提高芯片键合块抗腐蚀性的方法技术

本发明专利技术提供了一种提高芯片键合块抗腐蚀性的方法，该方法包括：在芯片键合块形成后，在温度大于２７０℃的状态下通入氧化性气体，在芯片键合块表层形成金属氧化层。采用本发明专利技术的方法，在芯片键合块表面形成一层结构致密的金属氧化层，提高了芯片键合块的抗腐蚀性，且降低了成本，解决了现有技术中晶圆上制作的半导体器件切割过程中电化学反应腐蚀芯片键合块的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造技术，特别涉及一种。
技术介绍
在半导体器件封装之前，在水中切割晶圆上制作的多个半导体器件；在半导体器 件封装时，该器件表面的多个未被钝化层覆盖的芯片键合块与相应地外部引线键合连接。图1为现有的具有芯片键合块的半导体器件剖视图。图2为现有的制作半导体器 件的芯片键合块的方法流程图。现结合图1及图2，对半导体器件中的芯片键合块的制作方 法进行说明，具体如下步骤201 刻蚀互连层的顶层介质层形成一开口 ；在互连层101的顶层介质层1012表面涂布感光胶；根据已形成的互连层101的顶 层金属层1011的位置及与设定的与该金属层1011接触的芯片键合块102的位置，利用曝 光显影对互连层101的顶层介质层1012进行刻蚀，形成一开口，该开口用于形成芯片键合 块102。互连层101的顶层介质层1012的开口的底部与互连层101的顶层金属层1011接 触。步骤202 在顶层介质层表面和开口内进行金属沉积；利用溅射的方法在互连层101顶层介质层1012表面形成一层金属沉积层，并在顶 层介质层1012的开口内沉积金属；利用化学机械研磨使金属沉积层表面平坦化。为了增加 铝的电子迁移性能，在用于溅射沉积的金属铝中增加了少量金属铜，其中，铜的质量分数为 0. 5% 2%。步骤203 刻蚀金属沉积层形成芯片键合块及金属引线；根据设定的芯片键合块102的形状、金属引线103的尺寸和位置，利用曝光显影对 金属沉积层进行刻蚀，在互连层101的顶层介质层1012表面形成多条金属引线103及多个 与金属引线103连接的芯片键合块102。步骤204 在金属引线及芯片键合块顶层形成钝化层；利用化学气相沉积，在金属引线103表面、芯片键合块102表面和未被金属引线 102和芯片键合块103覆盖的互连层101顶层介质层1012的表面形成一层钝化层104。步骤205 刻蚀钝化层露出芯片键合块；在钝化层104表面涂布感光胶；根据芯片键合块102的位置和形状，利用曝光显影 对钝化层104进行刻蚀，仅露出芯片键合块102 ；然后进行感光胶灰化和湿法清洗，并对清 洗后的半导体器件进行烘干。步骤206 对刻蚀后的器件进行退火处理；在高温状态下，在退火炉中通入氮气(N2)和/或氢气(H2)作为保护性气体，对刻 蚀后的露出芯片键合块102的半导体器件进行退火处理。退火过程中通入的保护性气体具有一定的惰性，能够避免退火炉中的残留的气体 与半导体器件发生其他不必要的化学反应，影响半导体器件的质量。步骤207:结束。图3为现有的半导体器件的芯片键合块的剖视图。现结合图3，对现有的半导体器 件的芯片键合块的结构进行说明，具体如下具有未被钝化层104覆盖的芯片键合块102的半导体器件曝露在空气中，组成芯 片键合块102的两种相态的金属分别被空气中的氧气氧化，在芯片键合块102表面形成一 层金属氧化层。上述芯片键合块102包括金属本体301和位于金属本体301表面的金属 氧化层302 ；包含少量金属铜的金属本体301在低温状态下存在两种相态的金属，分别是 铜铝合金和金属铝，且铜铝合金和金属铝之间存在电压差；由于金属本体301存在两种相 态，金属本体301被曝露在空气中的氧气氧化时，金属本体301中的铝被氧化为三氧化二 铝(Al2O3),铝铜合金中的铜被氧化为氧化铜(CuO)，在金属本体301表面形成的金属氧化层 302能够阻挡金属本体301中具有一定活性的铝继续被氧化。含有少量CuO的Al2O3金属 氧化层302中，具有一定活性的CuO破坏了具有一定惰性的Al2O3的致密结构，降低了 Al2O3 金属氧化层302的抗腐蚀性。在水中对在晶圆上制作的多个半导体器件进行切割时，芯片键合块102的金属本 体301中的铝铜合金和金属铝存在电压差，当存在介质水时，铝铜合金和金属铝发生电化 学反应；含有少量CuO的Al2O3金属氧化层302的抗腐蚀性能降低，在电化学反应过程中被 腐蚀掉，容易使金属本体301中的铝在发生电化学反应时被腐蚀。上述电化学反应使芯片 键合块102表面被腐蚀，进而形成空洞，严重影响了半导体器件的质量。现有技术中，通常采用两种方法解决电化学反应对芯片键合块腐蚀的问题。方法 一是在切割在晶圆上制作的多个半导体器件的水中加入缓蚀剂，减缓芯片键合块中两种相 态的金属之间的电化学反应，进而减少电化学反应对芯片键合块的腐蚀；但是，缓蚀剂的价 格昂贵，该方法的造价较高。方法二是在芯片键合块制作过程中，在步骤206的退火之前， 对未被钝化层覆盖的芯片键合块进氧化处理，主要是在低温状态(温度小于等于200°C)下 通入足量的氧气，在芯片键合块102表面形成一层较厚的金属氧化层302 ；但是，以Al2O3为 主要成分的金属氧化层302厚度增加的同时，该金属氧化层302中还是掺杂了破坏Al2O3致 密结构的CuO ；因此，即使以Al2O3为主要成分的金属氧化层302厚度增加，含有少量CuO的 Al2O3金属氧化层302仍不能避免电化学反应对金属氧化层202及金属本体201的腐蚀。综上所述，现有技术无法避免对晶圆上制作的半导体器件进行切割时发生的电化 学反应对芯片键合块的腐蚀。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种，该方法能够避免 晶圆上制作的半导体器件切割过程中发生的电化学反应对芯片键合块的腐蚀。为达到上述目的，本专利技术的技术方案具体是这样实现的一种，该方法包括在芯片键合块形成后，在温度大于270°C的状态下通入氧化性气体，在芯片键合块表层形成金属氧化层。上述方法中，所述芯片键合块形成的方法包括刻蚀互连层的顶层介质层形成一用于形成芯片键合块的开口 ；在顶层介质层表面和开口内进行金属沉积获得一金属沉积层；根据芯片键合块的形状和位置、金属引线的尺寸和位置对金属沉积层刻蚀，形成 金属引线及与金属引线连接的芯片键合块。较佳地，所述芯片键合块形成后进一步包括利用化学气相沉积在金属引线表面、芯片键合块表面和未被金属引线和芯片键合 块覆盖的顶层介质层表面形成钝化层；刻蚀芯片键合块表面的钝化层，并对刻蚀后具有芯片键合块的器件进行退火处理。上述方法中，所述氧化性气体为氧气、一氧化二氮和水蒸气中的一种或多种组合。上述方法中，所述金属氧化层为三氧化二铝金属氧化层。上述方法中，所述温度大于270°C的状态为利用化学气相沉积形成钝化层的状态。上述方法中，所述温度大于270°C的状态为刻蚀芯片键合块表面的钝化层后进行 的退火状态。由上述的技术方案可见，本专利技术提供了一种，该 方法包括在芯片键合块形成后，在温度大于270°C的状态下通入氧化性气体，在芯片键合 块表层形成金属氧化层。采用本专利技术的方法，无需在切割时添加额外的缓蚀剂，降低了成 本；且无需增加额外的氧化步骤，只需在形成芯片键合块后的后续处理过程中通入氧化性 气体就可在芯片键合块表层形成结构致密的金属氧化层，提高了芯片键合块的抗腐蚀性 能，避免了现有技术中晶圆上制作的半导体器件切割过程中发生的电化学反应对芯片键合 块的腐蚀。附图说明图1为现有的具有芯片键合块的半导体器件剖视图。图2为现有的制作半导体器件的芯片键合块的方法流程图。图3为现有的半导体器件的芯片键合块的剖视图。图4为本专利技术提高芯片键合块抗腐蚀性方法第一较佳实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提高芯片键合块抗腐蚀性的方法，该方法包括：在芯片键合块形成后，在温度大于２７０℃的状态下通入氧化性气体，在芯片键合块表层形成金属氧化层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：潘晶，卑多慧，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]