本实用新型专利技术提供一种晶圆清洗设备的滚轮装置，包括一个转轴单元及多个彼此间隔地安装在该转轴单元外围的滚轮单元。该转轴单元包括一支呈长杆状的芯棒及一个包覆结合在芯棒外围的轴套。每一滚轮单元包括一个套置在该轴套外围的轮体。通过在上述轴套内埋藏有芯棒，可强化转轴单元的刚性及笔直度，避免发生弯挠的情况，所以能提升输送制程的准确性及精密度。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种晶圆清洗设备，特别涉及一种晶圆清洗设备的滚轮装置。
技术介绍
参阅图1与图2，一种以往晶圆清洗设备的滚轮装置1，包括一个长向延伸且可被 带动而旋转的轴杆11、多个彼此间隔地安装在该轴杆11外围的滚轮单元12及多支分别将 滚轮单元12固定在轴杆11上的插销13。每一滚轮单元12包括一个套置在该轴杆11外围 的轮体121及二个分别嵌置在轮体121外围的0型环122。每一支插销13都紧配合地穿 插伸入轮体121与轴杆ll，借以将轮体121与轴杆11固定在一起。使用时，将上述滚轮装 置架设在容装有清洗液的晶圆清洗设备中，让多片晶圆(图未示)由滚轮单元12上输送通 过，同时能一并清洗所述晶圆。 为了避免上述滚轮装置与清洗液发生化学变化，所以轴杆11及轮体121都采用塑 胶材料制成，但是由于该轴杆11的长度较长，所以其刚性较差，使用时，轴杆11除了需要承 受滚轮单元12的重量以外，还须承受晶圆的重量，所以容易发生中央逐渐往下弯挠的变形 情况，无法平稳地输送晶圆，因而造成输送制程时的准确性及精密度不佳。上述固定用的插 销13为一支细长圆杆，紧配合地插入轮体121及轴杆ll，于插伸时容易发生断裂或阻塞卡 死的情况，组装上相当麻烦不便。因此上述滚轮装置1的设计仍有待改善。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种强度佳且不易弯挠变形，而能提升准确性及精密度 的晶圆清洗设备的滚轮装置。 本技术所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，安装在一晶圆清洗设备中，并包括 一转轴单元及多个彼此间隔地安装在该转轴单元外围的滚轮单元。该转轴单元包括一呈长 杆状的芯棒及一包覆结合在该芯棒外围的轴套。每一滚轮单元包括一套置在该轴套外围的 轮体。 本技术所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，该滚轮装置还包括多个分别将所述 滚轮单元固定在该转轴单元上的锁接单元。 本技术所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，每一个锁接单元包括至少一支将该 轮体与该轴套螺接固定在一起的锁接件。 本技术所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，该转轴单元的轴套具有多个对应于 该轮体且彼此间隔设置的螺接部，每一螺接部具有二个相对设置的螺孔，每一滚轮单元的 轮体具有二个分别连通所述螺孔的穿孔，每一锁接单元包括二支分别将该轮体与该轴套锁 接在一起的锁接件，每一锁接件都是一支螺入所述穿孔与分别对应所述穿孔的螺孔内的螺 丝。 本技术所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，该转轴单元的轴套具有二个相对位 于该芯棒的两相反端的端壁及一个轴向套置在该芯棒周围且连接所述端壁的管壁。 本技术所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，该转轴单元的轴套具有二个相对位于该芯棒的两相反端的端壁及多个彼此相邻串接地轴向套置在该芯棒周围且连接所述端壁的管壁。 本技术所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，该转轴单元的轴套具有二个相对位于该芯棒的两相反端的端壁及二个分别由所述端壁的周缘同体往另一端壁轴向延伸且轴向套置在该芯棒周围的围绕壁，所述围绕壁彼此相邻连接。 本技术所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，该转轴单元的轴套具有二个相对位于该芯棒的两相反端的端壁、二个分别由所述端壁的周缘同体往另一端壁轴向延伸且轴向套置在该芯棒周围的围绕壁及至少一个连接所述围绕壁且轴向套置在该芯棒周围的管壁。 本技术所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，每一个滚轮单元的轮体具有二个左右间隔且分别形成在该轮体的外周面上的环槽，每一个滚轮单元还包括二个分别嵌置在该轮体的环槽内的0型环。 本技术的有益效果在于通过在上述轴套内埋藏一支芯棒，借其内外双层设计，可强化转轴单元的刚性及笔直度，避免发生弯挠的情况，所以能提升输送制程的准确性及精密度。附图说明图图图分解图；图图图；图图；图图。-第一较佳实施例的一部分立体-第二较佳实施例的一剖视示意-第三较佳实施例的一剖视示意-第四较佳实施例的一剖视示意具体实施方式以下结合附图及实施例对本技术进行详细说明。 为了方便说明，以下的实施例，相同的元件以相同的标号表示。 参阅图3与图4，本技术滚轮装置的第一较佳实施例，安装在一个晶圆清洗设备中，并包括一个可被带动而绕着自身轴线旋转的转轴单元2、多个彼此间隔地安装在该转轴单元2外围的滚轮单元3及多个分别将滚轮单元3固定在转轴单元2上的锁接单元4。 该转轴单元2包括一支呈长杆状且由非金属材料制成的芯棒21及一个包覆结合在芯棒21外围且由塑胶材料制成的轴套22。本实施例的芯棒21为石墨或碳纤维材料制成，当然也可以选用其他坚硬的非金属材料，不以本实施例为限。该轴套22具有二个相对位于芯棒21的两相反端的端壁221、一个轴向套置在该芯棒21周围且连接所述端壁221的管壁222及多个对应于滚轮单元3且彼此间隔设置的螺接部223。本实施例的端壁221与管壁222间为熔接接合，当然也可以利用焊接接合、相对螺接接合、卡接接合或紧配接合，其接合方式不限于本实施例。而每一螺接部223具有二个相对位于同一直线上且分别由一外周面径向往内凹陷的螺孔224，当然所述螺孔224也可以分别由外周面径向往内直接连通至一内周面，而且螺孔224的数量也不受限于本实施例。本实施例的轴套22由聚氯乙烯一体制成，当然也可以选用聚四氟乙烯或聚偏二氟乙烯等塑胶材料，不以本实施例为限。 每一滚轮单元3包括一个套置在该轴套22外围且对应于设有螺接部223处的轮体31及二个分别嵌置在轮体31外围的0型环32。该轮体31具有二个左右间隔且分别形成在外周面上以供0型环32嵌置的环槽311及二个分别连通螺孔224的穿孔312。本实施例的轮体31由塑胶材料制成，0型环32由橡胶材料制成。 每一锁接单元4包括二支分别将轮体31与轴套22锁接在一起的锁接件41，每一锁接件41都是一支螺入穿孔312与螺孔224内的螺丝，而且本实施例的穿孔312为长槽孔，于使用时可提供轮体31相对移动裕度。锁接件41的数量与螺孔224、穿孔312的数量相对应，当然设计上也可设置一组、三组或三组以上，所以其数量不以本实施例为限，此外，本实施例的锁接件41由塑胶材料制成，当然也可以由其他材料制成。 使用时，将上述滚轮装置架设在容装有清洗液的晶圆清洗设备中，让多片晶圆(图未示)分别由滚轮单元3外凸的0型环32上被输送通过，用以清洗所述晶圆。由于转轴单元2在中央轴心处埋藏有轴向延伸的芯棒21，通过该芯棒21坚硬且呈长杆状的设计，可增加转轴单元2的强度及笔直度，避免发生中央往下弯挠变形的情况，所以能平稳地输送晶圆，借以提升输送制程的准确性及精密度。此外，锁接单元4通过二支锁接件41来螺锁固定轮体31与轴套22，不但长度较短且其采用螺接的方式来结合，所以不会发生断裂或阻塞的情况，组装上较为简单容易。 参阅图5，本技术晶圆清洗设备的滚轮装置的第二较佳实施例，本实施例的构造与第一实施例大致相同，该转轴单元2的轴套22具有二个相对位于芯棒21的两相反端的端壁221，不同的部分在于该转轴单元2的轴套22具有二个彼此相邻串接地轴向套置在该芯棒21周围且连接所述端壁221的管壁222。也就是将第一实施例的管壁222分段设置，而后再连接在一起，所以可利于管壁222的制造，设计上也可以再增加管壁222的数量，当然管壁222间的结合可以采用各种可行的组接手段本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种晶圆清洗设备的滚轮装置，包括：一个转轴单元及多个彼此间隔地安装在该转轴单元外围的滚轮单元；其特征在于，该转轴单元包括一支呈长杆状的芯棒及一个包覆结合在该芯棒外围的轴套，每一个滚轮单元包括一个套置在该轴套外围的轮体。
【技术特征摘要】
一种晶圆清洗设备的滚轮装置，包括一个转轴单元及多个彼此间隔地安装在该转轴单元外围的滚轮单元；其特征在于，该转轴单元包括一支呈长杆状的芯棒及一个包覆结合在该芯棒外围的轴套，每一个滚轮单元包括一个套置在该轴套外围的轮体。2. 根据权利要求1所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，其特征在于，该滚轮装置还包括多个分别将所述滚轮单元固定在该转轴单元上的锁接单元。3. 根据权利要求2所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，其特征在于，每一个锁接单元包括至少一支将该轮体与该轴套螺接固定在一起的锁接件。4. 根据权利要求3所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，其特征在于，该转轴单元的轴套具有多个对应于该轮体且彼此间隔设置的螺接部，每一螺接部具有二个相对设置的螺孔，每一滚轮单元的轮体具有二个分别连通所述螺孔的穿孔，每一锁接单元包括二支分别将该轮体与该轴套锁接在一起的锁接件，每一锁接件都是一支螺入所述穿孔与分别对应所述穿孔的螺孔内的螺丝。5. 根据权利要求1所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，其特征在于，该转轴单元的轴套具有二个相对位于该芯...
【专利技术属性】
技术研发人员：林志菁，
申请(专利权)人：林志菁，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]
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