【技术实现步骤摘要】
本技术涉及行波管阴极组件镀膜领域，具体为一种用于阴极基体刻蚀镀膜的 阴极镀膜设备。
技术介绍
在行波管中，阴极组件的基本作用是提供一个低表面逸出功、大发射电流、长寿 命、强抗中毒和耐离子轰击等特点的电子源。传统的浸渍钡钨阴极发射电流不够大、寿命不 够长、工作温度过高、工作稳定性不够好，这些劣势导致浸渍钡钨阴极无法符合行波管的要 求。因此在浸渍型钡钨阴极上需要镀一层膜以改善阴极性能，如降低阴极的逸出功，提高阴 极的发射能力，在同等工作电流条件下，降低阴极工作温度，延长阴极工作寿命。当阴极基 体精度要求高时，传统镀膜设备对膜层质量控制的困难度就会加大，导致镀膜质量不理想， 无法满足行波管要求。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种阴极镀膜设备，以解决在阴极基体精度要求高时， 传统的镀膜设备其镀膜质量无法满足行波管阴极要求的问题。为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案为一种阴极镀膜设备，包括有T形壳体，所述壳体顶部敞口，底部连通有供等离子体 射入的管口，所述壳体顶部敞口盖合有顶盖，其特征在于所述壳体T形顶部两端外缠绕有 螺线包，壳体T形顶部中对应螺线包的两端内还分别设置有竖向屏蔽罩，所述壳体中从上 到下依次设置有两层中间有位置对应的开孔的横向屏蔽罩，其中上层的横向屏蔽罩开孔中 安装有支架，所述壳体中靠近底部管口位置设置有与下层横向屏蔽罩的开孔位置对应的靶 材，所述壳体T形顶部两端内还分别设置有灯丝，所述灯丝位于所述横向屏蔽罩两端，且灯 丝与对应位置的竖向屏蔽罩之间还分别设置有罩在灯丝外的半圆形屏蔽罩，从所述上层的 横向屏蔽罩、靶材及半圆形屏蔽罩上分别连接有导线，所述...
【技术保护点】
一种阴极镀膜设备，包括有Ｔ形壳体，所述壳体顶部敞口，底部连通有供等离子体射入的管口，所述壳体顶部敞口盖合有顶盖，其特征在于：所述壳体Ｔ形顶部两端外缠绕有螺线包，壳体Ｔ形顶部中对应螺线包的两端内还分别设置有竖向屏蔽罩，所述壳体中从上到下依次设置有两层中间有位置对应的开孔的横向屏蔽罩，其中上层的横向屏蔽罩开孔中安装有支架，所述壳体中靠近底部管口位置设置有与下层横向屏蔽罩的开孔位置对应的靶材，所述壳体Ｔ形顶部两端内还分别设置有灯丝，所述灯丝位于所述横向屏蔽罩两端，且灯丝与对应位置的竖向屏蔽罩之间还分别设置有罩在灯丝外的半圆形屏蔽罩，从所述上层的横向屏蔽罩、靶材及半圆形屏蔽罩上分别连接有导线，所述导线从壳体底部引出。
【技术特征摘要】
1.一种阴极镀膜设备，包括有T形壳体，所述壳体顶部敞口，底部连通有供等离子体 射入的管口，所述壳体顶部敞口盖合有顶盖，其特征在于所述壳体T形顶部两端外缠绕有 螺线包，壳体T形顶部中对应螺线包的两端内还分别设置有竖向屏蔽罩，所述壳体中从上 到下依次设置有两层中间有位置对应的开孔的横向屏蔽罩，其中上层的横向屏蔽罩开孔中 安装有支架，所述壳体中靠近底部管口位置设置有与下层横向屏蔽罩的开孔位置对应的靶 材，所述壳体T形顶部两端内还分别设置有灯丝，所述灯丝位...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴华夏，孟昭红，沈旭东，方卫，于晨晨，陈爱民，
申请(专利权)人：安徽华东光电技术研究所，
类型：实用新型
国别省市：34[中国|安徽]
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