真空闸阀及使用它的闸开闭方法技术

一种真空闸阀，包含闸板退藏及闭塞移动时在内，在闸板从开放状态到闭塞状态及从闭塞状态到开放状态时，可以减少异物向闸板退藏室的侵入、附着。在所述闸板被收藏于所述闸板退藏室时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，遮板密封部与固定密封部接触，据此，闭塞所述入口；并且，在闸板在遮板移动室内移动、第一闸板密封部与固定密封部接触，据此，闭塞所述排气口时，所述遮板在遮板移动室内移动，遮板密封部与第二闸板密封部接触，据此，闭塞所述入口。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在真空处理装置间或者真空处理装置与真空排气泵间使用的真空闸 阀以及使用了该真空闸阀的闸开闭方法。
技术介绍
在设置与设于排气口的闸密封面密接、闭塞排气口的闸板的情况下，将闸板(阀 体)从排气口退藏时，为了让间板退藏室不侵入、附着异物而设有间板退藏室遮蔽装置。在专利公报特开平7-42872中记载有这样的闸板退藏室遮蔽装置，在形成排气口 的排气通路内设置圆筒型遮板，使其在排气通路内移动，在间板退藏时遮蔽间板退藏室。在专利公报特开平3-239884中记载了如下超高真空闸阀，其由具有阀箱、阀座、 开口的阀板、与该阀板连接的阀柱、阀柱驱动机构、阀板压件以及穿插连接于上述阀箱和上 述阀座以及阀板压件之间、伸缩自如的波纹管构成，在上述阀板的开、闭位置，上述阀板一 直与上述阀座及上述阀板压件对接，上述阀柱驱动机构所占有的上述阀箱内的死空间被闭在专利公报特開平7-42872中记载的圆筒型遮板在排气通路内移动，另外，在专 利公报特開平3-239884中记载的伸缩自如的波纹管设置于死空间内。按照这样的现有技 术的结构，间板退藏或者闭塞移动时，遮板或者波纹管将接触排气，有附着排气中的异物的危险。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述问题点，其目的在于提供一种包含闸板退藏及闭塞移动时在 内，在间板从开放状态到闭塞状态及从闭塞状态到开放状态时，可以使向间板退藏室的异 物侵入、附着变少的真空闸阀以及使用了该真空闸阀的闸开闭方法。本专利技术提供一种真空闸阀，具有本体，具有在其端部形成排气口的排气体部；退 藏部，具有闸板退藏室；闸板，从所述闸板退藏室向所述排气体部移动、闭塞上述排气口，并 且收藏于上述间板退藏室；间板驱动部，使该间板移动；遮板，沿该排气体部可以移动、设 置于遮板移动室；遮板驱动部，使该遮板移动，其特征在于，所述本体具有形成所述遮板移动室的遮板移动部，所述遮板移动室面向所述排气 体部侧方形成入口，在所述间板向所述入口闭塞移动时及所述间板向所述间板退藏室退藏 移动时，将所述遮板从所述排气体部隔离，所述间板退藏部被设置成使所述间板退藏室连通于所述遮板移动室，在所述遮板移动部，与所述遮板移动室的所述入口对置、形成固定密封部，所述遮板具有与所述固定密封部对置形成的遮板密封部，所述间板形成为，从所述间板退藏室向所述遮板移动室、及从该遮板移动室向所 述排气体部可以移动，并且，在所述间板的一面侧与所述固定密封部对置形成第一间板密 封部，而在所述间板的与所述第一间板密封部的反面侧，与所述遮板密封部对置形成第二闸板密封部，在所述间板被收藏于所述间板退藏室时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，所 述遮板密封部与所述固定密封部接触，据此，闭塞所述入口 ；并且，在所述间板在所述遮板 移动室内移动、所述第一间板密封部与所述固定密封部接触，据此，闭塞所述排气口时，所 述遮板在所述遮板移动室内移动，所述遮板密封部与所述第二间板密封部接触，据此，闭塞 所述入口。另外，本专利技术真空闸阀，其特征在于，所述固定密封部、所述遮板密封部、所述第一 闸板密封部以及所述第二间板密封部在所述排气体部的长度方向，在所述遮板移动室内的 同一面上配置。另外，本专利技术的真空闸阀，其特征在于，所述遮板密封部由遮板环形成，该遮板环 及所述遮板相互拆装自如，所述排气体部具有位于其内周面呈圆筒状的盖，以及遮板收纳 室，该遮板收纳室在所述圆筒状的盖的外周侧成为所述遮板移动室的一部分，在该遮板收 纳室的侧方沿该遮板收纳室设置所述遮板驱动部的遮板驱动活塞，该遮板驱动活塞与所述 遮板环连接，所述遮板环通过沿所述排气体部动作的所述遮板驱动活塞沿所述排气体部移 动。另外，本专利技术的真空闸阀，其特征在于，具有控制装置，进行如下控制所述闸板驱 动部和所述遮板驱动部由一组驱动源和驱动力切换装置驱动，在所述间板退藏到所述闸板 退藏室时，控制所述遮板移动。另外，本专利技术的真空闸阀，其特征在于，所述闸板退藏部形成为箱状，位于所述本 体从本体侧方被一体化，并且可拆装自如，在所述间板采用摆形间板，该间板在所述间板退 藏室和所述遮板移动室摇动。本专利技术提供一种真空闸阀的闸开闭方法，所述真空闸阀具有本体，具有在其端部 形成排气口的排气体部；退藏部，具有间板退藏室；间板，从所述间板退藏室向所述排气体 部移动、闭塞上述排气口，并且被收藏于上述间板退藏室；间板驱动机构，使该间板移动； 遮板，沿该排气体部可以移动、设置于遮板移动室；遮板驱动部，使该遮板移动，所述本体具有形成所述遮板移动室的遮板移动部，所述遮板移动室向所述排气体部侧方形成入口，在所述闸板向所述入口闭塞移动时及所述闸板向 所述间板退藏室退藏移动时，将所述遮板从所述排气体部隔离，所述间板退藏部被设置成使所述间板退藏室连通于所述遮板移动室，在所述遮板移动部，与所述遮板移动室的所述入口对置、形成固定密封部，所述遮板具有与所述固定密封部对置形成的遮板密封部，在所述间板的一面侧与所述固定密封部对置形成第一间板密封部，而在所述闸板 的与所述第一间板密封部的反面侧，与所述遮板密封部对置形成第二间板密封部，对所述闸板进行如下开闭在所述间板被收藏于所述间板退藏室时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，所 述遮板密封部与所述固定密封部接触，据此，闭塞所述入口，并且，在所述间板从所述闸板 退藏室向所述遮板移动室移动，以及从所述遮板移动室向所述排气体部移动、所述第一闸 板密封部与所述固定密封部接触，据此闭塞所述排气口时，所述遮板在所述遮板移动室内 移动，所述遮板密封部与所述第二间板密封部接触，据此，闭塞所述入口。另外，本专利技术的真空闸阀的闸开闭方法，其特征在于，所述固定密封部、所述遮板 密封部、所述第一间板密封部以及所述第二间板密封部在所述排气体部的长度方向，相对 于所述固定密封部在同一面上、在所述遮板移动室移动。下面基于附图来说明本专利技术的一实施例。根据本专利技术，具有上述遮板和遮板移动室，遮板无论在间板退藏时，还是间板闭塞 排气口时 ，均闭塞遮板移动室的入口，并且在闸板退藏移动时及闭塞移动时从排气体部隔 离，在闸板从开放状态到闭塞状态及从闭塞状态到开放状态都能够减少异物向闸板退藏室 的侵入、附着。附图说明图1是本专利技术的实施例的俯视图。图2是本专利技术的实施例的侧断面图(图3的A-A断面图)。图3是本专利技术实施例的仰视图。图4是图2的部分详解图。图5是表示闸板的回动状况图(1)。图6是表示闸板的回动状况图(1)。图7是闸板和遮板操作部的结构图。图8是说明闸板和遮板的移动的示意图。图9表示从阀闭塞状态到阀开放状态的示意图。图10表示从阀开放状态到阀闭塞状态的示意图。具体实施例方式实施例图1是本专利技术实施例的真空闸阀的俯视图，图2是侧断面图，图3是仰视图，其中 图2是图3的A-A断面图。在这些图中，真空闸阀100由本体11和闸板退藏部12构成，本体11、闸板退藏部 12以共箱状形成，两者拆装自如地形成为一体，两者间配置0型环14。本体11的高度比闸 板退藏部12高，从上看的情况下，两者如图1所示，大致呈椭圆形，中央部较粗。本体11在中央的内部设置排气体部15，并面向该排气体部15的侧方部以独立于 排气体部15的周围的形态形成遮板移动室16，即，在本体11的侧方部的周围设置形成了遮 板移动室16的遮板移本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空闸阀，具有：本体，具有在其端部形成排气口的排气体部；退藏部，具有闸板退藏室；闸板，从所述闸板退藏室向所述排气体部移动、闭塞上述排气口，并且收藏于上述闸板退藏室；闸板驱动部，使该闸板移动；遮板，沿该排气体部可以移动、设置于遮板移动室；遮板驱动部，使该遮板移动，其特征在于，所述本体具有形成所述遮板移动室的遮板移动部，所述遮板移动室面向所述排气体部侧方形成入口，在所述闸板向所述入口闭塞移动时及所述闸板向所述闸板退藏室退藏移动时，将所述遮板从所述排气体部隔离，所述闸板退藏部被设置成使所述闸板退藏室连通于所述遮板移动室，在所述遮板移动部，与所述遮板移动室的所述入口对置、形成固定密封部，所述遮板具有与所述固定密封部对置形成的遮板密封部，所述闸板形成为，从所述闸板退藏室向所述遮板移动室、及从该遮板移动室向所述排气体部可以移动，并且，在所述闸板的一面侧与所述固定密封部对置形成第一闸板密封部，而在所述闸板的与所述第一闸板密封部的反面侧，与所述遮板密封部对置形成第二闸板密封部，在所述闸板被收藏于所述闸板退藏室时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，所述遮板密封部与所述固定密封部接触，据此，闭塞所述入口；并且，在所述闸板在所述遮板移动室内移动、所述第一闸板密封部与所述固定密封部接触，据此，闭塞所述排气口时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，所述遮板密封部与所述第二闸板密封部接触，据此，闭塞所述入口。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：永井秀明，久江隆，
申请(专利权)人：株式会社V泰克斯，
类型：发明
国别省市：JP[日本]