【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种硅片加工设备，具体的说是一种可用于刻边机、清洗机的射频工艺腔室，特别是用金属如不锈钢做腔体的耐腐蚀的射频工艺腔室。
技术介绍
传统反应室内石英腔体易产生刻蚀使用寿命短，更换后需要重新进行真空检测， 过程复杂，成本高；电极在石英腔外，起辉后在大气中电离空气中的氧气，产生臭氧，施加射 频后易产生泄露。因此，需要对传统的石英腔体进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述问题，提出一种金属射频反应室，该射频反应 炉具有耐腐蚀、易维护能避免射频泄露的特点。 本技术的目的是通过以下技术方案来实现的金属射频反应室，设有腔体、电 极板，其特征在于所述腔体为不锈钢材质的方形腔体，其前面设有不锈钢门，腔体内壁的 左右侧面分别设有射频电极板，所述腔体底部设有可转动的工件托盘，工件托盘通过连接 轴与腔体外的电机传动连接，所述腔体内顶部设有多孔气体导流板，腔体顶板上设有进气 孔，腔体底板上设有与真空泵连接的排气管。所述腔体上设有工艺观查窗和真空检测口。 本技术主要由方形不锈钢腔体，不锈钢门、工艺观查窗、匀流板、内置电极、射 频引入、旋转机构和安全互锁装置组成。方形前开门结构，使用方便易操作，不锈钢腔体不 用更换，降低了后期维护成本。同时采用内置电极使射频起辉在腔体内进行，反应与外壳隔 离，工艺过程中反应产生的生成物通过泵抽入排气系统，完全避免反应室射频泄露。电机旋 转机构使片夹在反应室起辉时在其中按一定的速度旋转，并在进气匀流板的作用下均匀的 与反应离子体发生化学反应达到均匀的刻蚀。附图说明图1是本技术的结构示意图； 图2是本技术的正面剖视图； 图3是本技术的...
【技术保护点】
一种金属射频反应室，设有腔体、电极板，其特征在于：所述腔体（１）为不锈钢材质的方形腔体，其前面设有不锈钢门（２），腔体内壁的左右侧面分别设有射频电极板（３．１、３．２），所述腔体底部设有可转动的工件托盘（４），工件托盘通过连接轴与腔体外的电机（５）传动连接，所述腔体内顶部设有多孔气体导流板（６），腔体顶板上设有进气孔（７），腔体底板上设有与真空泵连接的排气管（８），所述腔体上设有工艺观查窗（１０）和真空检测口（９）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘薇，王广明，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[]
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