硅料清洗剂及硅料清洗的方法技术

本发明专利技术公开了清洗剂ＳＥＨ－１、清洗剂ＳＥＨ－２、清洗剂ＳＥＨ－３的组方，所述的清洗剂ＳＥＨ－１由以下组分按质量份组成：脂肪醇聚氧乙烯醚为５－２５；烷基酚聚氧乙烯醚为３－１５；烷基醇酰胺为２－８；乙二醇烷基醚为０．５－７；螯合剂为０．１－５；含氯酸为５－１０；Ｈ２Ｏ２为０．５－５；去离子水为余量，总份数为１００；所述的清洗剂ＳＥＨ－２由以下组分按质量份组成：椰子油烷基酰胺磷酸酯为４－１５；三乙醇胺油酸皂为３－１５；三乙醇胺为１－５；氨基三乙酸为０．１－５；氢氧化钾为１－５；去离子水为余量，总份数为１００；所述的清洗剂ＳＥＨ－３由以下组分按质量份组成：醋酸为５－１０；柠檬酸为０．５－１０；山梨醇为０．１－５；去离子水为余量，总份数为１００。本发明专利技术还公开了利用上述三种清洗剂对硅料的清洗方法。本发明专利技术的方法完全符合制作太阳能级单晶硅的清洁要求，不污染环境。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硅料清洗剂，其特征在于：由以下组分按质量份组成：脂肪醇聚氧乙烯醚为５－２５；烷基酚聚氧乙烯醚为３－１５；烷基醇酰胺为２－８；乙二醇烷基醚为０．５－７；螯合剂为０．１－５；含氯酸为５－１０；Ｈ↓［２］Ｏ↓［２］为０．５－５；余量为去离子水，总份数为１００。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张群社，赵可武，李淑丽，王彦利，
申请(专利权)人：西安隆基硅材料股份有限公司，宁夏隆基硅材料有限公司，银川隆基硅材料有限公司，无锡隆基硅材料有限公司，
类型：发明
国别省市：87