【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光切割
,具体的说是一种高功率固体激光器谐振腔 腔镜冷却装置,适用于激光功率400瓦以上Nd:YAG激光器谐振腔腔镜的冷却。
技术介绍
无论是灯泵浦还是半导体激光泵浦的Nd:YAG激光器,当激光器输出功率达到 400瓦以上时,激光器的谐振腔的腔镜由于镜面中心的光功率密度高,而又因为光学镜片 都为热导率低的光学玻璃或石英玻璃,因此光学镜片中心和边缘会形成温度差,中心光 强产生的温度会达到200°C以上,严重的热效应会导致规则的镜面严重变形,甚至会导致 镜片的炸裂和镜片的光学膜层烧坏,致使激光器不能正常工作。高功率固体激光器长期以来在激光加工中特别是在激光切割加工中难于使用和 大规模推广应用,主要是由于固体激光器的热效应导致激光束的光束质量下降,影响激 光切割对光束质量的严格要求,固体激光束发散角大,光束模式为多阶膜,聚焦光点直 径比CO2激光大,导致切缝比CO2激光切缝宽,热效应导致的光束光点漂移影响切割定 位精度。但由于固体激光器调试安装方便,又易于获得高功率输出,所以只要着力改善 Nd:YAG固体激光器的光束质量,YAG激光用于切割是可行的,特别是用YAG激光切割 金属,如不锈钢板相比于CO2激光具有优势,因为YAG激光比CO2激光更好被金属材料 吸收,致力于改善Nd:YAG激光器的冷却散热方式,利用谐振腔的设计补偿激光器的热 变形,使激光器在运行中对热产生的畸变减到最小和设计热不灵敏谐振腔是改善高功率 YAG激光器光束质量和光束功率稳定性的重要手段。
技术实现思路
本技术的目的就是为了克服上述现有技术的不足之处,而提供一种高功率 固体激 ...
【技术保护点】
一种高功率固体激光器谐振腔腔镜冷却装置,包括谐振腔、设置于谐振腔内的反射镜,反射镜固定于镜座中部,其特征是:所述镜座上设有气冷通道和水冷通道。
【技术特征摘要】
1.一种高功率固体激光器谐振腔腔镜冷却装置,包括谐振腔、设置于谐振腔内的反 射镜,反射镜固定于镜座中部,其特征是所述镜座上设有气冷通道和水冷通道。2.根据权利要求1所述的高功率固体激光器谐振腔腔镜冷却装置,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:周少华,齐飞,丁维书,许强,
申请(专利权)人:武汉嘉铭激光有限公司,
类型:实用新型
国别省市:83[中国|武汉]
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