具有探针棒更换单元的阵列测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种具有用于自动更换探针棒的探针棒更换单元的阵列测试装置。阵列测试装置包括探针棒、探针框架和探针棒更换单元。探针棒向基板施加电压。探针框架与探针棒联接。探针棒更换单元将探针棒与探针框架联接或将探针棒从探针框架分离。由此，当基板的图案或加载方向变化时，可以自动从探针框架更换探针棒。因此，可以极大地降低人工更换探针棒所需的人力和时间。

【技术实现步骤摘要】

以下的描述涉及显示器测试系统，更具体而言，涉及测试显示基板上所形成的电 极的电缺陷的阵列测试装置。
技术介绍
显示面板包括诸如液晶显示器(IXD)、等离子体显示面板(PDP)、有机发光二极管 (OLED)等的平板显示设备。典型的薄膜晶体管(TFT)LCD中的每个包括TFT基板、置于TFT 基板对面并具有彩色滤光片和共用电极的彩色基板、介于TFT基板与彩色基板之间的液 晶、和背光单元。这里，由阵列测试装置来测试TFT基板上所形成的TFT电极的任何缺陷。图1是现有的阵列测试装置的立体图。现在将结合图1来描述阵列测试过程。具 有恒定电平的电压施加于TFT电极和安装于阵列测试装置400的调制器420。将调制器420 设计为接近TFT基板490，使得在它们之间产生电场。此时，与TFT基板490上所形成的TFT 电极没有缺陷时相比，当TFT基板490上所形成的TFT电极有缺陷时，电场变弱。在此情况中，透过调制器420的光量根据电场的强度而变化。摄像单元460检测 从光源430发出并随后透过调制器420的光量，从而可以确定TFT基板490是否有缺陷。另外，现有的阵列测试装置400包括探测组件410。探测组件410通过向TFT基 板490上所形成的电极施加电压，来提供用于执行多种功能性测试的驱动信号。为此，探测 组件410包括探针框架412以及与探针框架412联接的探针棒411。探针棒411包括可与 TFT基板490的任何电极接触的探针引脚。在现有的阵列测试装置中，当待测基板的图案有所变化时，必须更换探针棒，以便 与基板的图案相对应。此外，必须根据基板加载方向沿横向(0° )和/或纵向(90° )调 整探针棒的定位角。例如，根据探针引脚的数量，探针棒可以划分为M引脚型、16引脚型等等。探针棒 可以采用选自M引脚横向型、24引脚纵向型、16引脚横向型和16引脚纵向型中合适的一 种，以便与基板的变化的图案以及基板加载方向相对应。但是，由于探针棒是手动更换的，因此现有的阵列测试装置面临更换时间长、更换 工作困难和人力耗费大的问题。
技术实现思路
以下描述涉及一种能够自动更换探针棒的阵列测试装置。根据本专利技术的示例性方面，提供一种阵列测试装置，包括探针棒，所述探针棒配置为向基板施加电压；探针框架，所述探针框架配置为将探针棒与其联接；和探针棒更换 单元，所述探针棒更换单元配置为将探针棒与探针框架联接或将探针棒从探针框架分离。这里，探针棒更换单元可以包括联接器，所述联接器配置为与探针棒联接或分 离；和驱动器，所述驱动器相对于探针框架沿一个方向移动联接器。在此情况中，驱动器可以配置为沿X轴、Y轴和Z轴方向移动联接器。另外，阵列测试装置还可以包括探针棒储备单元，所述探针棒储备单元配置为储 存从探针框架分离的探针棒或待与探针框架联接的探针棒。这里，探针棒储备单元可以位于探针框架附近，并且探针棒更换单元可以在探针 棒储备单元与探针框架之间移动。由以下结合附图的本专利技术示例性实施例的具体描述，本领域技术人员可以更加明 了本专利技术的其它特点。附图说明包含于此以帮助进一步理解本专利技术并且结合进说明书并构成说明书一部分的附 图说明本专利技术的实施例，并且与说明书一起解释本专利技术的原理。图1是现有的阵列测试装置的立体图；图2是根据本专利技术示例性实施例的阵列测试装置的立体图；图3是根据本专利技术示例性实施例的探针棒更换单元的放大立体图；以及图4是根据本专利技术示例性实施例的探测组件和探针棒更换单元的侧视图。在附图和详细的说明中，除非另有说明，否则相同的附图标记将被理解成是指代 相同的元件、特征和结构。这些元件的相对尺寸和描绘为了清晰、图示和简便的目的而会有 所放大。具体实施例方式提供以下的具体描述是为了帮助读者获得对此文所述的方法、装置和/或系统的 深入理解。因此，此文所述的方法、装置和/或系统的各种变化、修改及等效形式将对本领 域的技术人员有所启示。此外，为了增加清晰度和简洁度而省略了对公知功能和构造的描 述。图2是根据本专利技术示例性实施例的阵列测试装置的立体图。图3是根据本专利技术示 例性实施例的探针棒更换单元的放大立体图。图4是根据本专利技术示例性实施例的探测组件 和探针棒更换单元的侧视图。如图2至图4所示，阵列测试装置100包括加载单元70、卸载单元80、至少一个调 制器20、至少一个检测器60、光源30、探测组件300和探针棒更换单元200。加载单元70将待测基板90加载到阵列测试装置100中。由加载单元70加载的 基板90被输送至进行测试之处的光源30的上部。加载单元70可以包括加载板和多个吹 气孔71。例如可以通过从吹气孔71朝基板90的底部排出高压气、使基板90从加载板悬 浮、并利用夹持装置95输送基板90，从而输送基板90。卸载单元80将已测试的基板90输送到阵列测试装置100的外部。卸载单元80 可以包括卸载板和多个吹气孔81。如同在加载单元70中，例如可以通过从吹气孔81朝基板90的底部排出高压气、使基板90从卸载板悬浮、并利用夹持装置输送基板90，从而输送 基板90。特别地，调制器20位于基板90上方，以便非常接近基板90的顶部。调制器20可 以包括电极层和电光材料层。调制器的电极层与基板90的电极层相互作用而产生电场，并 且调制器的电极层可以由铟锡氧化物(ITO)或碳纳米管(CNT)制成。此外，调制器的电光 材料层根据电场的强度来改变透光量，并且调制器的电光材料层可以由液晶(LC)、无机电 致发光(EL)材料或聚合物分散液晶(PDLC)制成。作为一个例子，当向基板90的电极层和调制器20的电极层施加电压时，调制器20 根据基板90是否有缺陷而在特定物理特性值上有所变化。具体而言，当待测基板90的电 极层正常时，在调制器20中产生电场，并且分子借助于电场而沿预定的方向取向，使得光 能够透过调制器20。与此相反，当基板90的电极层有缺陷时，在调制器20中不产生电场， 由此不会改变分子取向，使得没有光透过调制器。同时，阵列测试装置100可以包括光学卡盘。光学卡盘位于待测基板90下方，并 将基板90放置在位。光学卡盘由诸如透光玻璃的透明材料制成。光学卡盘可以包括吸附 并抬升基板90的多个吹气孔。检测器60位于调制器20上。检测器60测量调制器20的所改变的特定物理特性 值，由此来检测基板90的电极层是否有缺陷。作为一个例子，检测器60可以根据基板90 的电极层是否正常来测量透光量、利用信号处理器来分析所测量的数据、并检测基板90是 否有缺陷。光源30相对于基板90与调制器20相对。光源30朝调制器20发光。从光源30 发出的光顺序地透过光学卡盘、基板90和调制器20，并到达检测器60。从光源30发出的 光可以是从氙灯、钠灯、石英卤素灯和激光发出的光的各种类型中的一种。探测组件300包括探针棒310和探针框架320。每个探针棒310包括探针引脚312。每个探针引脚312将电压施加至基板90的电 极。而且，探针框架320与探针棒310联接。探针框架320包括线性马达321。线性马达321沿X轴方向延伸，并固定至探针框 架320。X轴滑动构件311与线性马达321连接，并且X轴滑动构件311可以相对于探针框 架320沿X轴方向滑动。而且，X轴滑动构件311与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列测试装置，包括：探针棒，所述探针棒配置为向基板施加电压；探针框架，所述探针框架配置为将所述探针棒与其联接；和探针棒更换单元，所述探针棒更换单元配置为将所述探针棒与所述探针框架联接或将所述探针棒从所述探针框架分离。

【技术特征摘要】
KR 2009-11-20 10-2009-01127731.一种阵列测试装置，包括探针棒，所述探针棒配置为向基板施加电压；探针框架，所述探针框架配置为将所述探针棒与其联接；和探针棒更换单元，所述探针棒更换单元配置为将所述探针棒与所述探针框架联接或将 所述探针棒从所述探针框架分离。2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述探针棒更换单元包括 联接器，所述联接器配置为与所述探针棒联接或分离；和驱动器...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴廷喜，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR