一种硅片冲洗装置的连接机构制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种硅片冲洗装置的连接机构，包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠，由于本发明专利技术包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠；盒体与封闭空腔连接时，盒体的外周面与封闭空腔通孔的内周面之间的配合为滚动摩擦，摩擦力小，可避免封闭空腔由于长时间摩擦而损坏，从而，延长了冲洗装置的使用时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种连接机构，特别涉及一种硅片冲洗装置的连接机构，属于硅片加 工的

技术介绍
由于硅片体积小，厚度薄，因此，硅片之间极易产生静电。将硅片从盒子内倒出时， 由于静电作用，常常有硅片粘贴在盒子内，造成硅片的浪费。传统的方法是采用吹风机将这 些贴在盒子内的硅片吹出，该方法虽可取出硅片，但操作不方便，且硅片吹出后容易到处乱 飞。不易收集。为了解决上述技术问题，近来，出现了一种硅片气流冲洗装置，包括盒体、封闭空 腔、气流通道及气源，盒体与气流通道相对的设置在封闭空腔上，所述盒体的开口端与所述 气流通道的出气口相对，所述气流通道的进气口与气源通。盒体的开口端连接与封闭空腔 的通道相通，通常通过盒体的外周面与封闭空腔通道的内周面紧密配合来实现盒体与封闭 空腔的连接。该结构的硅片冲洗装置，由于是通过盒体的外周面与封闭空腔的通道的内周 面紧密配合实现连接的，使用时间了以后，封闭空腔通道的内周面容易出现磨损，从而，导 致封闭空腔与盒体的连接不牢。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种连接方便，使用寿命长且结构简单的硅片 冲洗装置的连接机构。为了解决上述技术问题，本专利技术一种硅片冲洗装置的连接机构，包括设置在封闭 空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均勻设有若干滚珠。上述一种硅片冲洗装置的连接机构，其中，所述连接座为管状构件，所述管状构件 的内周面上均勻设有若干横向凹槽，所述滚珠均勻嵌入相应的凹槽内，并与所述凹槽活动 连接。本专利技术可实现以下益效果1、由于本专利技术包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均勻设有 若干滚珠；盒体与封闭空腔连接时，盒体的外周面与封闭空腔通孔的内周面之间的配合为 滚动摩擦，摩擦力小，可避免封闭空腔由于长时间摩擦而损坏，从而，延长了冲洗装置的使 用时间，且使盒体与封闭空腔的连接更加方便，且本专利技术结构简单。2、由于所述连接座为管状构件，所述管状构件的内周面上均勻设有若干横向凹 槽，所述滚珠均勻嵌入相应的凹槽内，并与所述凹槽活动连接，可使滚珠的连接更加方便、 可靠。附图说明图1是本专利技术的结构示意图。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术作进一步说明。如图所示，为了解决上述技术问题，本专利技术一种硅片冲洗装置的连接机构，包括设 置在封闭空腔1上的通孔2，所述通孔2内周面上通过连接座3均勻设有若干滚珠4，盒体 与封闭空腔1连接时，盒体的外周面与封闭空腔通孔2内周面之间的配合为滚动摩擦，摩擦 力小，可避免封闭空腔1由于长时间摩擦而损坏，从而，延长了冲洗装置的使用时间，且使 盒体与封闭空腔1的连接更加方便，且本专利技术结构简单。连接座3不受限制，连接座3可以为均勻设置在通孔2内周面上的凹槽，也可为其 他构件；本专利技术为了使滚珠的安装更加方便，将连接座设计为管状构件，所述管状构件的内 周面上均勻设有若干横向凹槽31，所述滚珠4均勻嵌入相应的凹槽31内，并与所述凹槽31 活动连接，凹槽31为倒T形槽，由于所述连接座3为管状构件，所述管状构件的内周面上均 勻设有若干横向凹槽31，所述滚珠4均勻嵌入相应的凹槽31内，并与所述凹槽31活动连 接，可使滚珠4的安装更加方便、连接更加可靠。综上所述，本专利技术与现有技术相比，具有结构简单、结实耐用、成本低廉且连接可 靠的优点。这里本专利技术的描述和应用是说明性的，并非想将本专利技术的范围限制在上述实施例 中，因此，本专利技术不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本专利技术保护 的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
一种硅片冲洗装置的连接机构，其特征在于，包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠。2.如权利要求1所述一种硅片冲洗装...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂金根，
申请(专利权)人：镇江市港南电子有限公司，
类型：发明
国别省市：32