一种等离子体化学气相沉积法ＰＥＣＶＤ小车制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种等离子体化学气相沉积法ＰＥＣＶＤ小车，包括：车身、台面、台面旋转体，旋转轴、肋板、缓冲汽缸和限位顶柱，所述台面安装在所述台面旋转体上，所述台面旋转体通过所述旋转轴安装在所述肋板上，所述肋板安装在所述车身上，所述缓冲汽缸和限位顶柱安装在所述车身和所述台面旋转体之间，还包括，安装在所述肋板上的防倾倒保护装置，通过添加了防倾倒保护装置，这个装置在小车运输过程中能保证小车台面不会发生任何倾斜，但是在装卸电池片时又能使小车台面倾斜４５度角并且方便操作，有效保证了石墨舟和电池片的安全。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及机械
，更具体地说，涉及一种PECVD小车。
技术介绍
随着科学技术的发展和提高，以及不可再生资源的短缺，近几年太阳能引起了人 们的关注，并且得到了大力发展。 尤其是晶体硅太阳能电池片，目前很多厂家在生产此类产品。PECVD小车是在太阳 能电池制造的等离子体增强化学气相沉积(即PECVD)工序中最常用的工装器具，小车用来 装载石墨舟进行装卸电池片以及来回运输石墨舟于设备、卸片台和冷却柜之间，小车用来 装载石墨舟的台面被设计成可手动倾斜45度角，用来方便操作员装卸电池片，该设计是通 过四个汽缸缓冲和两个限位顶柱实现。 实际小车使用中，不可避免的会出现小车汽缸或限位顶柱松脱或者汽缸损坏失去 缓冲功能等情况出现，如果此时在运输过程中发生大的碰撞产生的惯性会使石墨舟倾倒， 摔碎石墨舟及石墨舟上的电池片。由于石墨舟和电池片价格都比较昂贵，所以由于石墨舟 倾倒导致的经济损失很高。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种PECVD小车，通过在PECVD小车上添加了防倾倒保 护装置，这个装置在小车运输过程中能保证小车台面不会发生任何倾斜，但是在装卸电池 片时又能使小车台面倾斜45度角，方便操作。 —种PECVD小车，包括车身、台面、台面旋转体，旋转轴、肋板、缓冲汽缸和限位顶 柱，所述台面安装在所述台面旋转体上，所述台面旋转体通过所述旋转轴安装在所述肋板 上，所述肋板安装在所述车身上，所述缓冲汽缸和限位顶柱安装在所述车身和所述台面旋 转体之间，优选的，还包括，安装在所述肋板上的防倾倒保护装置。 优选的，上述PECVD小车中，所述的防倾倒保护装置具体为固定挡块，固定安装 在所述肋板上； 可滑动挡块，设置有可容纳安装于所述肋板上的螺柱的滑槽，所述滑槽在所述可 滑动挡块处于水平状态时呈水平状态； 所述可滑动挡块在所述固定挡块作用下保持水平状态，并可在外力作用下沿着滑 槽滑动。 优选的，上述PECVD小车中，可滑动挡块，所述可滑动挡块上设置有使其上下滑动 并且可以锁死的U形槽，在所述可滑动挡块滑动至最高点时与台面旋转体接触，以保证所 述台面旋转体保持水平状态。 从上述的技术方案可以看出，本技术实施例通过在PECVD小车上添加了防倾 倒保护装置，这个装置在小车运输过程中能保证小车台面不会发生任何倾斜，但是在装卸 电池片时又能使小车台面倾斜45度角并且方便操作，有效保证了石墨舟和电池片的安全。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还 可以根据这些附图获得其他的附图。 图1为本技术实施例PECVD小车结构示意图； 图2为本技术实施例PECVD小车防倾倒装置装置结构示意图； 图3为本技术实施例PECVD小车防倾倒装置另一结构打开位置示意图； 图4为本技术实施例PECVD小车防倾倒装置另一结构锁定位置示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的 实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。 本技术实施例公开了一种PECVD小车，本技术实施例通过在PECVD小车 上添加了防倾倒保护装置，这个装置在小车运输过程中能保证小车台面不会发生任何倾 斜，但是在装卸电池片时又能使小车台面倾斜45度角并且方便操作，有效保证了石墨舟和 电池片的安全。 请参阅图1，图1为本技术实施例PECVD小车结构示意图，其中，1为台面，2为 台面旋转体，3为防倾倒保护装置，4为车身，5为肋板。 肋板5设置在车身4上，肋板5的数量为两个，台面旋转体2安装在肋板5上，台 面1安装在台面旋转体2上。 请参阅图2，图2为本技术实施例PECVD小车防倾倒装置装置结构示意图，其 中1为台面旋转体，2为可移动挡板，21为可滑动挡板的打开位置，22为可滑动挡板的锁定 位置，3为固定螺栓，4为固定挡板，5为旋转轴，6为缓冲汽缸，7为限位顶柱，8为肋板，9为 螺柱，10为滑槽。 台面旋转体1通过旋转轴5安装在肋板8上，固定挡板4通过固定螺栓3固定安 装在肋板8上，缓冲汽缸6和限位顶柱7安装在车身和台面旋转体1之间，通过缓冲汽缸6 的气压作用控制台面旋转体1的旋转，可滑动挡板2通过可滑动挡板上的滑槽10和固定在 肋板8上的螺柱9的配合，安装在肋板8上。所述螺柱9固定安装在肋板8上，螺柱9和可 移动挡板2上滑槽10的配合，所以可移动挡板2是可以沿着其上的滑槽10左右移动的。当 可移动挡板2移动到可移动挡板打开位置21时，台面旋转体1可以通过缓冲汽缸6将其倾 斜为45度，进行卸货；当可移动挡板2移动到可移动挡板锁定位置22时，台面旋转体1被 可移动挡板2固定住，尽管在缓冲汽缸6和限位顶柱7损坏的时候，台面旋转体1及其上的 台面也不会倾斜，不会摔碎台面上的石墨舟和电池片。 请参阅图3，图4，图3为本技术实施例PECVD小车防倾倒装置另一结构打开 位置示意图，图4为本技术实施例PECVD小车防倾倒装置另一结构锁定位置示意图； 其中1为可移动滑块，2为滑槽，3为螺柱，此外，未标号的部件和图2中的名称和 功能以及连接方式完全相同，在此不再赘述。 可移动滑块1上设置有滑槽2，所述滑槽2为U形滑槽，螺柱3固定在肋板上，滑 槽2和固定在肋板上的螺柱3配合，螺柱3固定不动，可移动滑块1沿着螺柱3和滑槽2的 配合位置上下移动。当滑槽2和螺柱3的配合位置为滑槽2的上边时(图3位置)，即可 移动滑块1移动到最下边，此时台面旋转体可以通过缓冲汽缸将其倾斜为45度，进行卸货； 当滑槽2和螺柱3的配合位置为滑槽2的下边时(图4位置)，即可移动滑块1移动到最上 边，此时台面旋转体被可移动挡板1固定住，尽管在缓冲汽缸和限位顶柱损坏的时候，台面 旋转体及其上的台面也不会倾斜，不会摔碎台面上的石墨舟和电池片。 由此可见，通过在普通的PECVD小车上添加了防倾倒装置以后，再不影响台面旋 转体旋转45度进行卸货的情况下，能够对台面旋转体进行固定，在缓冲汽缸和限位顶柱损 坏的时候，台面旋转体及其上的台面也不会倾斜，不会摔碎台面上的石墨舟和电池片。 本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他 实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。 对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新 型对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义 的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此， 本专利技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特 点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子体化学气相沉积法ＰＥＣＶＤ小车，包括：　　　　车身；　　　　安装在所述车身上的肋板；　　　　通过旋转轴安装在所述肋板上的台面旋转体；　　　　安装在所述台面旋转体上的台面；　　　　安装在所述车身和所述台面旋转体之间的缓冲汽缸和限位顶柱；　　　　其特征在于，还包括安装在所述肋板上的防倾倒保护装置。

【技术特征摘要】
一种等离子体化学气相沉积法PECVD小车，包括车身；安装在所述车身上的肋板；通过旋转轴安装在所述肋板上的台面旋转体；安装在所述台面旋转体上的台面；安装在所述车身和所述台面旋转体之间的缓冲汽缸和限位顶柱；其特征在于，还包括安装在所述肋板上的防倾倒保护装置。2. 根据权利要求1所述的一种PECVD小车，其特征在于，所述的防倾倒保护装置具体为固定挡块，固定安装在所述肋板上；可滑动挡块，设置有可容纳...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈光，陈海，严前程，
申请(专利权)人：江阴浚鑫科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]