【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种晶棒平磨抛光机。
技术介绍
在晶棒的生产过程中,需要对晶棒的外表面进行平磨抛光,普遍采用的方法是手 持角向磨光机对晶棒进行手工打磨。这种方法对操作人员的技术水平要求非常高,且由于 人员素质参差不齐的原因,整体抛光效果不好,工艺稳定性差,同时,既费工费力,又生产效 率低。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供能替代手工作业,且抛光效果好的一种晶棒平磨抛光机。本专利技术采取的技术方案是一种晶棒平磨抛光机,包括机架、抛光轮、底座、左右轨 道、左右轨道轴承、左右传动杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架和晶 棒夹具;其中的抛光轮设置在机架上,机架固定在底座上,晶棒夹具设置在晶棒托架上;其 特征在于左右轨道设置在底座上,左右传动杆固定在底座或基座上,基座设置在左右轨道 轴承上,左右轨道轴承设置在左右轨道上,且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上 移动;晶棒托架固设在前后轨道轴承上,前后传动杆固定在晶棒托架上或是固定在基座上, 前后轨道轴承设置在前后轨道上,且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动。一种晶棒平磨抛光机,包括机架、抛光轮、底座、左右轨道、左右轨道轴承、左右传 动杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架和晶棒夹具;其中的抛光轮设 置在机架上,机架固定在底座上,晶棒夹具设置在晶棒托架上;其特征在于前后轨道设置在 底座上,前后传动杆固定在底座或基座上,基座设置在前后轨道轴承上,前后轨道轴承设置 在前后轨道上,且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动;晶棒托架固设在左右 轨道轴承上,左右传动杆固设在基座或 ...
【技术保护点】
一种晶棒平磨抛光机,包括机架、抛光轮、底座、左右轨道、左右轨道轴承、左右传动杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架和晶棒夹具;其中的抛光轮设置在机架上,机架固定在底座上,晶棒夹具设置在晶棒托架上;其特征在于左右轨道设置在底座上,左右传动杆固定在底座或基座上,基座设置在左右轨道轴承上,左右轨道轴承设置在左右轨道上,且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动;晶棒托架固设在前后轨道轴承上,前后传动杆固定在晶棒托架上或是固定在基座上,前后轨道轴承设置在前后轨道上,且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动。
【技术特征摘要】
1.一种晶棒平磨抛光机,包括机架、抛光轮、底座、左右轨道、左右轨道轴承、左右传动 杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架和晶棒夹具;其中的抛光轮设置 在机架上,机架固定在底座上,晶棒夹具设置在晶棒托架上;其特征在于左右轨道设置在底 座上,左右传动杆固定在底座或基座上,基座设置在左右轨道轴承上,左右轨道轴承设置在 左右轨道上,且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动;晶棒托架固设在前后轨 道轴承上,前后传动杆固定在晶棒托架上或是固定在基座上,前后轨道轴承设置在前后轨 道上,且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上...
【专利技术属性】
技术研发人员:王土军,徐增宏,余城伟,方明游,
申请(专利权)人:浙江硅宏电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:33[中国|浙江]
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