一种用于太阳能电池片生产的石墨舟制造技术

技术编号:5299765 阅读:322 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,该石墨舟放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起,在等离子体电离并沉积的过程中,石墨舟板间电场强度产生改变,从而电池片表面的减反射膜的厚度发生变化,而呈现出不同的颜色,形成单片不同颜色的彩色太阳能电池片。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

一种用于太阳能电池片生产的石墨舟
本技术涉及一种太阳能电池制作工具,具体涉及一种用于太阳能电池片生 产的石墨舟。
技术介绍
在晶体硅太阳能电池生产领域,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是目前 主流的镀减反射膜的方法。PECVD设备主要有两种,即板式PECVD与管式PECVD。管 式PECVD使用石墨舟作为硅片载体,在石墨周片间通入高频的射频电源,硅片作为电极 的一部分,石墨舟片之间的间距均勻一致,故其中的电场强度均勻一致,通过此方法得 到的减反射膜的厚度相同,颜色主要以蓝黑色为主。随着光伏行业的不断进步及光伏与 建筑一体化的发展,市场对光伏产品提出了更高的要求,不但要保证效率的不断提升, 对电池片的外观,尤其是颜色提出了更苛刻的要求。目前现有制作彩色电池片的工艺,可 以实现整片显示某种颜色,如红、黄、绿等,但无法实现片内的彩色化。
技术实现思路
本技术的目的就是针对上述存在的缺陷而提供一种用于太阳能电池片生产 的石墨舟,该石墨舟放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起,在等离子体电 离并沉积的过程中,石墨舟板间电场强度产生改变,从而电池片表面的减反射膜的厚度 发生变化,而呈现出不同的颜色,形成单片不同颜色的彩色太阳能电池片。本技术的一种用于太阳能电池片生产的石墨舟技术方案为,包括石墨舟 板,所述的石墨舟板放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起。所述的板面上的凸起高度为Imm-lOmm,单片硅片范围内的板面上的凸起有高 度差。所述的板面上的凸起组成有规则的图形、者图案或者是组成无规则的图形或图 案。本技术的有益效果为本技术的一种用于太阳能电池片生产的石墨 舟,该石墨舟放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起,在等离子体电离并沉 积的过程中,石墨舟板两板之间的电场强度由于板面上的凸起从而产生改变,电场强度 高的地方电离较为充分,沉积到电池片表面的膜层就较厚,单片电池片表面的减反射膜 的厚度发生变化,呈现出不同的颜色,形成单片不同颜色的彩色太阳能电池片。满足了 光伏与建筑一体化发展过程中对光伏产品的外观要求。附图说明图1所示为本技术实施例1基本结构示意图;图2所示为本技术实施例2基本结构示意图图3所示为本技术实施例3基本结构示意图。图中,1.石墨舟,2.硅片。具体实施方式为了更好地理解本技术,以下结合附图来详细说明本技术的技术方 案,但是本技术并不局限于此。实施例1硅片2经过制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃等步骤之后,准备放入 石墨舟1,进入PECVD装置,镀减反射膜。如附图1所示,石墨舟1放置硅片2的板面为平面,内部相对的板面设有凸起。 板面上的凸起为间隔的阶梯状,阶梯间隔距离为lcm-3Cm,阶梯高度为Imm-IOmm不寸。镀减反射膜完成之后,将硅片2取出进行丝网印刷、烧结及检测分选。形成单 片片内颜色不同的彩色太阳能电池片。实施例2硅片2经过制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃等步骤之后,准备放入 石墨舟1,进入PECVD装置,镀减反射膜。如附图2所示,石墨舟1放置硅片2的板面为平面,内部相对的板面设有凸起。 板面上的凸起为锯齿状,锯齿底部宽度为lcm-15Cm,锯齿顶端高度为5mm。镀减反射膜完成之后,将硅片2取出进行丝网印刷、烧结及检测分选。形成单 片片内颜色不同的彩色太阳能电池片。实施例3硅片2经过制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃等步骤之后,准备放入 石墨舟1,进入PECVD装置,镀减反射膜。如附图3所示,石墨舟1放置硅片2的板面为平面,内部相对的板面设有凸起。 板面上的凸起为连续的阶梯状,每层宽度为lcm-5Cm,阶梯高度为Imm-IOmm不等。镀减反射膜完成之后,将硅片2取出进行丝网印刷、烧结及检测分选。形成单 片片内颜色不同的彩色太阳能电池片。权利要求1.一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,包括石墨舟板,其特征在于,所述的石墨 舟板放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起。2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,其特征在于,所述的 板面上的凸起高度为lmm-10mm。3.根据权利要求2所述的一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,其特征在于,单片硅 片范围内的板面上的凸起有高度差。4.根据权利要求2所述的一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,其特征在于,所述的 板面上的凸起组成有规则的图形或者图案。5.根据权利要求2所述的一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,其特征在于,所述的 板面上的凸起组成无规则的图形或者图案。专利摘要本技术涉及一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,该石墨舟放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起,在等离子体电离并沉积的过程中,石墨舟板间电场强度产生改变,从而电池片表面的减反射膜的厚度发生变化,而呈现出不同的颜色,形成单片不同颜色的彩色太阳能电池片。文档编号H01L31/18GK201812845SQ20102055535公开日2011年4月27日 申请日期2010年10月11日 优先权日2010年10月11日专利技术者刘斌贤, 吴志强, 张志杰, 李秉霖, 李虎, 武明 申请人:山东力诺太阳能电力股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,包括石墨舟板,其特征在于,所述的石墨舟板放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李虎张志杰李秉霖吴志强武明刘斌贤
申请(专利权)人:山东力诺太阳能电力股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:88[中国|济南]

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