【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体光刻工艺设备,具体涉及一种半导体光刻显影槽的冲 洗喷头。
技术介绍
某深沟槽金属氧化物半导体(High gate trench M0S)在生产中遭遇低产量(Low yield)。产生low yield(低产量)的原因是由于目前的P阱光刻(P-wellphoto)显影工 艺的冲洗(rinse)步骤中,是通过双管喷头将超纯去离子水(UPW)从硅片(wafer)中心喷 出,喷到wafer(硅片)表面。由于超纯去离子水(UPW)与栅氧(High gate oxide)摩擦, 在硅片(wafer)表面产生了静电电荷积累。通过测量,电荷积累的最大值出现在硅片中心 (wafer center)附近的某个位置。这是由于硅片中心的转速接近于零,水与wafer (硅片) 间的摩擦力最大;而硅片外缘的转速最大,水与wafer (硅片)间的摩擦力最小。硅片(wafer)表面静电电荷的积累影响了栅极电压的调整注入(Vth adjust implant)。这是因为P阱注入(p_well implant)时,注入的硼离子到达硅片(wafer)表面 时,积累在硅片表面的静电负电荷会与部分硼离子中和,影响了栅极电压的调整注入(Vth adjust implant)的掺杂浓度,引起P阱(p-well)的掺杂浓度异常。由于硅片中心(wafer center)的静电电荷较多,所以对硅片(wafer)中心的Vth adjust implant (栅极电压的调整注入)影响最大,造成wafer (硅片)中心的栅极电压 (Vth)漂移。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种半导 ...
【技术保护点】
一种半导体光刻显影槽的冲洗喷头,其特征在于:包括两个进水管、容置腔、多个喷嘴,容置腔的顶部分别通过活接头连接两个进水管,容置腔的底部设置多个喷嘴。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:单忠飞,陈群琦,
申请(专利权)人:上海华虹NEC电子有限公司,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。