热线反射玻璃及热线反射玻璃的制造方法技术

本发明专利技术提供可见光透射率Ｔｖ在３５％以下且太阳辐射透射率Ｔｅ／可见光透射率Ｔｖ低于１．０，并且即使施加用于强化或弯曲加工的热处理，光学特性也几乎不会变化，至少设有氮化铬膜的热线反射玻璃。在玻璃基板的表面设置由氮化硅形成的氧阻挡基底膜，在该氧阻挡基底膜的上层设置热线反射用的氮化铬膜，再在氮化铬膜的上层设置由氮化硅形成的氧阻挡保护膜。使该热线反射用的氮化铬膜的氮原子数相对于铬原子数的比例为２０％～６０％。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在玻璃基板上至少设置氮化铬膜而成的热线反射玻璃，特别是涉及主 要为了遮蔽太阳辐射热而在玻璃基板的表面形成薄膜而成的热线反射玻璃及热线反射玻 璃的制造方法。
技术介绍
现在，在玻璃基板的表面形成以遮蔽太阳辐射热为主要目的的薄膜而成的热线反 射玻璃被用于大楼等建筑物的窗和车的后窗玻璃等。这些热线反射玻璃从光的透射性来 看，透射率低的热线反射玻璃的使用也不断增多。将玻璃用于大楼等建筑物的窗的情况下， 根据玻璃的设置场所的不同，有时需要强化处理，或者较好是设置强化处理玻璃。此外，车 的后窗玻璃不是表面呈平面状的板形状，而是表面弯曲的板形状，采用实施了弯曲加工的 状态的热线反射玻璃。为了获得实施了强化处理或弯曲加工处理的热线反射玻璃，有在实施了强化处理 或弯曲加工处理的玻璃基板上形成热线反射性的薄膜的方法。但是，例如在实施了弯曲加 工处理的玻璃基板的表面、即具有曲率的玻璃基板表面，难以高精度地以良好的膜厚和组 成的面内分布来形成热线反射性薄膜。为了以良好的膜厚和组成的面内分布在具有曲率的 玻璃基板表面形成热线反射性薄膜，例如必须根据玻璃基板表面的曲率调整薄膜形成工序 或薄膜形成条件，需要额外的成本。另一方面，为了对预先形成有热线反射性薄膜的玻璃基板进行弯曲加工，例如必 须将玻璃基板加热至500 700 (°C)左右的高温。对于以往的热线反射玻璃，由于该高温， 热线反射用薄膜例如发生氧化，存在热线反射性能在加热前后发生变化的问题。因此，对于 以往的热线反射玻璃，购入了预先形成有热线反射性薄膜的玻璃的玻璃加工从业者难以自 己进行弯曲加工。例如，玻璃加工从业者自己进行弯曲加工的情况下，为了防止加热前后的 热线反射性能的变化，从业者必须自己在将弯曲加工时的气氛保持为非氧化性气氛、防止 上述需保护的膜的氧化的同时进行弯曲加工。该情况下，需要特别的装置和人工，负担的成 本也大。因此，不少人希望有这样的平板状的热线反射玻璃，即不需要具有将弯曲加工时的 气氛保持为非氧化性气氛的功能的特别的装置和额外的人工，可以由玻璃加工从业者自己 进行强化处理或弯曲加工处理。针对这一点，下述专利文献1中记载有热处理热线反射玻璃(热线反射玻璃)的 制造方法。专利文献1所记载的制造方法中，在玻璃基板上形成热线屏蔽膜或导电膜，再 形成在可见光范围内透明的第一保护膜，制造具有至少由2层构成的多层膜的热线反射玻 璃，然后对所述热线反射玻璃实施热处理。该热线反射玻璃的制造方法的特征在于，第一保 护膜采用以硅或硼的氮化物或者硅、硼、铝及锆、锡中的至少2种以上的氮化物为主要成分 的膜。专利文献1中记载，专利文献1记载的热线反射玻璃中，第一保护膜充分吸收热处理 时来自大气中的氧而起到氧屏障的作用，因此热线屏蔽膜几乎不发生变化。即，专利文献1 中记载，通过专利文献1记载的热线反射玻璃的制造方法制成的热线反射玻璃即使以一般所采用的简单的方法(不控制气氛，在大气中)进行弯曲加工或强化加工，需保护的被覆层 的光学特性等也基本不发生变化。专利文献1 日本专利第2518129号公报专利技术的揭示另外，对于用于大楼等建筑物的热线反射玻璃，除了价格低之外，还要求光学性质 和热学性质的平衡适当。本专利技术中将光学性质和热学性质并称为光学特性。光学性质是指 例如关于大楼等的室内的人感觉到的耀眼程度的性质，或是作为从外部无法观察到内部的 私密性的关于太阳光中、主要是可见光范围内的波长成分的透射量的程度的性质。该性质 可以通过JISR 3106(1998年)中所定义的可见光透射率表示。此外，热学性质是指关于通 过太阳光流入大楼等的室内的热量的性质，是关于太阳光中、主要是近红外范围内的波长 成分的透射量的程度的性质。该性质可以通过JIS R3106(1998年)中所定义的太阳辐射 透射率代表性地表示。尤其，对于基于上述定义的可见光透射率和太阳辐射透射率，可见光透射率Tv在 35%以下、太阳辐射透射率IJ可见光透射率Tv低于1. 0且即使施加用于强化或弯曲加工 的热处理光学特性也几乎不会变化的热线反射玻璃在实际使用方面良好，也有市场需求。本专利技术人确认，专利文献1记载的实施例中，太阳辐射透射率相对于可见光透射 率的比例与以往相比并不足够低。通过专利文献1记载的制造方法制成的热线反射玻璃无 法完全满足近年来的市场需求。特别是在东南亚地区或赤道正下方的太阳辐射多且白天的 阳光让人感到耀眼的地区，特别需要在可见光透射率的低的状态下太阳辐射透射率也低的 玻璃。本专利技术的目的在于解决所述课题。即，本专利技术的目的在于提供可见光透射率Tv在 35%以下且太阳辐射透射率Te/可见光透射率Tv低于1. 0，并且即使施加用于强化或弯曲 加工的热处理，光学特性也几乎不会变化的热线反射玻璃。为了解决上述课题，本专利技术提供一种热线反射玻璃，其特征在于，在玻璃基板上依 次设有氧阻挡基底膜、氮化铬膜和氧阻挡保护膜，所述氮化铬膜中的氮相对于铬的原子数 的比例以氮原子数/铬原子数表示为20 % 60 %。还有，较好是所述氧阻挡基底膜和所述氧阻挡保护膜为以硅或硼的氮化物为主要 成分的膜或者以选自硅、硼、铝、锆及锡的至少2种以上的元素的氮化物为主要成分的膜。此外，较好是JIS R 3106 (1998年)中所定义的可见光透射率在35%以下，且JIS R 3106(1998年)中所定义的太阳辐射透射率相对于该可见光透射率的比值以太阳辐射透 射率/可见光透射率表示低于1.0。这时，较好是实施了加热至500°C以上的处理。另外，所述氧阻挡基底膜的膜厚较好是5 20nm，所述氧阻挡保护膜的膜厚较好 是 10 30nm。此外，较好是在所述玻璃基板与氧阻挡基底膜之间具有阻止该玻璃基板所含的杂 质的移动的杂质阻挡基底膜。另外，本专利技术提供一种热线反射玻璃的制造方法，该方法是制造在玻璃基板上依 次设有氧阻挡基底膜、氮化铬膜和氧阻挡保护膜的热线反射玻璃的方法，包括将玻璃基板 导入成膜室内，通过在使所述室内呈含氮气氛的情况下溅射铬靶材，从而在所述玻璃基板 上设置氮化铬膜的工序；在所述溅射的过程中，使氮气流入所述室内的同时，使所述氮气以外的惰性气体流入所述室内，将所述惰性气体的流入量的比例调整至惰性气体氮气= 70 30 90 10的范围内的工序。另外，较好是包括在所述溅射之前，在所述玻璃基板上设置以硅或硼的氮化物为 主要成分的膜或者以选自硅、硼、铝、锆、锡的至少2种以上的元素的氮化物为主要成分的 膜作为氧阻挡基底膜的工序；在所述溅射之后，在所述氮化铬膜的表面设置以硅或硼的氮 化物为主要成分的膜或者以选自硅、硼、铝、锆、锡的至少2种以上的元素的氮化物为主要 成分的膜作为氧阻挡保护膜的工序。此外，较好是在设置所述氧阻挡基底膜、所述氮化铬膜和所述氧阻挡保护膜后，进 行500°C以上的热处理。如果采用本专利技术，则可提供例如可见光透射率Tv在35%以下且太阳辐射透射率 Te/可见光透射率Tv低于1.0，并且即使施加用于强化或弯曲加工的热处理，光学特性也几 乎不会变化的热线反射玻璃。换言之，可提供可见光透射率Tv低，大楼等的室内的人感觉到的耀眼程度和从外 部无法观察到内部的私密性充分，且太阳辐射透射率Ty可见光透射率τν低于ι. 0，同时显本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热线反射玻璃，其特征在于，在玻璃基板上依次设有氧阻挡基底膜、氮化铬膜和氧阻挡保护膜，　　所述氮化铬膜中的氮相对于铬的原子数的比例以氮原子数／铬原子数表示为２０％～６０％。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：矢尾板和也，片山佳人，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]