一种硅片冲洗装置的连接机构制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种硅片冲洗装置的连接机构，包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠，由于本实用新型专利技术包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠；盒体与封闭空腔连接时，盒体的外周面与封闭空腔通孔的内周面之间的配合为滚动摩擦，摩擦力小，可避免封闭空腔由于长时间摩擦而损坏，从而，延长了冲洗装置的使用时间。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硅片冲洗装置的连接机构，其特征在于，包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：聂金根，
申请(专利权)人：镇江市港南电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]