热电元件制造技术

技术编号:5467325 阅读:189 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种热电元件,其具有相互层叠的第1绝缘性基板(A)和第2绝缘性基板(B)。该热电元件具有:第1电极(2b),其形成于第1绝缘性基板(A)的上表面;一对第2电极(3c、4c),其形成于第1绝缘性基板(A)的两面并通过通孔(7)互相连接;热电材料(5b),其形成为薄膜状,并与第1电极(2b)和第2电极(3c)相接。还具有一对第3电极(8b、9b),其形成于第2绝缘性基板(B)的两面,并通过通孔(10)相连接,同时一个第3电极与第1电极(2b)连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使用薄膜的热电材料的热电元件
技术介绍
近年来在开发利用超晶格结构等高性能的热电材料,但是一般只能在基板上制作 薄膜(IOnrn ΙΟμπι),所以制作一般使用的热电模块还很困难。因为制作热电模块需要约 Imm见方的热电材料。专利文献1 日本特开平6-29581号公报专利文献2 日本特开平6-188464号公报专利文献3 日本特开平10-173110号公报专利文献4 日本特开2002-253426号公报因此,提出了利用薄膜热电材料的热电模块,但是存在不能形成较大的温度差、基 板的热损耗大效率差、吸热量小、不易使用、制作困难等问题。并且,在由于弯曲力作用于热 电模块,使得拉伸应力或压缩应力作用于热电材料的情况下,存在由于热电材料是薄膜而 容易损坏的问题。
技术实现思路
第一专利技术具有相互层叠的第1绝缘性基板(A)和第2绝缘性基板(B);第1电 极(2b),其形成于所述第1绝缘性基板(A)的所述第2绝缘性基板(B)侧的面上;一对第 2电极(3c、4c),其形成于所述第1绝缘性基板(A)的两面并与所述第1电极(2b)分离开, 通过沿所述第1绝缘性基板(A)的厚度方向延伸的通孔(7)相互连接;第1导电型热电材 料(5b),其呈薄膜状地形成于所述第1绝缘性基板(A)的所述第2绝缘性基板(B)侧的面 上,并与所述第1电极(2b)和所述第2电极(3c)相接;以及一对第3电极(8b、9b),其形 成于所述第2绝缘性基板(B)的两面,通过沿该第2绝缘性基板(B)的厚度方向延伸的通 孔(10)相互连接,并且形成于所述第1绝缘性基板(A)侧的一个第3电极与所述第1电极 (2b)连接。在上述专利技术中,当电流在第1电极(2b)和第2电极(3c)(即第2绝缘性基板(B) 侧的第2电极(3c))之间流过时,在第1电极(2b)与第1导电型热电材料(5b)的界面、以 及第2电极(3c)与第1导电型热电材料(5b)的界面处,由于珀尔帖效应产生吸热和散热。 即,在第1导电型热电材料(5b)的两端产生与其相当的温度差。其结果,例如第1电极(2b) 成为吸热侧电极,第2电极(3c)成为散热侧电极。并且,在第1绝缘性基板(A)中,形成于 第2绝缘性基板(B)侧的面上的第2电极(3c)和形成于与其相反的面上的第2电极(4c), 通过通孔(7)相连接,所以第2电极(4c)也成为散热侧电极。另一方面,形成于第2绝缘性基板(B)的第1绝缘性基板(A)侧的面上的第3电 极(8b)与第1电极(2b)相连接,所以该第3电极(8b)成为吸热侧电极。并且,在第2绝 缘性基板(B)中,形成于第1绝缘性基板(A)侧的面上的第3电极(8b)和形成于与其相反4的面上而且在与第2绝缘性基板(B)侧相反的面上的第3电极(9b),通过通孔(10)相连 接,所以第3电极(9b)也成为吸热侧电极。由此,实现下述形式的热电模块,即,从第1绝缘性基板(A)的一个面散热,从第2 绝缘性基板(B)的一个面吸热。即,在第1绝缘性基板(A)和第2绝缘性基板(B)中,在除 了相对的面之外的面上产生吸热和散热。这样,只在第1绝缘性基板(A)和第2绝缘性基 板(B)之间将热电材料(5b)形成薄膜状,所以容易制作。并且,电流沿形成为薄膜状的热电 材料(5b)的面内方向流过,产生温度差,所以从低温侧到高温侧的距离增大,温度差增大。 并且,在第1绝缘性基板㈧和第2绝缘性基板⑶之间设有热电材料(5b),所以与将热电 材料设在表面时相比,即使在弯曲力作用于热电元件时,作用于热电材料(5b)的拉伸应力 或压缩应力也变小。第二专利技术是在上述第一专利技术中具有第4电极(2c),其形成于所述第1绝缘性基 板(A)的所述第2绝缘性基板(B)侧的面上,并与所述第1电极(2b)和所述第2电极(3c) 分离开;第2导电型热电材料(6c),其呈薄膜状地形成于所述第1绝缘性基板(A)的所述 第2绝缘性基板(B)侧的面上,并与所述第2电极(3c)和所述第4电极(2c)相接;以及一 对第5电极(8c、9c),其形成于所述第2绝缘性基板(B)的两面,通过沿该第2绝缘性基板 (B)的厚度方向延伸的通孔(10)相互连接,并且形成于所述第1绝缘性基板(A)侧的一个 第5电极与所述第4电极(2c)连接。在上述专利技术中,电流在第1电极(2b)和第4电极(2c)之间流过,由此在第1电极 (2b)与第1导电型热电材料(5b)的界面、第4电极(2c)与第2导电型热电材料(6c)的界 面、第2电极(3c)与第1导电型热电材料(5b)的界面、以及第2电极(3c)与第2导电型 热电材料(6c)的界面处,由于珀尔帖效应产生吸热和发热。即,在各个热电材料(5b、6c) 的两端产生与其相当的温度差。其结果,例如第1电极(2b)和第4电极(2c)成为吸热侧 电极,第2电极(3c)成为散热侧电极。并且,形成于第1绝缘性基板(A)的与第2绝缘性 基板(B)侧相反的面上的第2电极(4c)成为散热侧电极,形成于第2绝缘性基板(B)的与 第1绝缘性基板(A)侧相反的面上的第3电极(9b)和第5电极(9c)成为吸热侧电极。由 此,实现下述形式的热电模块,即,从第1绝缘性基板(A)的一个面散热,从第2绝缘性基板 (B)的一个面吸热。第三专利技术是在上述第一专利技术中具有一对第4电极(3b、4b),其形成于所述第1绝 缘性基板(A)的两面,并与所述第1电极(2b)和第2电极(3c、4c)分离开,该一对第4电 极(3b、4b)通过沿所述第1绝缘性基板(A)的厚度方向延伸的通孔(7)相互连接;以及第 2导电型热电材料(6b),其呈薄膜状地形成于所述第1绝缘性基板(A)的所述第2绝缘性 基板(B)侧的面上,并与所述第1电极(2b)和所述第4电极(3b、4b)相接。在上述专利技术中,当电流在第2电极(3c)(即第2绝缘性基板⑶侧的第2电极 (3c))和第4电极(3b)(即第2绝缘性基板(B)侧的第4电极(3b))之间流过时,在第1电 极(2b)与第1导电型热电材料(5b)的界面、第1电极(2b)与第2导电型热电材料(6b) 的界面、第2电极(3c)与第1导电型热电材料(5b)的界面、以及第4电极(3b)与第2导 电型热电材料(6b)的界面处,产生由于珀尔帖效应形成的吸热和发热。即,在各个热电材 料(5b、6b)的两端产生与其相当的温度差。其结果,例如第1电极(2b)和第4电极(2c) 成为吸热侧电极,第2电极(3c)成为散热侧电极。并且,形成于第1绝缘性基板(A)的与5第2绝缘性基板(B)侧相反的面上的第2电极(4c)和第4电极(4b)成为散热侧电极,形 成于第2绝缘性基板(B)的与第1绝缘性基板(A)侧相反的面上的第3电极(9b)成为吸 热侧电极。由此,实现下述形式的热电模块,即,从第1绝缘性基板(A)的一个面散热,从第 2绝缘性基板(B)的一个面吸热。第四专利技术是在上述第一专利技术中,所述第1电极(2b)与所述第1导电型热电材料 (5b)的接合部的宽度以及所述第2电极(3c)与所述第1导电型热电材料(5b)的接合部的 宽度大于所述第1导电型热电材料(5b)的厚度。在上述专利技术中,接合部的电阻及热阻减小。由此,周边的电流密度及热密度减小, 损耗降低。第五专利技术是在上述第一专利技术中,所述第1电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热电元件,其特征在于,该热电元件具有:相互层叠的第1绝缘性基板(A)和第2绝缘性基板(B);第1电极(2b),其形成于所述第1绝缘性基板(A)的所述第2绝缘性基板(B)侧的面上;一对第2电极(3c、4c),其形成于所述第1绝缘性基板(A)的两面并与所述第1电极(2b)分离开,通过沿所述第1绝缘性基板(A)的厚度方向延伸的通孔(7)相互连接;第1导电型热电材料(5b),其呈薄膜状地形成于所述第1绝缘性基板(A)的所述第2绝缘性基板(B)侧的面上,并与所述第1电极(2b)和所述第2电极(3c)相接;以及一对第3电极(8b、9b),其形成于所述第2绝缘性基板(B)的两面,通过沿该第2绝缘性基板(B)的厚度方向延伸的通孔(10)相互连接,并且形成于所述第1绝缘性基板(A)侧的一个第3电极与所述第1电极(2b)连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:寺木润一
申请(专利权)人:大金工业株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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