用于检查物体的系统技术方案

本申请提供一种用于检查物体的系统，该检查系统包括：（ｉ）第一组传感器，用于感测被检查物体的区域的图像的第一光带的光成分，以及用于生成表示被感测的第一光带的光成分的第一检测信号，（ｉｉ）第二组传感器，用于感测被检查物体的区域的图像的第二光带的光成分，其中第二光带不同于第一光带，以及用于生成表示被感测的第二光带的光成分的第二检测信号；（ｉｉｉ）光学器件，用于将被检查物体的区域的图像向第一组传感器投影并向第二组传感器投影；以及（ｉｖ）处理单元，连接至第一和第二组传感器，用于基于第一或第二检测信号来检测缺陷。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于检查物体的系统。
技术介绍
当对电子电路(如，印刷电路板和集成电路)进行扫描时，需要不同的彩色滤光来 检测不同类型的缺陷。然而，使用一个或多个摄像机来获得同一电路的多个图像(使用不 同的滤光器和/或不同的照明设备)是一个比较慢的技术过程，其减慢了扫描程序。使用 两个或多个摄像机和两个或多个照明系统又是高成本的。
技术实现思路
为了解决上述速度慢和成本高的问题，做出了本技术的用于检查物体的系 统。根据本申请的一个实施例，提供了一种用于检查物体的系统。该系统可以包括 (i)第一组传感器，用于感测被检查物体的区域的图像的第一光带的光成分，以及用于生成 反映被感测的第一光带的光成分的第一检测信号，( )第二组传感器，用于感测被检查物 体的区域的图像的第二光带的光成分，其中第二光带不同于第一光带，以及用于生成反映 被感测的第二光带的光成分的第二检测信号；其中第二组传感器被布置为感测第二光带的 光成分而第一组传感器感测第一光带的光成分，(iii)光学器件，用于将被检查物体的区域 的图像向第一组传感器投影并向第二组传感器投影；以及(iv)处理单元，连接至第一和第 二组传感器，用于基于第一或第二检测信号来检测缺陷。处理单元被布置为基于第一检测信号检测第一类型缺陷，并且被布置为基于第二 检测信号来检测第二类型缺陷。处理单元被布置为使第一和第二检测信号之间相关联。第一组传感器中的传感器被布置为检测红光成分，而第二组传感器中的传感器被 布置为检测绿光成分。处理单元被布置为检测被检查物体的金属成分中的缺陷，通过处理第一检测信号 来检测，以及被布置为通过处理第二检测信号来检测焊接掩模(solder mask)中的缺陷。第一组传感器中的传感器被布置为检测红外光成分，而第二组传感器中的传感器 被布置为检测可见光成分。第一和第二组传感器可以以交错的方式来布置。第一和第二组传感器是彼此分开的。第一组传感器包括第一类型像素传感器，其不同于第二组传感器的第二类型像素传感器。过滤第一光带的光成分的第一滤光器位于第一组传感器之前。过滤第二光带的光 成分的第二滤光器位于第二组传感器之前。第一和第二组传感器被布置为并行地生成第一和第二检测信号，并且其中处理单 元被布置为并行地生成处理第一和第二检测信号。处理单元被布置为通过无线链路来接收第一或第二检测信号。被检查物体可以是印刷电路板。检查系统可以包括平台(stage)，用于相对于光学器件来移动被检查的物体，使得 光学器件可以及时地在不同的点将被检查物体的不同区域的不同图像投影向第一和第二 组传感器。根据本申请的实施例，提供了一种用于检查物体的系统。该检查系统可以包括 (i)接口(interface)，用于接收第一检测信号和第二检测信号，其中第一检测信号由第一 组传感器生成，并且反映了被检查物体的区域的图像的第一光带的光成分，其中第二检查 信号由第二组传感器生成，并且反映了被检查物体的区域的图像的第二光带的光成分；以 及(ii)处理单元，连接至接口，用于基于第一或第二检测信号来检测缺陷。根据本申请的实施例，提供一种用于检查物体的方法，该方法包括(i)将被检查 物体的区域的图像投影向第一组传感器和投影向第二组传感器；(ii)通过第一组传感器 来感测被检查物体的区域的图像的第一光带的光成分；(iii)通过第一组传感器生成第一 检测信号，其反映了被感测的第一光带的光成分；(iv)通过第二组传感器感测(与通过第 一组传感器感测第一光带的光成分并行)被检查物体的区域的图像的第二光带的光成分； (ν)通过第二组传感器生成第二检测信号，其反映了被感测的第二光带的光成分；以及 (Vi)通过处理单元基于第一或第二检测信号来检测缺陷。该方法可以包括基于第一检测信号来检测第一类型缺陷，以及基于第二检测信号 来检测第二类型缺陷。该方法可以包括使第一和第二检测信号之间相关联。该方法可以包括通过第一组传感器中的传感器来检测红光成分，以及通过第二组 传感器中的传感器来检测绿光成分。该方法可以包括通过处理第一检测信号来检测被检查物体的金属成分中的缺陷， 以及通过处理第二检测信号来检测焊接掩模中的缺陷。该方法可以包括通过第一组传感器中的传感器来感测红外光成分，以及通过第二 组传感器的传感器来感测可见光成分。根据本申请的实施例，提供一种用于检查物体的方法，该方法包括(i)接收第一 检测信号和第二检测信号；其中第一检测信号由第一组传感器生成，并且反映了被检查物 体的区域的图像的第一光带的光成分；其中第二检测信号由第二组传感器生成，并且反映 了被检查物体的区域的图像的第二光带的光成分；以及(ii)基于第一或第二检测信号来 检测缺陷。通过上述的实施例，提供了一种可快速扫描缺陷且低成本的用于检查物体的系 统。附图说明参考附图只通过示例方式来对本申请的其他细节、实施例和各方面进行描述。在 附图中，同一的参考标号用来表示同一的或功能类似的元件。图中的元件只是为了简单和 清楚进行示意的，并不是必须限于所画的尺度。图1示出了根据本申请一个实施例的用于检查物体的系统；图2示出了根据本申请一个实施例的用于检查物体的系统；图3示出了根据本申请一个实施例的用于检查物体的方法；图4示出了根据本申请一个实施例的用于检查物体的系统；图5示出了根据本申请的各种实施例的传感器的各种布置。具体实施方式结合附图，从以下的详细描述中，本申请的上述的和其他的目的、特征和优点将变 得更加明显。在附图中，遍历不同的视图，相似的参考标号表示相似的元件。图1示出了根据本申请实施例的用于检查物体的系统10。系统10包括摄像机100，其包括光学部分110，用于将诸如被检查电子电路20 (其 可以是印刷电路板)的物体的图像投影在电子检测器120上，其中电子检测器120包括至 少第一组传感器130 (其至少包括一个第一类型像素传感器132，用于捕获光谱的第一光带 的光信号)和第二组传感器140 (其至少包括一个第二类型像素传感器142，用于捕获光谱 的第二光带的光信号)。应当注意的是，第一和第二组传感器130和140的像素传感器都 便于基本并行地获得光信号(即，至少部分地同时发生)。像素传感器可以是传感器阵列的 元件。通过多个重复的过程，可以将物体一个接一个的成像。在每个重复期间，被检查的 图像的区域是被照亮的，并且该区域的图像被投影到第一和第二组传感器。第一和第二组传感器的每一个均可以接收同一的图像，但不是必须如此。例如，相 邻的传感器可以接收同一图像的相邻部分。前者在每个区域被照亮一次时就可以出现，而 后者在同一区域像素被照亮(并且光被感测)多于一次时才可以出现。例如，如果区域被 扫描，则不同组的传感器将会最后接收来自整个区域的光。每个传感器被布置为感测光成分并生成表示被感测的光成分的检测信号。检测信 号可以是模拟信号、数字信号、灰度电平信号(gray level signal)等。检测信号可以存储 在存储单元并被反馈到处理单元。应当注意的是，光谱可以限于可见光光谱，或可以扩展到光谱的其他部分，如红外 线。第一和第二光带可以称作为彩色光(如，红光、绿光)，但是其不是必须如此。进一 步地，每个类型的像素传感器均可适于检测基本上来自光谱的各光带的光，或本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检查物体的系统，其特征在于，包括：第一组传感器，用于感测被检查物体的区域的图像的第一光带的光成分，以及用于生成反映被感测的所述第一光带的光成分的第一检测信号；第二组传感器，用于感测所述被检查物体的所述区域的所述图像的第二光带的光成分，以及用于生成反映被感测的所述第二光带的光成分的第二检测信号，其中所述第二光带不同于所述第一光带，光学器件，用于将所述被检查物体的所述区域的所述图像向所述第一组传感器投影并向所述第二组传感器投影；以及处理单元，连接至所述第一组传感器和所述第二组传感器，用于基于所述第一检测信号或所述第二检测信号来检测缺陷。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：约西凯尔比什，本尼哈雷尔，
申请(专利权)人：康代有限公司，
类型：实用新型
国别省市：IL[以色列]