扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台制造技术

一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，包括试样放置用可转动插入式圆台及可插入圆台插孔的插座式样品台，所述样品台朝向电子背散射衍射方向的台面为一可插入试样的凹槽，试样平面平行于台面，样品台朝向电子背散射衍射方向的台面与水平面成夹角θ＝６５－７５°。本实用新型专利技术可分别用于测试试样表面及截面ＥＢＳＤ时试样的精确定位。测试时，试样待测表面与水平面成夹角θ＝６５－７５°，角度偏差控制在０．５°以内，待测试样表面沿轧制方向竖直向上，角度偏差控制在０．３°以内；对试样截面ＥＢＳＤ测试进行精确定位时，保证试样待测表面与水平面成夹角θ＝６５－７５°，其角度偏差可控制在０．５°以内，并可保证试样截面沿长度方向竖直向上，角度偏差控制在０．３°以内。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶体结构微区取向表征用装置领域，特别是，本技术涉 及一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，所述扫描电镜电子背散射衍射试样用样品 台用于在材料电子背散射衍射(EBSD)测试中，针对试样轧制方向难以精确定位、上下表面 不平行时待测试样放置角度难以控制等问题，提供可对待测试样进行精确定位的样品台， 由此提高试验精确度。
技术介绍
在扫描电镜上配置电子背散射衍射装置，就可以对试样进行微区织构和取向差分 析；晶粒尺寸及形状分布分析；晶界、亚晶及孪晶界性质分析；应变和再结晶的分析；相鉴 定及相比例计算等操作。要获取准确可靠的试验数据，就必须要对放置试样进行精确定位， 尽量减少试样放置时引起的误差。目前国内外使用的材料电子背散射衍射(EBSD) 试样的样品台如下图3所示，首先 是将一圆柱体斜切一刀，获得一斜切面。然后，使这个斜切面与水平面成一夹角θ，一般θ 定为70°。在进行EBSD试验时，首先将标准样品紧贴在斜面样品台上，与水平面成一夹角 θ，同时，还要求标准样品某一方向竖直向上，据此对仪器进行校准。其次，将待测试样贴在 斜面样品台上，要求其表面倾斜角度及轧制方向与标准样品放置方式完全一致。直接用这 个样品台对试样进行精确定位。然而，要达到上述要求，仍是非常困难。因为，在如上所述对试样表面做EBSD测试时，是直接将试样贴在样品台上，这对 于上下表面相互平行的试样，可保证试样表面与水平面成一固定角度θ，满足试验要求。然 而，在遇到待测样品上下表面不平行时，如果直接将样品贴到样品台上，则所述待测样品表 面与水平面的夹角不是θ，引起的角度偏差会有好几度，由此，必然会对取向测试带来较大 的误差。另外，将试样放置在样品台上时，通常，试验人员是简单地采用目测的方法来观测 和调整试样的轧制方向，使试样的轧制方向竖直向上。此时，仍旧会存在多少的偏差，严重 时其轧制方向与竖直向上方向偏差可达4 10°，甚至更大。这样，试验精确度难以得到保 证。再有，若是对试样截面做EBSD测试的场合，也有类似问题。即，如果直接将制备好 的试样截面贴在样品台上，也会存在因试样上下截面不平行，从而导致试样截面与水平面 的夹角不是θ =70°，引起的角度偏差也会有好几度。同时用目测的方法来观测和调整试 样截面的长度方向(一般为轧制方向)，使其竖直向上，也会存在很大的偏差，偏差可达4 10°，甚至更大。这样，试验精确度难以得到保证。为此，已有人开发了新技术。例如，在专利号分别为“200720157306. 3”和 “200720157305. 9”的技术专利中，公开了这样一种技术利用螺杆将一圆台固定于扫 描电镜工作室，然后将电子背散射衍射专用插座插入圆台中心插孔中，再将样品座安装到专用座的插孔中固定，最后将样品固定在样品座上，对样品进行EBSD检测。然而，这种扫描电镜样品台只是提供一个试样承载装置，没有对待测试样平面按试验要求进行位置精确定 位，无法对试样放置方式进行有效控制，难以保证试验精确度。专利号为“200720157303. X”的技术专利涉及一种电子背散射衍射专用样品座，可用来支撑多个倾斜角度为70°的专用样品台，可同时测定多个样品。然而，该专利公 开的样品台固然提高了工作效率，但仍未涉及试样的精确定位等问题。专利号“200820002530. X”的技术专利是一种扫描电镜样品台集合器，是在扫描电镜工作室安装一金属圆台，在圆台上设有4-8个等份通圆孔作为扫描电镜样品台装载 装置，一次性可装入4-8个扫描电镜样品台。然而，如同上述，该专利公开的样品台固然提 高了工作效率和确保扫描电镜真空度，但未涉及试样精确定位等装置。
技术实现思路
为克服所述问题，本技术提出了一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，所述扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台可以安装在扫描电镜工作室，对待测试样 精确定位的样品台装置设计。本技术的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台可分别 用于测试试样表面和试样截面EBSD时试样精确定位。本技术的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台技术方案如下一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，包括电子背散射衍射试样放置用可 转动插座式圆台及可插入于所述电子背散射衍射试样放置用可转动插座式圆台上的插孔 的插座式样品台，其特征在于，所述插座式样品台朝向电子背散射衍射方向的台面为一插 入试样的凹槽，所述凹槽两端挡板等高，两挡板顶部平面处于同一平面上，且与水平面的夹 角为θ = 65-75°，所述插座式样品台朝向电子背散射衍射方向的台面与水平面成夹角为 θ = 65-75°。根据本技术的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，其特征在于，所述插 入试样的凹槽表面上下部分分别覆盖以一遮蔽的平板，中部通透，所述上下部分遮蔽的平 板内表面处于同一平面上，且与水平面的夹角为θ = 65-75°，二平板外表面标上刻度尺， 用于精确调整试样轧制方向，所述凹槽内设置弹簧卡子，且弹簧卡子下表面与凹槽底平面 相接触，此两弹簧卡子用于斜向支撑试样。根据本技术的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，其特征在于，分别用 螺栓通过上下挡板侧面中心位置螺孔，将弹簧卡子固定于凹槽内。根据本技术的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，其特征在于，在上下 挡板顶部位置分别加工两对称螺纹孔，在上下挡板侧面中心位置分别加工一螺纹孔。根据本技术的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，其特征在于，所述表 面覆盖的上部平板为一直角梯形平板，下部平板为一矩形平板。根据本技术的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，其特征在于，所述两 平板与凹槽等宽，用螺母将平板固定于挡板顶部螺纹孔中。根据本技术的这种设计，在测试时，试样长度可以在较大范围内变动，满足不 同长度规格试样的测试要求。另外，由于在直角梯形平板和矩形平板外表面分别标上刻度尺，可用于精确调整试样轧制方向，这样其轧制方向与竖直向上方向间的偏差可控制在0.3°以内。而且，这样即使待测试样上下表面不平行，也可保证试样待测表面与水平面成一 固定夹角θ = 65-75°，其角度偏差可控制在0.5°以内。根据上述本技术的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，可以对试样的测 试表面进行精确定位。根据本技术的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，其特征在于，所述凹 槽为一具有一定宽度(5-30mm)的贯通槽，所述凹槽侧平面竖直向上。根据本技术的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，其特征在于，所述贯 通槽侧面中心部位加工一螺纹孔，用一螺杆通过螺纹孔将试样旋紧。这样，既可以保证待测试样截面与水平面成一固定夹角θ = 65-75°，又使得试 样轧制方向沿着凹槽的长边方向，即竖直向上，其角度偏差可控制在0.3°以下，截面试样 的放置位置得到了精确定位。测试时凹槽中试样大小可以在较大范围内变动，可满足不同 大小规格试样的测试要求。根据本技术的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，其 特征在于，所述贯通槽宽5-30mm。试验时，将制备好的试样截面放在凹槽中，紧靠凹槽内侧表面，再将样品台及试样 倒置放在一水平面上，调整试样高度，使试样截面与样品台台面处在同一平面上，然后用一 螺杆通过另一凹本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，包括电子背散射衍射试样放置用可转动插入式圆台及可插入于所述电子背散射衍射试样放置用可转动插入式圆台上的插孔的插座式样品台，其特征在于，所述插座式样品台朝向电子背散射衍射方向的台面为一可插入试样（１１）的凹槽，所述试样平面平行于台面，所述凹槽两端挡板等高，两挡板顶部平面处于同一平面上，且与水平面的夹角为θ＝６５－７５°，所述插座式样品台朝向电子背散射衍射方向的台面与水平面成夹角为θ＝６５－７５°。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈旭，张志霞，胡锦程，顾佳卿，许永泉，
申请(专利权)人：宝山钢铁股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]