水浴沉积镀膜槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学水浴沉积镀膜槽，应用于太阳能电池薄膜的制备工艺中；以制备ＣｄＳ、ＺｎＳ或Ｚｎ（ＯＨ）等薄膜。该镀膜槽包括，由长方形底壁及沿所述底壁边缘围置的侧壁形成的凹槽，以及设置于所述凹槽中的搅拌装置，所述搅拌装置对所述凹槽中的盛放物进行搅拌。本实用新型专利技术的水浴沉积镀膜槽结构简单，易于操作，制造成本低。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池面板
，具体涉及一种应用于太阳能电池面 板基板镀膜工艺中的水浴沉积镀膜槽，利用化学方法制备CdS、ZnS或Zn (OH)等薄膜。
技术介绍
太阳能作为一种绿色可再生能源，具有无污染、无地域限制、全天候利用等优 点，越来越受到人们的青睐和重视。太阳能的利用方式之一是通过光电转换器件将太阳 能转换为电能，然后再对转换后的电能加以利用。目前商业化的太阳能电池主要有单晶硅、多晶硅及薄膜电池，薄膜电池中主要 包括硅基薄膜、CdTe与CIGS。而薄膜电池由于其成本低、易集成、更容易大面积生产 而越来越受到关注。现阶段制约太阳能电池发展及推广的主要因素就是生产成本，而其中生产设备 成本则占了相当一部分比例。在太阳能电池生产中有许多步骤可以利用化学方法。如减 反射膜Si02、CdTe电池中的CdS、CIGS电池中的CdS、ZnS或ZnS (OH)等薄膜。因而，有必要设计一种简单、方便、成本低的装置，以实现对基板进行化学水浴镀膜。
技术实现思路
因此，本技术的目的在于提供一种化学水浴沉积镀膜槽，本技术的镀 膜槽结构简单、使用方便，可应用于太阳能电池面板基板的镀膜工艺，以制备CdS、ZnS 或ZnS (OH)薄膜。本技术提供的一种化学水浴沉积镀膜槽，应用于太阳能电池薄膜的制备工 艺中；该镀膜槽包括，由长方形底壁及沿所述底壁边缘围置的侧壁形成的凹槽，以及设 置于所述凹槽中的搅拌装置，所述搅拌装置对所述凹槽中的盛放物进行搅拌。优选的，所述凹槽为包括内槽和外槽的双层结构，所述外槽套接于所述内槽之 外，且所述内槽的外壁和外槽的内壁壁之间设置有距离，形成容置空间。优选的，所述搅拌装置为由其中一侧壁中央向相对侧壁延伸的搅拌手，所述搅 拌手的长度小于该两相对侧壁之间的距离，所述搅拌手以所述侧壁中央为中心并沿所述 内槽底面摆动的方式对内槽中的盛放物搅拌。可选的，所述搅拌手摆动角为180度。优选的，所述搅拌手为板状结构，且其板面垂直于所述内槽的底面。优选的，所述板状结构的搅拌手上沿其厚度方向还设置有通孔。优选的，所述搅拌手的自由端为斜楔形结构。优选的，所述搅拌手的非摆动端设置有搅拌臂，所述搅拌臂的一端与搅拌手固 定连接，另一端沿所述凹槽的侧壁向上并向外伸出所述凹槽。优选的，所述搅拌臂伸出凹槽侧壁之外的端部与一转动轴固定连接，所述转动 轴的轴线与所述凹槽底面垂直；所述转动轴与一动力装置连接。4优选的，所述动力装置为步进电机。优选的，所述步进电机动力输出轴平行于所述凹槽底面设置，通过一对换向齿 轮副与所述转动轴连接。可选的，所述步进电机垂直放置，其动力输出端直接与所述转动轴连接。可选的，所述内槽的深度为10厘米，长度为130厘米，宽度为65厘米。可选的，在所述水浴沉积镀膜槽底壁下面还设置有加热装置。可选的，所述加热装置为电炉丝。可选的，在所述凹槽的开口侧的侧壁上设置有垫片，用于对设置于其上的太阳 能电池面板基板提供支撑和密封。可选的，所述容置空间中设置溶液作为加热媒介。可选的，还包括控制反馈系统，以设定控制水浴加热的温度、时间，设定控制 搅拌手搅拌的频率、幅度及时间。与现有技术相比，本技术提供的水浴沉积镀膜槽，包括由长方形底壁及沿 所述底壁边缘围置的侧壁形成的凹槽，以及设置于所述凹槽中的搅拌装置，所述搅拌装 置对所述凹槽中的盛放物进行搅拌，通过在所述水浴沉积镀膜槽中设置镀膜溶液，在水 浴沉积镀膜槽槽口覆盖基板，可实施对所述基板进行镀膜的工艺；本技术的水浴沉 积镀膜槽结构简单，易于操作，制造成本低；此外，该镀膜槽还可以竖直放置进行镀膜操作，可以消除水平放置时化学溶液 对玻璃基板的不均勻覆盖，提高在基板上镀膜层的均勻性。在本技术的优选技术方案中，所述搅拌装置为搅拌手，且所述搅拌手为板 状结构，在所述板状结构上可以设置若干通孔，从而减少搅拌时的阻力，而且，所述搅 拌手的自由端还可以设置成斜楔形结构，以减轻搅拌手摆动时溶液泛起的波浪，避免溶 液四处溅射。在本技术的优选技术方案中，所述搅拌手还可以通过搅拌臂与动力装置连 接，所述动力装置可以为步进电机，步进电机与搅拌臂之间通过换向齿轮副连接；步进 电机动力输出轴平行于凹槽底面设置，使得步进电机的设置空间范围扩大，便于灵活设 置其位置，不必在限制于凹槽侧壁旁边；此外，由于中间过渡件换向齿轮副，步进电机 自身的震动不会传递至转动轴，有利于整个水浴沉积镀膜槽机构的稳定性。附图说明通过附图中所示的本技术的优选实施例的更具体说明，本技术的上述 及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。 并未刻意按比例绘制附图，重点在于示出本技术的主旨。图1为本技术的化学水浴沉积镀膜槽的实施例的主视示意图；图2为本技术的化学水浴沉积镀膜槽的实施例的俯视示意图；图3为本技术的化学水浴沉积镀膜槽的实施例的左视示意图；图4为图3中框A部分放大后的示意图；图5为图1中所示的凹槽的其中一种的结构示意图。其中，所述示意图是说明性的，而非限制性的，在此不能过度限制本技术的保护范围。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，以下结合附图对 本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于 充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施， 本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广。因此本技术不 受下面公开的具体实施的限制。实施例一图1为本技术的化学水浴沉积镀膜槽的实施例的主视示意图；图2为本实用 新型的化学水浴沉积镀膜槽的实施例的俯视示意图；图3为本技术的化学水浴沉积 镀膜槽的实施例的左视示意图。请参考图1、图2和图3，本技术的实施例的水浴沉积镀膜槽包括凹槽1和 搅拌装置2。其中，所述凹槽1包括长方形的底壁以及沿所述底壁边缘围置的侧壁。底壁和 侧壁之间以及相邻侧壁之间无缝连接，使得中间形成可盛放溶液的凹槽。所述凹槽1用 于盛放应用于太阳能电池面板基板的镀膜工艺的溶液，以制备CdS、ZnS或ZnS(OH)薄膜。所述凹槽1的底壁以及侧壁的材质可以金属材质，也可以是非金属介质材质。 所述凹槽1的深度以及长宽尺寸可以根据工艺需要以及太阳能电池面板基板的尺寸而设 计，例如，本实施例中，所述凹槽的深度可以是10厘米，凹槽1水平方向截面的长宽分 别为130厘米和65厘米。本实施例中，所述凹槽1水平方向截面为长方形。特殊的， 其也可以是正方形。此外，所述凹槽1可以双层结构。如图5所示，本实施例中，所述凹槽1为包 括内槽1-2和外槽1-1的双层结构，所述外槽1-1套接于所述内槽1-2之外，在所述内槽 1-2的外壁与所述外槽1-1的内壁之间设置有一定的距离，从而在内槽1-2和外槽1-1之 间形成一容置空间，该容置空间可以容置作为加热媒介的溶液。所述内槽1-2中可盛放 用于镀膜的溶液，待镀膜基板1-3覆盖于所述内槽1-2之上。该结构通过中间容置空间 的加热媒介，有利于控制镀膜溶液的温度以及温度的均勻性，从而有利于提高镀膜的质 量。在下面的实施例中，以图5所示的双层结构为例进行说明。但是需要说明的是，本 技术中并不必然的选本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水浴沉积镀膜槽，应用于太阳能电池薄膜的制备工艺中；其特征在于包括，由长方形底壁及沿所述底壁边缘围置的侧壁形成的凹槽，以及设置于所述凹槽中的搅拌装置，所述搅拌装置对所述凹槽中的盛放物进行搅拌。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：施成营，李沅民，林光沂，
申请(专利权)人：福建钧石能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：35[中国|福建]