抗变形的晶舟制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶舟，尤其涉及一种抗变形的晶舟。这种抗变形的晶舟，包括底板、顶板和若干立柱，所述若干立柱的两端分别连接所述底板和顶板，所述若干立柱之间通过加强筋连接。本实用新型专利技术抗变形的晶舟通过在立柱中增设加强筋来提高晶舟的抗变形能力，从而，确保晶圆可以平稳地放置在立柱的晶圆槽中，避免晶圆的掉落或造成斜插片，防止晶圆在传送过程中发生晶圆破片现象，从而保证晶圆的安全运输和生产。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶舟，尤其涉及一种抗变形的晶舟。
技术介绍
在半导体生产中，晶舟(boat)是典型的用来运送以及加工晶圆的装置。通常晶舟 被设计成至少可以承装一片晶圆的结构，晶舟内设有多个晶圆槽，每个晶圆槽可供放置一 片晶圆。请参见图1，图1示出了现有的没有变形的晶舟1的结构示意图，所述晶舟1包括 底板、顶板和若干立柱，所述若干立柱的两端分别连接并支撑所述底板和顶板。然而，在半导体晶圆的制造过程中，晶圆的扩散制程需要将晶圆放置到晶舟内，再 将晶舟放入到高温炉管中进行扩散反应。在进行扩散反应时，高温炉管机台的温度一般要 达到800-1000摄氏度。这种高温容易使得石英材质的晶舟容易产生变形。请参见图2，图 2示出了变形后的晶舟1’的结构示意图图。当晶舟因高温变形后，晶圆不能均勻的放在四 根立柱的晶圆槽中，因而容易导致晶圆的掉落或造成斜插片，使得在晶圆的传送过程中发 生晶圆破片现象。因此，如何提供一种可以有效抗变形的晶舟是本领域技术人员亟待解决的一个技 术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种抗变形的晶舟，通过晶舟的立柱间增设加强筋来 提高晶舟的抗变形能力。为了达到上述的目的，本技术采用如下技术方案—种抗变形的晶舟，包括底板、顶板和若干立柱，所述若干立柱的两端分别连接所 述底板和顶板，所述若干立柱之间通过加强筋连接。在上述的抗变形的晶舟中，所述加强筋位于所述若干立柱的中部。在上述的抗变形的晶舟中，所述加强筋分成若干组，沿竖向均布于所述若干立柱。在上述的抗变形的晶舟中，所述加强筋是石英材质。在上述的抗变形的晶舟中，所述若干立柱设有若干对应等高的晶圆槽。本技术的有益效果如下本技术抗变形的晶舟，结构简单、通过在立柱间中增设加强筋来提高晶舟的 抗变形能力，可以有效减缓晶舟在高温下的变形，从而，确保晶圆可以平稳地放置在立柱的 晶圆槽中，避免晶圆的掉落或造成斜插片，防止晶圆在传送过程中发生晶圆破片现象，从而 保证晶圆的安全运输和生产。附图说明本技术的抗变形的晶舟由以下的实施例及附图给出。图1是现有的没有变形的晶舟的结构示意图；图2是现有的变形后的晶舟的结构示意图；图3是本技术的抗变形的晶舟的实施例1的结构示意图；图4是本技术的抗变形的晶舟的实施例2的结构示意图；图中，1-晶舟、1，-变形后的晶舟、11-底板、12-顶板、13-立柱、14-加强筋。具体实施方式以下将对本技术的抗变形的晶舟作进一步的详细描述。下面将参照附图对本技术进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选 实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术而仍然实现本技术 的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对 本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商 业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和 耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本技术的目的、特征更明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实 施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。实施例1请参见图3，图3所示是本技术抗变形的晶舟的实施例1的结构示意图；这种 抗变形的晶舟，包括底板11、顶板12和若干立柱13，所述若干立柱13的两端分别连接所述 底板11和顶板12，所述若干立柱13之间通过加强筋14连接。本实施例中，所述立柱13共 四根。然而，本专利技术不以此为限，本领域技术人员可根据需要设置立柱13的数量。在各个 立柱13至下而上设有若干对应等高的晶圆槽(图中未示意)，所述晶圆槽用于放置晶圆。 所述立柱13，两两左右对称设置于所述底板11和顶板12之间。通过在立柱13间增设加强 筋14可以有效的延缓晶舟的变形。优选，将所述加强筋14设于所述若干立柱13的中部， 使得晶舟上下对称，因此，可以在有效减缓晶舟变形的前提下，使得晶舟的残存的微小变形 更加均勻。本实施例中，所述加强筋14采用石英材质。实施例2请参阅4，图4所示是本技术抗变形的晶舟实施例2的结构示意图。本实施与 实施例1的区别在于所述加强筋14分成若干组，且沿竖向均布于所述若干立柱13。本实 施例中有三组加强筋14沿竖向即自下而上或自上而下均布于所述若干立柱13。而在实施 例1中只有一组加强筋14。由于本实施例设置的加强筋14相对于实施例1多，因此，本实 施例相对于实施例1的技术方案具有更好的延缓晶舟变形的效果。综上所述，本技术抗变形的晶舟，结构简单，通过在立柱间中增设加强筋来提 高晶舟的抗变形能力，可以有效减缓晶舟在高温下的变形，从而，确保晶圆可以平稳地放置 在立柱的晶圆槽中，避免晶圆的掉落或造成斜插片，防止晶圆在传送过程中发生晶圆破片 现象，从而保证晶圆的安全运输和生产。 显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及 其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。权利要求1.一种抗变形的晶舟，包括底板、顶板和若干立柱，所述若干立柱的两端分别连接所述 底板和顶板，其特征在于，所述若干立柱之间通过加强筋连接。2.如权利要求1所述的抗变形的晶舟，其特征在于，所述加强筋位于所述若干立柱的 中部。3.如权利要求1所述的抗变形的晶舟，其特征在于，所述加强筋分成若干组，沿竖向均 布于所述若干立柱。4.如权利要求1所述的抗变形的晶舟，其特征在于，所述加强筋是石英材质。5.如权利要求1所述的抗变形的晶舟，其特征在于，所述若干立柱设有若干对应等高 的晶圆槽。专利摘要本技术涉及一种晶舟，尤其涉及一种抗变形的晶舟。这种抗变形的晶舟，包括底板、顶板和若干立柱，所述若干立柱的两端分别连接所述底板和顶板，所述若干立柱之间通过加强筋连接。本技术抗变形的晶舟通过在立柱中增设加强筋来提高晶舟的抗变形能力，从而，确保晶圆可以平稳地放置在立柱的晶圆槽中，避免晶圆的掉落或造成斜插片，防止晶圆在传送过程中发生晶圆破片现象，从而保证晶圆的安全运输和生产。文档编号H01L21/677GK201859864SQ20102060088公开日2011年6月8日 申请日期2010年11月9日 优先权日2010年11月9日专利技术者杨志平 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抗变形的晶舟，包括底板、顶板和若干立柱，所述若干立柱的两端分别连接所述底板和顶板，其特征在于，所述若干立柱之间通过加强筋连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志平，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31