提供了一种检测形成在显示器基板上的电极中的缺陷的阵列测试装置。探针组件包括探针棒和探针框架。探针棒包括探针引脚，用于将电压施加到形成在所述显示器基板上的电极上。探针框架联接到探针棒，使得探针棒能够相对所述基板在一个方向上移动，所述探针框架与所述清洁单元连接。因此，利用清洁单元，可以去除可能在阵列测试过程中传送基板或者操作探针组件期间额外产生的异物，因而可以提高测试可靠性。
【技术实现步骤摘要】
下面的描述涉及检测显示器的装置，具体而言涉及检测形成在显示器基板上的电 极的电气缺陷的阵列测试装置。
技术介绍
近来，显示器面板已经变得越来越细长，当前的平板显示器包括诸如液晶显示器、 等离子体显示面板(PDP)、以及有机发光二极管(OLED)等类型。一般的薄膜晶体管(TFT) LCD包括TFT基板、其上形成有彩色滤光片和公共电极并且设置为面对TFT基板的彩色基 板、设置在TFT基板和彩色基板之间的液晶、和背 光单元。利用阵列测试器测试形成在TFT基板上的TFT电极的缺陷。具体而言，将预定电压施加到TFT电极和包括在阵列测试器中的调制器上，调制 器靠近TFT基板设置，使得在调制器和TFT基板之间产生电场。此时，当在TFT基板上的 TFT电极中存在缺陷时的电场大小小于当不存在缺陷时的电场大小。因此，可以根据测量的 电场大小来确定TFT基板中的缺陷的存在性。常规的阵列测试器包括探针组件。探针组件将电压施加到形成在基板上的电极 上。必须给基板电极提供驱动信号以执行某些功能测试。探针组件包括将驱动电压施加到 基板上的电子装置和用于将电子装置相对基板放置或者布置的机械装置。然而，常规的阵列基板存在这样的问题在传送或者测试基板的过程中，异物可以 被引附到基板的表面。也就是，尽管待加载到阵列测试器的基板是干净的，也存在额外的异 物被引入到阵列测试器中的可能。这种异物可降低任何测试的可靠性和精确性。
技术实现思路
根据本专利技术的一个方面，提供了一种阵列测试装置，包括配置用于将电压施加到 形成在基板上的电极上以测试所述电极中的缺陷的探针组件，并且包括位于探针组件一侧 上的清洁器。所述探针组件包括探针棒，其包括用于将电压施加到形成在所述基板上的电极 上的探针引脚；探针框架，联接到探针棒，使得探针棒能够相对所述基板在一个方向上移 动，所述探针框架与所述清洁器连接。提供有多个可拆卸的清洁器。清洁器还可以在探针框架的长度方向上操作。清洁器可包括将异物从所述基板脱除的脱落单元。此外，所述清洁器包括用于吸收来自所述基板的表面的或者周围空气中的异物的吸引单元。在这种情况下，所述吸引单元包括垂直所述基板并向所述基板延伸的多个引脚。所述清洁器包括产生超声波的超声头部。在这种情况下，所述清洁器包括被定位 以相距所述超声头部的外围形成预定间隙使得空气可以通过该间隙的盖。所述清洁器包括磁性单元，用于将金属异物从所述基板的表面或者从周围空气中 去除。因此，为探针组件提供的清洁单元有效地去除在测试过程额外产生的异物，而不 需要安装附加的清洁单元驱动部件。本领域技术人员从以下结合附图公开了本专利技术示例性实施方案的详细描述将明 了其他特征。附图说明图1是示例的阵列测试装置的透视图。图2是包括清洁器的阵列测试装置的侧视图。图3是说明当由于异物附着在基板上导致错误发生时的图形。图4是示例脱落单元的一部分的截面图。图5是示例清洁器的一部分的截面图。图6是图5的示例修改的清洁器的一部分的截面图。图7是图5的清洁器的另一个示例修改的清洁器的一部分的截面图。图8是图5的清洁器的另一个示例修改的清洁器的一部分的截面图。图9是具有引脚的示例清洁器的一部分的截面图。图10是示例超声头部的一部分的截面图。图11是包括盖的示例清洁器的一部分的截面图。图12是图10的清洁器的示例修改的清洁器的一部分的截面图。图13是图11的清洁器的示例修改的清洁器的一部分的截面图。图14是具有磁性单元的示例清洁器的截面图。在附图和详细说明中，使用相同的附图标记代表部件、特征和结构，为了清楚以及 方便起见，对一些部件的大小和比例进行放大。具体实施例方式下面的详细描述用于帮助读者获得对在此介绍的方法、装置和/或系统的全面理 解。对于在此介绍的系统、装置和/或方法的各种变化、修改和等价替换对于本领域普通技 术人员而言是显而易见的。为了简洁，略去对公知的功能和结构的描述。阵列测试装置包括探针组件。探针组件将电压施加到形成在基板上的电极上以对 形成在基板上的电极阵列进行测试。具体而言，探针组件包括清洁单元。为探针组件配备的清洁单元将异物从基板移 除。因此，可以有效地去除可能在传送基板或者驱动探针组件期间产生的精细异物。下文中，将参考附图介绍包括清洁单元的阵列测试装置的技术结构。图1是示例阵列测试装置100的透视图，图2是包括清洁单元的示例测试装置100 的侧视图。如图1和2所示，阵列测试装置100包括加载单元70，卸载单元80，调制器20，检 测单元60，光源30，和探针组件300。加载单元70加载待在阵列测试装置100中测试的基板90。由加载单元70加载的 基板90移动到位于光源30上方的进行测试的区域。每一个加载单元70可包括加载板和 多个空气孔71。当基板90在加载板上方浮动时，通过将高压空气从空气孔71喷到基板90 的底部上，由夹紧单元95传送基板。卸载单元80将已经完成测试的基板90卸载出来。每一个卸载单元80可包括卸 载板和多个空气孔81。与加载单元70的操作一样，当基板90在卸载板上方浮动时，通过将 高压空气从空气孔81喷到基板90的底部上，由夹紧单元(未示出)传送基板90。调制器20设置在基板90的顶表面上方并且非常靠近基板90的顶表面。每一个 调制器20可包括电极层和光电层。每一个调制器20的电极层在它自身和基板的电极层之 间形成电场，并且可以由氧化铟锡(ΙΤ0)、纳米碳管(CNT)等组成。此外，每一个调制器20 的光电层根据电场大小改变穿过其中的光量，并且可以由液晶、无机电致发光、聚合物分散 液晶等组成。例如，当电压施加到基板90的电极层和每一个调制器20的电极层上时，调制器20 的特定属性根据基板中缺陷的存在而改变。即，当形成在待测试的基板90上的电极层没有 缺陷时，在每一个调制器20中形成电场，调制器20的分子在特定方向上排列，从而使光通 过调制器20。相反，当形成在基板90上的电极层有缺陷时，在调制器20中不形成电场，因 此调制器20的分子排列不改变，光也就不通过调制器。阵列测试装置100还可包括光纤卡盘(optic chuck)(未示出)。光纤卡盘设置 在待测试的基板90下面，基板90位于光纤卡盘上。光纤卡盘由诸如玻璃的透明材料组成。 光纤卡盘可包括多个空气孔以使基板90通过吸附浮动或者保持在某一个地方。每一个检测单元60设置在每一个调制器20的上侧面。检测单元60测量调制器 的特定属性的变化以检测基板90的电极层中是否存在缺陷。例如，检测单元60可以测量 根据形成在基板90上的电极层的状态穿过电极层的光量，并且使用信号处理单元确定测 量数据以检测基板90中是否存在缺陷。光源30相对调制器20放置，它们之间插入有基板90。光源30向调制器20发射 出光。从光源30发射出的光顺序通过光纤卡盘、基板90和调制器，并且到达检测单元60。 光源30的实例可包括各种类型的光源，诸如氙气光源、钠光源、水晶卤素灯和激光。每一个探针组件300包括探针棒310和探针框架320。探针棒310包括探针引脚312。每一个探针引脚312将电压施加到基板90的电极 上。此外，探针框架320连接到探针棒310，相对于基板90在一个方向上驱动探针棒310。具体而言，探针框架320包括线性马达32本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种阵列测试装置，包括：探针组件，配置为将电压施加到形成在基板上的电极以测试所述电极中的缺陷，并且包括位于探针组件一侧上的清洁单元。
【技术特征摘要】
KR 2009-8-3 10-2009-0071427一种阵列测试装置，包括探针组件，配置为将电压施加到形成在基板上的电极以测试所述电极中的缺陷，并且包括位于探针组件一侧上的清洁单元。2.如权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述探针组件包括探针棒，包括用于将 电压施加到形成在所述基板上的电极的探针引脚；探针框架，联接到所述探针棒，使得探针 棒能够相对所述基板在一个方向上移动，所述探针框架与所述清洁单元连接。3.如权利要求1和2之一所述的阵列测试装置，其中，设置有多个可拆卸的清洁单元。4.如权利要求2所述的阵列测试装置，其中，所述清洁单元在所述探针框架的长度方 向上操作。5.如权利要求1和2之...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴廷喜，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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