适配板、双工位测试机的改装方法和测试方法技术

本发明专利技术提供一种适配板，用于将单工位的测试机改装成双工位的测试机，包括：蜂窝板，将继电器组件固定于蜂窝板上的插座，以及转接板；所述转接板连接所述继电器组件的引脚，使所述继电器组件的公共引脚连接单工位测试机、所述继电器组件的第一信号引脚连接第一待测芯片的测试端、所述继电器组件的第二信号引脚连接所述第二待测芯片的测试端，所述第一待测芯片位于第一工位上、所述第二待测芯片位于第二工位上；以及利用所述适配板的双工位测试机、利用所述双工位测试机的测试方法，以及利用所述适配板将单工位测试机改装成双工位测试机的方法。解决了现有技术测试效率低、测试成本高的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体测试领域，特别涉及一种适配板和双工位测试机的改装方法和 测试方法。
技术介绍
随着半导体测试行业不断向前发展，测试成本的不断提高。传统的单工位测试已 经不再满足现在测试的需要，多工位测试已经成为测试发展的必然趋势。多工位测试可以有效的缩短探针台托盘上下移动的次数，从而缩短测试时间，节 约测试成本，提高生产效率。但是并行多工位测试机的价格比单工位测试机的昂贵，目前， 用于测试电源芯片(Power IC)的四台科进(COGENT)测试机都是单工位测试机，这无疑造 成了资源的浪费。因此，有待于提出一种能将单工位测试机改装成双工位测试机甚至多工位测试机 的方法。
技术实现思路
为了解决现有技术中单工位测试机测试时间较长、测量成本很高、测试效率低的 问题，本专利技术提供一种用于将单工位的测试机改装成双工位的测试机适配板、利用所述适 配板的双工位测试机、利用所述双工位测试机的测试方法，以及利用所述适配板将单工位 测试机改装成双工位测试机的方法。根据本专利技术的一方面，提供一种适配板，用于将单工位的测试机改装成双工位的 测试机，包括蜂窝板，将继电器组件固定于蜂窝板上的插座，以及转接板；所述转接板连接所述继电器组件的引脚，使所述继电器组件的公共引脚连接单工 位测试机、所述继电器组件的第一信号引脚连接第一待测芯片的测试端、所述继电器组件 的第二信号引脚连接所述第二待测芯片的测试端，所述第一待测芯片位于第一工位上、所 述第二待测芯片位于第二工位上。优选的，所述继电器组件中的继电器为双刀双掷继电器，能同时测量待测芯片的 两种信号。优选的，所述继电器的型号为TQ2-5V。优选的，所述继电器组件由三个相同继电器组成，所述三个继电器的第一引脚并 联同时接5V电源，所述三个继电器的第十引脚并联同时接控制线。根据本专利技术的一方面，还提供一种包括上述任一项所述的适配板的双工位测试 机。根据本专利技术的一方面，还提供一种利用所述的双工位测试机的测试方法，包括将第一待测芯片和第二待测芯片分别放置于所述适配板上的第一工位和第二工 位；测试所述第一待测芯片的信号并记录；通过继电器激活所述第二待测芯片，测试所述第二待测芯片的信号并记录；输出所述第一待测芯片和第二待测芯片的测试结果。根据本专利技术的一方面，还提供一种利用上述任一项适配板将单工位测试机改装成 双工位测试机的方法，包括确定具有双工位测试硬件资源的单工位测试机；将所述单工位测试机的程序通过继电器组件重新设置，使所述继电器加电时测试 第一待测芯片，所述继电器不加电时测试第二待测芯片；利用蜂窝板、继电器组件、插座以及转接板组装适配板；连接所述适配板和所述单工位测试机的对应引脚，得到双工位测试机。优选的，将单工位测试机改装成双工位测试机的方法，还包括利用所述双工位测 试机进行成品测试。优选的，所述继电器组件中的继电器为双刀双掷继电器，能同时测量待测芯片的 两种信号。优选的，所述继电器的型号为TQ2-5V。优选的，所述继电器组件由三个相同继电器组成，所述三个继电器的第一引脚并 联同时接5V电源，所述三个继电器的第十引脚并联同时接控制线。本实施例的适配板可以将单工位测试机改装成双工位测试机，所述适配板的价格 低廉、组装方便，其约30元左右的成本，但是却可以很大程度的提高测试效率，节约测试成 本。利用本专利技术的双工位测试机，可以大大节约时间和节省测试成本。本专利技术，在单工位测试机内部硬件不变的情况下，通过在单工位测试机的外部加 适配板并更改单工位测试机控制程序，实现将单工位测试机改装成串行双工位测试机，从 而达到了节省测试资源提高生产效率的目的。附图说明图1为本专利技术适配板的结构示意图。图2为一种继电器的结构示意图。图3位继电器组件内继电器的连接方式。图4为双工位测试流程图。图5为利用单工位测试机和本专利技术的双工位测试机进行测试得到的试验数据对 照表。具体实施例方式为了使本专利技术的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本专利技术的内 容进行详细描述。为了能很好的利用现有的单工位测试机和测试系统，但同时又能提高测试效率且 不增加成本，专利技术人想到利用人们常见的资源制作一个适配板，选择具有双工位测试所需 要的硬件资源的单工位测试机，在单工位测试机已有的硬件资源不变的情况下，通过在单工位测试机外部连接一个制作的适配板，使原来只能测试单工位的单工位测试机改装成可 以进行双工位串行测试的双工位测试机，从而有效地节约测试时间，合理利用测试资源，提 高生产效益。实施例1本实施例提供一种能将单工位的测试机改装成双工位的测试机的适配板，所述适 配板包括蜂窝板，将继电器组件固定于蜂窝板上的插座，以及转接板；所述转接板连接所 述继电器组件的引脚，使所述继电器组件的公共引脚连接单工位测试机、所述继电器组件 的第一信号引脚连接第一待测芯片的测试端、所述继电器组件的第二信号引脚连接所述第 二待测芯片的测试端，所述第一待测芯片位于第一工位上、所述第二待测芯片位于第二工 位上。图1为本专利技术适配板的结构示意图。如图1所示，所述适配板包括蜂窝板100， 将继电器组件130固定于蜂窝板100上的插座(未图示)，以及转接板140 ；所述转接板 140连接所述继电器组件130的引脚，使所述继电器组件130的公共引脚连接单工位测试机 150、所述继电器组件130的第一信号引脚连接第一待测芯片110的测试端、所述继电器组 件130的第二信号引脚连接所述第二待测芯片120的测试端，所述第一待测芯片位于第一 工位(未图示)上、所述第二待测芯片位于第二工位(未图示)上。所述继电器组件130中的继电器为双刀双掷开关，这样，可以同时测量待测芯片 的两种信号。图2为一种继电器的结构示意图。如果待测芯片为晶圆，待测信号为晶圆的栅极 感测信号、栅极压力信号、源极感测信号、源极压力信号、漏极感测信号、漏极压力信号，则 所述继电器组件优选的包括三个相同继电器，每个所述继电器的结构如图2所示。所述继 电器包括10个引脚，第一引脚1为电源引脚，第十引脚10为控制引脚，当所述第一引脚1连 接高电平，所述第十引脚10连接低电平时，第二引脚2、第三引脚3、第八引脚8和第九引脚 9接通；当所述第一引脚1和所述第十引脚10不加电时，第三引脚3、第四引脚4、第七引脚 7和第八引脚8接通；其中，第二引脚2、第九引脚9、第四引脚4和第七引脚7为信号引脚， 第三引脚3和第八引脚8为公共引脚；所述第二引脚2和第九引脚9作为第一信号引脚，所 述第四引脚4和第七引脚7所为第二信号引脚。所述继电器可以是市场上型号为TQ2-5V 的继电器。为叙述方便，所述三个相同继电器分别称为第一继电器、第二继电器、第三继电 器。图3位继电器组件内继电器的连接方式，所述三个继电器的连接方式如图3所示。如图3所示，所述三个继电器的第一引脚1并联同时接5V电源，所述三个继电器 的第十引脚10并联同时接控制线；第一继电器132的第三引脚3、第八引脚8分别接单工 位测试机150信号接口的漏极感应信号(DS，Drain Sense)端、漏极压力信号(DF，Drain Force)端，第二引脚2、第九引脚9分别连接适配板上第一待测芯片110的DS端、DF端， 第四引脚4、第七引脚7分别连接适配板上第二待测芯片120的D本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适配板，用于将单工位的测试机改装成双工位的测试机，包括：蜂窝板，将继电器组件固定于蜂窝板上的插座，以及转接板；所述转接板连接所述继电器组件的引脚，使所述继电器组件的公共引脚连接单工位测试机、所述继电器组件的第一信号引脚连接第一待测芯片的测试端、所述继电器组件的第二信号引脚连接所述第二待测芯片的测试端，所述第一待测芯片位于第一工位上、所述第二待测芯片位于第二工位上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：严大生，岳青，屈微微，郭万瑾，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]