层叠压电元件以及超声波马达制造技术

将层叠压电元件如以下这样构成。在多个压电体（１０）上彼此分离设置具有供电用导出部（１１１、１２１）的第一及第二内部电极区域（１１、１２）。在该第一及第二内部电极区域（１１、１２）的导出部（１１１、１２１）之间分离设置收缩调整区域（１３）。将所述多个压电体（１０）层叠并烧成，以矩形状成形而构成层叠压电元件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及适合利用于例如用作数字照相机的手抖校正单元或AF透镜等传动器 的超声波马达的层叠压电元件。
技术介绍
一般，这种超声波马达构成为对层叠压电元件施加电压而激起纵振动和弯曲振 动，从而产生椭圆振动，并将该椭圆振动经驱动子传到被驱动体，而摩擦驱动该被驱动体。这种层叠压电元件是通过将形成了构成压电活性区域的多个内部电极区域的多 个压电体层叠并烧成来制造的。因此，对于层叠压电元件，提出了用于抑制因烧成时的内部 电极区域与内部电极区域之外的区域的收缩差产生的内部应力而引起的元件破裂、裂缝、 扭曲、层间槽等的发生的各种对策。例如，使各层的电极形成部的电极导出部的电极侧的基端的宽度尺寸形成为比电 极导出部的前端(外面)侧的宽度尺寸窄。通过这种结构，抑制烧成时的收缩差造成的内 部应力的产生。这种技术例如在日本特开JP2007-109754号公报中公开。但是，上述特开JP2007-109754号公报公开的结构中，在其结构上难以消除电极 导出部的外面附近区域的收缩差。因此，内部电极区域的导出面的平面度恶化。由此，在外 部电极面使用导电性粘接剂等来热压接柔性印刷基板等的供电部件时，产生导通不良，或 难以进行周边部件的高精度组合的问题。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题而做出，其目的是提供一种通过简单的结构来实现高质量的 烧成加工，且实现稳定而高质量的组装的层叠压电元件以及超声波马达。为了实现上述目的，本专利技术的第一方式的层叠压电元件，设有具有供电用导出部 的多个内部电极区域的多个压电体被层叠并烧成，并且形成有多个压电活性区域，其特征 在于，在设置于所述压电体上的多个内部电极区域的导出部之间，设有收缩调整区域。为了实现上述目的，本专利技术的第二方式的超声波马达，将由层叠压电元件激发的 正交的两个方向的振动作为驱动力来驱动被驱动体，其特征在于，所述层叠压电元件中，具 有包括供电用导出部的多个内部电极区域且在该多个内部电极区域的导出部之间具有收 缩调整区域的多个压电体被层叠并烧成，并且在所述内部电极区域形成有多个压电活性区 域。附图说明图1是为了说明本专利技术的一个实施方式的层叠压电元件的结构而表示的分解斜 视图。图2是平面表示图1的多个压电体的位置关系的平面图。图3是示意地表示图1的多个压电体的烧成状态的分解斜视图。图4是从外面看图1的多个压电元件的烧成状态的状态的俯视图。图5是表示了使用热压接机在图1的外部电极上压接柔性印刷基板的状态的俯视 图。图6是为了说明本专利技术的一个实施方式的超声波马达的主要部分结构而表示的 斜视图。图7是为了说明本专利技术的另一个实施方式的层叠压电元件的结构而表示的平面。 具体实施例下面，参考附图详细说明本专利技术的一个实施方式的层叠压电元件以及超声波马 达。图1是表示本专利技术的一个实施方式的层叠压电元件1的图。多个压电体10通过 锆酸钛酸铅等同样按10 200 μ m左右的厚度尺寸形成，而以大致矩形状层叠形成。在该多个压电体10的一个面上，多个、例如第一及第二内部电极区域11、12这两 个区域以2 2. 5μπι左右的厚度尺寸以规定的间隔形成(参考图2)。这些第一及第二内 部电极区域11、12的两个区域使用可抗锆酸钛酸铅等的烧成温度的银钯等高熔点导电性 材料，通过网板印刷等的方法形成。并且，在该第一及第二内部电极区域11、12中，供电用 导出部111、121设置为延伸到分别作为元件外表面的压电体10的端部。这些第一及第二内部电极区域11、12在层叠所述压电体10时，分别堆积配置在相 同位置上。进一步，第一及第二内部电极区域11、12的各导出部111、121形成为相对于层 叠的其他的第一及第二内部电极区域11、12的导出部111、121，以所谓的交错状定位。此外，在上述压电体10中，在由该第一及第二内部电极区域11、12的导出部111、 121夹着的区域上形成有收缩调整区域13。该收缩调整区域13例如由与第一及第二内部 电极区域11、12的材料相同的材料构成。该收缩调整区域13优选例如比压电体10的端部 更靠内侧0. 2mm以上，与第一及第二内部电极区域11、12的间隔为0. 15mm以上的间隔，且 在0. 2mmX0. 2謹以上的范围内形成。通过这样构成，第一及第二内部电极区域11、12和收缩调整区域13在例如通过网 板印刷等方法形成时产生了污点的情况下，也能够可靠防止彼此间的短路，且能够进行容 易的制作。在上述结构中，多个压电体10在以图1所示那样层叠的状态下，以800度 1500 度左右的烧成温度来烧成而一体烧成为大致矩形状。这时，收缩率调整区域13与第一及第 三内部电极区域11、12大致相同地进行收缩。由此，多个压电体10如图3所示，以设有外 部电极14的外面侧的平坦度高且高质量精度烧成。在该烧成后的多个压电体10中，与第一及第二内部电极区域11、12连通的导出 部111、121在压电体10的以矩形状成形的一个外面上露出。并且，在该外面露出的导出部 111、121中对应的导出部彼此经外部电极14短路。该外部电极14例如使用银钯或银等导电性材料、通过网板印刷以10 μ m以上的厚 度尺寸形成。在这样形成后，外部电极14被分极处理。并且，堆积的多个压电体10的第一 及第二内部电极区域11、12起独立的两个压电活性区域15、16的作用。这时，由于一体烧 成的层叠压电元件1的外面侧的平坦度设定为如上所述的希望的较高的值，因此外部电极414能够在层叠压电元件1的外面以高精度形成。若对上述外部电极间14施加希望的位相差的交替信号，则由在层叠方向上堆积 的第一及第二内部电极区域11、12构成的两个压电活性区域15、16激发层叠方向之外的正 交的两个方向的振动、例如纵向振动和弯曲振动，并在层叠配置的层叠压电元件1中产生 椭圆振动。这样，在多个压电体10上分离设置具有供电用导出部111、121的第一及第二内部 电极区域11、12，并在这些第一及第二内部电极区域11、12的导出部111、121间分离设置收 缩调整区域13。并且，通过将这多个压电体10层叠烧成，并以矩形状成形，从而构成上述层 叠压电元件1。由此，多个压电体10在层叠烧成时，将各收缩调整区域13与第一及第二内部电极 区域11、12大致相同地收缩，并将设有外部电极14的外面侧以例如图4所示的中央部A中 的平坦度高的高质量精度烧成。结果，能够以高精度地形成向外面侧的外部电极14。因此， 如图5所示，能够高精度且高可靠性地进行用热压接机18将作为供电部件的柔性印刷基板 17经由导电性粘接剂对于外部电极14热压接的粘接操作。进一步，能够进行与周边部件的 高精度的组装。这里，参考图6来说明本专利技术的一个实施方式的具有上述层叠压电元件1的超声 波马达。在多个压电体10的下面侧、即与由第一及第二内部电极区域11、12构成的两个压 电活性区域15、16对应的下面侧，例如在弯曲振动的内侧位置上使用粘接剂粘接固定有作 为驱动力导出部件的摩擦部件19。并且，该摩擦部件19与被驱动体20接触。层叠压电元 件1和被驱动体20经由球等的转动体能够沿例如图6所示的箭头方向驱动地容纳配置在 未图示的筐体内。并且，在层叠压电元件1的上面，例如与纵向振动的波节对应地配置定位按压机 构21本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种层叠压电元件，设有具有供电用导出部的多个内部电极区域的多个压电体被层叠并烧成，并且形成有多个压电活性区域，其特征在于，在设置于所述压电体上的多个内部电极区域的导出部之间，设有收缩调整区域。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂井长英，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]