【技术实现步骤摘要】
一种能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器
本技术涉及一种反应器，尤其涉及一种能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反 应器。
技术介绍
目前，国内外对四氯化硅的处理采用以下两种方式一是热氢化技术，公告号 CN101254921A提到了热氢化的方法，依靠电加热方式将SiC14转化为&HC13。该处理方 式电耗高；系统庞大，设备投资巨大，一套热氢化系统包括物料控制混合器、汽化器、 氢化炉、变压器、电控柜、尾气冷凝器等总投资高达上千万；操作成本高，加热体需在 高温、有腐蚀性气体存在的环境下工作，在很短的时间内就会被烧坏，而一套加热体售 价都在30万人民币以上。热氢化工艺SiCI4的一次转化率仅在15%，因此现有该方法不 经济实用。二是氯氢化技术，在1.0-3.0MI^a的高压下，将四氯化硅汽体、氯化氢气体、 氢气和硅粉通入流化床反应器，在400-600°C的温度下反应将SiCI4转化为SiHC13。公开 号CN 101143723A提到了氯氢化的方法。相比高温氢化法，低温氢化具有能耗低，转换 效提高到20%。但是低温氢化所需要的高压条件对生产设备的要求较高。同时在3.0MPa 的高压条件下给固体物料的输送带来巨大的困难
技术实现思路
本技术的目的在于，针对上述问题，提出一种制备三氯氢硅的反应器，以 实现有效减少尾气回收系统负担的同时节能降耗节约成本。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是反应器包括反应器外壁、内 壁、夹在外壁和内壁之间的夹套、至少一层固定在反应器内壁的筛板、反应器底部的还 原尾气进口、反应器顶部的还原尾气出口、夹套底部的导热油进口、夹套顶部的导热...
【技术保护点】
一种能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于：所述的反应器包括反应器外壁（１３）、内壁（１４）、夹在外壁和内壁之间的夹套（６）、至少一层固定在反应器内壁的筛板（４）、反应器底部的还原尾气进口（１）、反应器顶部的还原尾气出口（８）、夹套（６）底部的导热油进口（３）、夹套（６）顶部的导热油出口（１２）、设置在反应器中部和上部的温度测量计（１１）、设置在反应器底部的氮气进口（１０）和氯化氢气体进口（９）。
【技术特征摘要】
1.一种能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于所述的反应器包括反 应器外壁(13)、内壁(14)、夹在外壁和内壁之间的夹套(6)、至少一层固定在反应器内 壁的筛板(4)、反应器底部的还原尾气进口(1)、反应器顶部的还原尾气出口(8)、夹套 (6)底部的导热油进口(3)、夹套(6)顶部的导热油出口(12)、设置在反应器中部和上部 的温度测量计(11)、设置在反应器底部的氮气进口(10)和氯化氢气体进口(9)。2.根据权利要求1所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于所 述的反应器上部为圆筒形，下部为锥形。3.根据权利要求2所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于所 述的反应器的内径为Φ500-1500ιηιη，高度1000-4000mm。4.根据权利要求1、2或3所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在 于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨连勇，郭增昌，李向丹，李菊，田明，
申请(专利权)人：特变电工新疆硅业有限公司，
类型：实用新型
国别省市：65[中国|新疆]
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