述数字电压值计算出表示所述周期脉冲的 脉冲宽度的数字脉冲宽度； 调整部，用于调整从所述数字电压值向所述数字脉冲宽度变换的变换参数。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：三桥尚史，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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