本发明专利技术涉及一种用于有机发光装置（１０）的基板（１），特别是透明玻璃基板，其包括，位于第一主面（１１）之上的底电极膜（３），所述电极膜（３）由薄膜多层涂层形成，所述多层涂层至少连续包括以下各层：－基于金属氧化物和／或金属氮化物的接触层（３１）；－具有本征导电性能的金属功能层（３２）；和－基于金属氧化物和／或金属氮化物的覆盖层（３４），所述覆盖层（３４）特别是用于匹配所述电极膜的功函数，所述基板（１）包括基层（２），所述基层（２）覆盖所述主面（１１）。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的主题是多层电极、其酸蚀刻和包含其的有机发光装置。
技术介绍
已知的有机发光系统或者OLED包含有机电致发光材料或者有机电致 发光材料的多层涂层，通过电极使其带电，通常采用两个导电层位于其两 侧的形式。这些导电层一般包含基于铟氧化物，通常是锡-掺杂的铟氧化物的 层，锡-掺杂的铟氧化物的縮写ITO更为常见。已经特别深入地研究了ITO 层。可以通过磁电管溅射很容易地使它们沉积，其中，使用氧化物靶(非 反应性溅射)或者使用基于铟和锡的靶(在氧气型氧化剂存在下的反应性溅 射)，并且它们的厚度为约100-150nm。然而，这种ITO层有许多缺点。首 先，用于改善传导性的材料和高温(350。C)沉积方法产生附加成本。除非将 层厚度增加至大于150 nm，否则薄层电阻保持相对高(10Q/口级)，而将层 厚增加又会导致透明度降低和表面粗糙度增加。因此，开发了新的电极结构。例如，JP2005-038642文件教导了 TFT(薄膜晶体管)-驱动的发光平面屏幕，其包括顶部发光的电致发光系 统，所述电致发光系统分别产生红光、绿光和蓝光，以便形成有源矩阵 (active matrix)。各有机发光装置均配备有所谓的背电极或者底电极，所述电极包括 -粘附层，例如由ITO制成；-(半)反射金属层，特别是基于银或者铝，或者由含有铝的银制成，其厚度为至少50nm;和陽功函数匹酉己覆盖层(work-ftinction-matching overlayer)， 例如由 ITO制成
技术实现思路
本专利技术的目的是能够获得导电层组件，以便形成可靠的电极，所述电 极耐用(特别是在稳定性和/或机械耐性和耐热性方面)，并且不牺牲其导电 性能或者其光学质量，也不牺牲包含它的装置的性能，更不会引起生产上 的困难。本专利技术的目的特别是能够获得导电层组件，其用于形成可靠耐用的电致发光系统的底电极，而不牺牲其导电性能、其光学质量或者OLED光学 性能，也不产生生产上的困难。在本专利技术的内容中，术语"底电极"应该理解为指的是插入在载体基板 与OLED系统之间的电极。此外，将以最低成本实现这一目的，而不打乱与本专利技术相关的有机发 光系统的已知的构造。这涉及开发如下电极所述电极是基本上透明的，或者既是透明的又 是反射型的或基本上反射型的，并且所述电极同等适合地用于OLED，形 成有源矩阵和无源矩阵OLED屏幕，或者形成录像屏幕背光装置，或者通 常用于(建筑和/或装饰)照明应用的装置，或者用于指示应用中，或者用于 其它电子应用中。这一新型电极膜特别是可以具有适合用作面板的光学性能，所述面板 是OLED系统发出的光通过其离开装置的面。特别地，它可以具有充分的 光传导，同时也具有最低可能的光吸收。其原因是似乎不必要追求可能的 最高光传导以便在OLED装置的出口获得最大光能，同时，另一方面，对 于面板，必须具有最低可能的吸收。因此，本专利技术也在于选择与制作有机发光装置的方法相容的薄膜多层 涂层，特别是与在OLED系统沉积之前通过蚀刻来形成底电极的步骤相 容。本专利技术的目的在于通过提出制备用于有机发光装置的底电极膜的新的 解决方案补救现有技术的缺点。为了实现该目的，本专利技术的主题是 一种如权利要求1所述的基板； 一种基板的用途，特别是如权利要求22所述的基板的用途；如权利要 求24所述的包括所述基板者采用所述基板的有机发光装置；和如权利要 求29所述的用于制作所述基板的方法。从属于以上权利要求的那些权利要求限定了本专利技术的有利的选择。因此，最广义地讲，本专利技术的一个主题是， 一种用于有机发光装置的 基板，特别是透明玻璃基板，其包括，位于第一主表面之上的底电极膜， 所述电极膜由薄膜多层涂层形成，所述多层涂层至少连续包括以下各层- 基于金属氧化物和/或金属氮化物的接触层， _ 具有本征导电性能的金属功能层，和- 基于金属氧化物和/或金属氮化物的覆盖层，所述覆盖层特别是 用于匹配所述电极膜的功函数，所述基板包括基层(base layer)，所述基层覆盖所述基板的主表面。本专利技术的基层具有两个效果它既形成对来自基板的碱金属的屏障， 同时也形成对于OLED系统的微孔的必不可少的抗反射层。因此，本专利技术的电极膜由薄膜多层涂层构成，所述薄膜多层涂层包括 至少一种金属功能层，特别是基于银(也就是说，由银制成或者由主要含 有银的金属合金制成)，和至少一种置于基板与所述金属功能层之间的底 抗反射膜，所述抗反射膜包括至少一种抗反射介电层，即基层。在本专利技术的内容中，术语"膜"应该理解为是指，可以有由单一材料制 成的层，或者各自由不同的材料制成许多层。位于金属功能层下的面对基板并与基板接触的所述抗反射膜的目的是 使OLED系统发出的光线仅仅是波长-选择性的并且仅仅依赖于视角。这是因为，如果不存在所述抗反射膜的话， 一方面，OLED系统发出 的光非常集中在发射波长，或者集中在OLED系统的发射波长的非常窄的 范围内，并且另一方面，所述光的颜色和能量随着视角极大地变化。这种薄膜多层涂层在建筑或者汽车玻璃(automotive glazing)领域是 已知的，用于制备"低-发射率或者低-E"和/或"阳光控制"型的增强的绝热玻 璃。因此，专利技术者注意到用于低-E玻璃(glazing)的某些多层涂层特别地 可以用于制备有机发光装置的基层和电极膜，和特别是用于这些装置的面 板的基层和电极膜。称作"可韧化的"多层涂层或者"待韧化的"涂层的多层涂层是特别适合 的，也就是说，当希望制备具有多层涂层的基板时，对所采用的那些多层 涂层进行韧化热处理。这就更令人吃惊了，这是因为用于有机发光装置的基板当用于该装置时是不经过热处理的，或者任何情况下都不需要为了在 玻璃基板上进行韧化处理，而进行充分的热处理和充分的快速冷却。因此，本专利技术的主题也是薄膜多层涂层用于建筑玻璃(glazing)的用 途，或者一种涂有薄膜多层涂层的基板用于建筑玻璃的用途，特别是低-E 多层涂层或者涂布过的基板和/或特别是"可韧化的"多层涂层或者涂布过的 基板或者"待韧化的"多层涂层，以便制备本专利技术的用于有机发光装置的基 板。在本专利技术的内容中，术语"可韧化的"多层涂层或基板应该理解为是指 在热处理过程中保持必要的光学性能和热性能(通过每平方面积的耐性 (resistance)来表示，这与发射率直接相关)。因此，可以在一个建筑和同一个建筑的正面，例如将结合了韧化的基 板和未韧化的基板的玻璃面板紧密地放置在一起，所述基板都涂有同一多 层涂层，不可能通过简单地目测颜色的反射和/或光反射/透射来将它们彼 此区分开来。例如，在热处理之后0之前具有以下变化的多层涂层或者涂有多层涂 层的基板，将会被认为是可韧化的，这是因为这些变化不是眼睛能察觉 的-小于3%，或者甚至小于2n/。的光传导的小变化ATL;和/或-小于3%，或者甚至小于2y。的光反射的小变化ARL;和/或-小于3或者甚至小于2的颜色的小变化AE"((△L*)2+(Aa*)2+(Ab*)2)。在本专利技术中，"待韧化的"多层涂层或基板应该理解为是指涂布过的基板的光学性能和热性能在热处理之后是可接受的，但不是，或者在任何情况下不是都在热处理之前。在本专利技术的内容中，例如，在热处理之后具有以下特性的多层涂层或者涂有多层涂本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于有机发光装置（１０）的基板（１），特别是透明玻璃基板，其包括，位于第一主面（１１）之上的底电极膜（３），所述电极膜（３）由薄膜多层涂层形成，所述多层涂层连续包括至少以下各层： －基于金属氧化物和／或金属氮化物的接触层（３１）； －具有本征导电性能的金属功能层（３２）；和 －基于金属氧化物和／或金属氮化物的覆盖层（３４），所述覆盖层（３４）特别是用于匹配所述电极膜的功函数， 其特征在于，所述基板（１）包括基层（２），所述基层（２）覆盖所述主面（１ １）。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：S恰库罗夫，H热拉尔丹，P雷乌特勒，D茹斯，E马特曼恩，P内尔，
申请(专利权)人：法国圣戈班玻璃公司，
类型：发明
国别省市：FR[法国]
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