【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种内腔镀膜的装置与方法，特别是针对炮管、枪膛、波导内腔的 特殊要求，制备相应的各种功能性薄膜，如耐磨、耐高温、导电薄膜的装置与方法。
技术介绍
炮管的寿命会受到火炮发射时的热烧蚀、化学烧蚀以及机械磨损等多种因素的 影响，现代火炮系统的性能要求继续朝着高初速、高射速、高膛压和远射程的方向发 展，为了实现这些性能，必须要采用高火焰温度的现代发射药，可是，这些发射药具有 极高腐蚀。这就要求在炮管、枪膛内表面制备耐高温、防腐涂层。随着通讯技术向高频段和大功率方向的发展，复材波导内腔表面电性能差，慢 慢无法满足信号传输使用要求，所以提高内腔表面电性能成为当务之急，采用脉冲激光 法在内腔表面镀导电膜可提高电性能。目前在现有技术中使用包括激光器、平面镜、凸 透镜，真空室、靶材的装置通过脉冲激光法镀膜已经是一种成熟的技术，但未见有采用 脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供，利用 本专利技术可在内腔表面镀各种功能薄膜，如在复材波导内表面镀金属导电膜；枪炮内膛表 面镀耐高温防护薄膜；常用管材内表面镀耐腐蚀薄膜。本专利技术所述装置包括激光器、平面镜、凸透镜，真空室、靶材、水冷管，还包 括连动装置，工件架，导轨，其中导轨与真空室壁连接，工件架设有可沿导轨运动的滚 轮，工件架一端与连动装置相连接，通过连动装置可以带动工件架在导轨上运动。连动装置可以设置在真空室内部或者外部；设置在外部有利于连动装置的控制 和维护。本专利技术所述装置还可以包括连接在真空室壁的加热器，设置加热器可以提高薄膜质量。使用本专利技术所述装置可以实现脉冲激光内腔镀...
【技术保护点】
一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置，包括激光器（１４）、平面镜（１）、凸透镜（２），真空室（４）、靶材（７）、水冷管（８），其特征在于，还包括连动装置（１１），工件架（１２），导轨（１３），其中导轨（１３）与真空室（４）壁连接，工件架（１２）设有可沿导轨（１３）运动的滚轮，工件架（１２）一端与连动装置（１１）相连接，通过连动装置（１１）可以带动工件架（１２）在导轨（１３）上运动。
【技术特征摘要】
1.一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置，包括激光器(14)、平面镜(1)、凸透 镜(2)，真空室(4)、靶材(7)、水冷管(8)，其特征在于，还包括连动装置(11)，工件架 (12)，导轨(13)，其中导轨(13)与真空室(4)壁连接，工件架(12)设有可沿导轨(13) 运动的滚轮，工件架(12) —端与连动装置(11)相连接，通过连动装置(11)可以带动工 件架(12)在导轨(13)上运动。2.根据权利要求1所述的在内腔表面镀膜的装置，其特征在于连动装置(11)设置在 真空室⑷外部。3.根据权利要求1或2所述的在内腔表面镀膜的装置，其特征在于还包括连接在真空 室⑷壁的加热器。4.一种采用脉冲激光法在内腔表面镀膜的方法，包括以下步骤(1)化学清洗首先采用绸布蘸丙酮/乙醇对工件...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵栋才，肖更竭，马占吉，武生虎，任妮，
申请(专利权)人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所，
类型：发明
国别省市：62[中国|甘肃]
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